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有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法_4

文檔序號:8909334閱讀:來源:國知局
,在平坦化層514的整個表面上沉積 用于反射層的材料以產(chǎn)生陽極551的第一導(dǎo)電層555和輔助電極560的第一導(dǎo)電層562。 之后將用于透明導(dǎo)電層的材料沉積在平坦化層514的整個表面上以產(chǎn)生陽極551的第二導(dǎo) 電層554和輔助電極560的第二導(dǎo)電層561。用于反射層的材料是具有優(yōu)良反射性的導(dǎo)電 層,例如,可以是具有低臺階覆蓋率的金屬材料比如銀(Ag)、鎳(Ni)、金(Au)、鉑(Pt)、鋁 (A1)、銅(Cu)和鉬/鋁釹(Mo/AINd)。因此,用于反射層562的材料幾乎不形成在與分隔 物580的上側(cè)和分隔物580的側(cè)面交疊的平坦化層514上。但是,由于用于透明導(dǎo)電層的 材料是具有高功函數(shù)的透明導(dǎo)電材料,例如是具有高臺階覆蓋率的透明導(dǎo)電氧化物,比如 氧化銦錫(IT0)、氧化銦鋅(IZ0)、氧化銦錫鋅(ITZ0)、氧化鋅和氧化錫,因此將用于透明導(dǎo) 電層561的材料形成在用于不接觸分隔物580的反射層562的材料上,且形成在分隔物580 的側(cè)面和上側(cè)上。
[0084] 接下來,為了將陽極551和輔助電極560彼此電分離,去除形成在陽極551和輔助 電極560之間的用于反射層的材料和用于透明導(dǎo)電層的材料。在去除了用于反射層的材料 和用于透明導(dǎo)電層的材料之后,將陽極551形成在分隔物580的一側(cè)和另一側(cè)上,將輔助電 極560的第一部分563形成在平坦化層514的上側(cè)上,將輔助電極560的第二部分564形 成在分隔物580的側(cè)面上,將輔助電極560的第三部分565形成在分隔物580的上側(cè)上。
[0085] 接下來,將有機(jī)發(fā)光層552形成在平坦化層514的整個表面上方(步驟S42),并將 陰極553形成在平坦化層514的整個表面上方(步驟S43)。將參照圖5c至5d更具體描述 有機(jī)發(fā)光層552和陰極553的形成。
[0086] 參照圖5c,形成覆蓋輔助電極560的一側(cè)和第一子像素區(qū)的陽極551的一側(cè)的第 一堤部516,以及覆蓋輔助電極560的另一側(cè)和第二子像素區(qū)的陽極551的一側(cè)的第二堤部 517。第一堤部516和第二堤部517可由有機(jī)絕緣材料例如聚酰亞胺、光丙烯和苯并環(huán)丁烯 (BCB)的任一種制成。第一堤部516和第二堤部517可為錐形。當(dāng)?shù)滩?15為錐形時,可通 過使用正型光致抗蝕劑形成第一堤部516和第二堤部517。
[0087] 將有機(jī)發(fā)光層552形成在陽極551、堤部515和輔助電極560上。有機(jī)發(fā)光層552 可以是紅色有機(jī)發(fā)光層、綠色有機(jī)發(fā)光層、藍(lán)色有機(jī)發(fā)光層和白色有機(jī)發(fā)光層中的一種。通 過在平坦化層514的整個表面上沉積用于有機(jī)發(fā)光層的材料的方法形成有機(jī)發(fā)光層552。 由于用作有機(jī)發(fā)光層552的材料具有低臺階覆蓋率,因此在沉積用于有機(jī)發(fā)光層的材料的 情況下,將有機(jī)發(fā)光層552形成在陽極551的上側(cè),第一堤部516的上側(cè)的局部區(qū)域、第二 堤部517的上側(cè)的局部區(qū)域以及形成在分隔物580上的輔助電極560的上側(cè)上,但是不形 成在輔助電極560的第一部分563以及在分隔物580側(cè)面上形成的輔助電極560處。
[0088] 參照圖5d,將陰極553形成在有機(jī)發(fā)光層552上。形成陰極553包括通過在平坦 化層514的整個表面上方沉積用于金屬層556的材料形成金屬層556。用作金屬層556的 材料是具有低功函數(shù)的金屬材料,例如,諸如銀(Ag)、鈦(Ti)、鋁(A1)、鉬(Mo)或者銀(Ag) 和鎂(Mg)的合金的具有低臺階覆蓋率的金屬材料。因此,當(dāng)將用于金屬層556的材料沉積 在平坦化層514的整個表面上方時,將金屬層556形成在有機(jī)發(fā)光層552的上側(cè),且不形成 在輔助電極560的第一部分563以及分隔物580側(cè)面上形成的輔助電極560上。由于根據(jù) 本發(fā)明示例性實施方式的制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法是用于制造頂發(fā)光型有機(jī)發(fā)光顯 示裝置的方法,因此形成金屬層556包括通過以幾百A或以下比如200A或以下的厚度形 成具有低功函數(shù)的金屬材料形成基本透明的金屬層556。
