一種陣列基板及其制備方法、顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種陣列基板及其制備方法、顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器件(Liquid Crystal Display，簡稱LCD)和有機(jī)電致發(fā)光器件(Organic Electroluminescent Device，簡稱0LED)等顯示器件已成為人們生活中的必需品，隨著人們需求的提高，為了提高顯示器件的顯示品質(zhì)，避免出現(xiàn)陣列基板和彩膜基板對盒時的偏差影響顯示器件開口率或者出現(xiàn)漏光的問題，通過集成技術(shù)(Color Filter onArray，簡稱COA)將彩色濾光片集成在陣列基板上。
[0003]現(xiàn)有的陣列基板中，設(shè)置在所述陣列基板的最上方的第一電極對外部入射光發(fā)生反射，導(dǎo)致外部能見度減弱，從而減少了光利用率，降低了顯示畫面的辨識度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為解決上述問題，本發(fā)明提供一種陣列基板及其制備方法、顯示裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的第一電極對外部入射光發(fā)生反射，導(dǎo)致外部能見度減弱，從而減少光利用率，降低顯示畫面的辨識度的問題。
[0005]為此，本發(fā)明提供一種陣列基板，包括襯底基板，所述襯底基板上設(shè)置有薄膜晶體管、彩膜層和第一鈍化層，所述第一鈍化層上設(shè)置有第一電極，所述第一電極包括面狀子電極，所述面狀子電極與所述薄膜晶體管的區(qū)域以及像素單元之間的區(qū)域?qū)?yīng)設(shè)置，所述第一電極為不透明金屬電極，所述第一電極的表面設(shè)置有凹凸結(jié)構(gòu)，所述凹凸結(jié)構(gòu)用于分散外部入射光。
[0006]可選的，所述彩膜層設(shè)置在所述薄膜晶體管上，所述彩膜層上設(shè)置有平坦層，所述平坦層上設(shè)置有第二電極，所述第二電極為透明電極，所述第一鈍化層設(shè)置在所述第二電極上。
[0007]可選的，所述第一電極還包括多個相互平行分布的條狀子電極，所述面狀子電極與所述條狀子電極同層設(shè)置，所述條狀子電極與所述第二電極對應(yīng)設(shè)置。
[0008]可選的，還包括第一過孔、第二過孔和公共電極線，所述公共電極線與柵極同層設(shè)置，所述第一電極通過所述第一過孔與所述公共電極線連接，所述第二電極通過所述第二過孔與所述薄膜晶體管的漏極連接。
[0009]可選的，所述第一電極的構(gòu)成材料包括鉬、鋁、釹化鋁或者銅。
[0010]本發(fā)明還提供一種顯示裝置，包括上述任一陣列基板。
[0011]本發(fā)明還提供一種陣列基板的制備方法，包括:
[0012]在襯底基板上形成薄膜晶體管、彩膜層和第一鈍化層；
[0013]在所述第一鈍化層上形成第一電極，所述第一電極包括面狀子電極，所述面狀子電極與所述薄膜晶體管的區(qū)域以及像素單元之間的區(qū)域?qū)?yīng)設(shè)置，所述第一電極為不透明金屬電極，所述第一電極的表面設(shè)置有凹凸結(jié)構(gòu)，所述凹凸結(jié)構(gòu)用于分散外部入射光。
[0014]可選的，所述在所述第一鈍化層上形成第一電極的步驟包括:
[0015]在所述第一鈍化層上形成金屬薄膜；
[0016]在所述金屬薄膜上形成光刻膠；
[0017]采用半色調(diào)掩模板或灰色調(diào)掩模板對所述光刻膠進(jìn)行曝光、顯影，形成光刻