[0089] 形成陰極553包括通過在平坦化層514的整個表面上方沉積用于透明導(dǎo)電層的材 料形成透明導(dǎo)電層557。用于透明導(dǎo)電層557的材料是具有高臺階覆蓋率的材料,例如可使 用透明導(dǎo)電氧化物比如氧化銦錫(IT0)、氧化銦鋅(IZ0)、氧化銦錫鋅(ITZ0)、氧化鋅和氧 化錫。由于用于透明導(dǎo)電層的材料的高臺階覆蓋率,透明導(dǎo)電層557接觸形成在分隔物580 側(cè)面的輔助電極560的第二部分564,以及形成在平坦化層514上的輔助電極560的第一 部分563。透明導(dǎo)電層557將金屬層556和輔助電極560電連接。透明導(dǎo)電層557可被形 成為具有約100A或以上的厚度,以在金屬層556和輔助電極560之間提供電連接。
[0090] 在有機(jī)發(fā)光層552是白光有機(jī)發(fā)光層的情況下,在陰極553上進(jìn)一步形成濾色器, 以經(jīng)由有機(jī)發(fā)光顯示裝置顯示圖像。
[0091] 圖6是用于描述根據(jù)一個示例性實施方式用于增強(qiáng)輔助電極功能的有機(jī)發(fā)光顯 示裝置的制造方法的流程圖。圖7a至7d是用于描述根據(jù)一個實施方式用于增強(qiáng)輔助電極 功能的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法的每一個工藝的截面圖。
[0092] 首先,將第一陽極和第二陽極形成在平坦化層714上,并將輔助電極760形成在第 一陽極和第二陽極之間(步驟S60)。將參照圖7a更具體描述陽極751和輔助電極760的 形成。
[0093] 參照圖7a,形成第一陽極、第二陽極和輔助電極760可包括在平坦化層714上形 成用于反射層755、762的材料和用于透明導(dǎo)電層754、761的材料,并且根據(jù)第一陽極、第二 陽極和輔助電極760的形狀圖案化用于反射層的材料和用于透明導(dǎo)電層的材料。在本說明 書中,第一陽極是指在第一子像素區(qū)中的陽極751,第二陽極是指在第二子像素區(qū)中的陽極 751。
[0094] 接下來,形成覆蓋第一像素區(qū)中陽極751的一側(cè)和輔助電極760 -側(cè)的第一堤部 716,以及覆蓋第二子像素區(qū)中的陽極751的一側(cè)和輔助電極760的另一側(cè)的第二堤部717。
[0095] 接下來,分隔物780和補(bǔ)充導(dǎo)電層790形成在輔助電極760上(步驟S61),有機(jī)發(fā) 光層752形成在平坦化層714的整個表面上方(步驟S62),陰極753形成在平坦化層714 的整個表面上方(步驟S63)。將參照圖7b至7d更具體描述補(bǔ)充導(dǎo)電層790、有機(jī)發(fā)光層 752和陰極753的形成。
[0096] 參照圖7b至7d,將臨時補(bǔ)充導(dǎo)電層799形成在陽極751、輔助電極760、第一堤部 716和第二堤部717上,并且通過去除除了與補(bǔ)充導(dǎo)電層790對應(yīng)的區(qū)域之外的臨時補(bǔ)充導(dǎo) 電層790的部分,形成與輔助電極760接觸的補(bǔ)充導(dǎo)電層790。在一個實施方式中,與補(bǔ)充 導(dǎo)電層790對應(yīng)的區(qū)域是與輔助電極760交疊的區(qū)域。例如,將光致抗蝕劑形成在與臨時 補(bǔ)充導(dǎo)電層799的補(bǔ)充導(dǎo)電層790對應(yīng)的區(qū)域中,并且可通過使用光致抗蝕劑作為掩膜蝕 刻除了與補(bǔ)充導(dǎo)電層790對應(yīng)的區(qū)域之外的臨時補(bǔ)充導(dǎo)電層799的部分,形成補(bǔ)充導(dǎo)電層 790。盡管圖7b和7c中未示出,但是,可在形成第一堤部716和第二堤部717之前形成補(bǔ) 充導(dǎo)電層790。
[0097] 參照圖7d,將分隔物790形成在補(bǔ)充導(dǎo)電層790上,并且可將有機(jī)發(fā)光層752和陰 極753形成在具有分隔物780的平坦化層714上。分隔物780、有機(jī)發(fā)光層752和陰極753 的形成與如圖5a至5d中描述的分隔物780、有機(jī)發(fā)光層752和陰極753的形成基本相同。
[0098] 以下,將描述本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的各項特性。
[0099] 根據(jù)本發(fā)明的另一特性,設(shè)置在分隔物上方的輔助電極覆蓋分隔物的側(cè)表面和頂 表面。
[0100] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,有機(jī)發(fā)光顯示裝置還包括與第一導(dǎo)電元件接觸的第一像 素區(qū)中設(shè)置的第二導(dǎo)電元件和與第一導(dǎo)電元件接觸的第二像素區(qū)中設(shè)置的第三導(dǎo)電元件。
[0101] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,第一導(dǎo)電元件是透明導(dǎo)電層,第二導(dǎo)電元件與第三導(dǎo)電 元件是設(shè)置在第一導(dǎo)電元件下方的金屬層。
[0102] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,輔助電極包括第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層,第二導(dǎo)電層覆 蓋分隔物的側(cè)表面。
[0103] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,第一導(dǎo)電層的電阻低于第二導(dǎo)電層的電阻,其中第一導(dǎo) 電層的臺階覆蓋率低于第二導(dǎo)電層的臺階覆蓋率。
[0104] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,第一像素區(qū)的第一陽極和第二像素區(qū)的第二陽極均包括 第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層,第一陽極和第二陽極的第一導(dǎo)電層由與輔助電極的第一導(dǎo)電層 相同的材料制成,第一陽極和第二陽極的第二導(dǎo)電層由與輔助電極的第二導(dǎo)電層相同的材 料制成。
[0105] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,分隔物包括第一端部和與第一端部相對的第二端部,第 二端部與有機(jī)發(fā)光顯示裝置的平坦化層直接接觸。
[0106] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,分隔物和平坦化層由相同材料制成。
[0107] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,第一導(dǎo)電層包括第一表面和與第一表面相對的第二表 面,第一導(dǎo)電層的第一表面與分隔物直接接觸,第一導(dǎo)電層的第二表面與有機(jī)發(fā)光顯示裝 置的平坦化層直接接觸。
[0108] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,分隔物為具有第一端部和與第一端部相對的第二端部的 倒錐形狀,第二端部窄于第一端部。
[0109] 以下,將描述本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的各項特性。
[0110] 根據(jù)本發(fā)明的另一特性,有機(jī)發(fā)光顯示裝置還包括與第一導(dǎo)電元件接觸的第一像 素區(qū)中設(shè)置的第二導(dǎo)電元件和與第一導(dǎo)電元件接觸的第二像素區(qū)中設(shè)置的第三導(dǎo)電元件。
[0111] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,第一導(dǎo)電元件是透明導(dǎo)電層,第二導(dǎo)電元件和第三導(dǎo)電 元件是設(shè)置在第一導(dǎo)電元件下方的金屬層。
[0112] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,分隔物包括第一端部和與第一端部相對的第二端部,第 二端部窄于第一端部。
[0113] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,輔助電極包括第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層,補(bǔ)充導(dǎo)電層設(shè) 置在第二導(dǎo)電層上。
[0114] 根據(jù)本發(fā)明再一特性,補(bǔ)充導(dǎo)電層的電阻低于輔助電極的第二導(dǎo)電層的電阻。
[0115] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,補(bǔ)充導(dǎo)電層設(shè)置在分隔物和第二導(dǎo)電層之間。
[0116] 根據(jù)本發(fā)明的再一特性,補(bǔ)充導(dǎo)電層設(shè)置在分隔物上方以覆蓋分隔物的側(cè)表面和 分隔物的頂表面,第一導(dǎo)
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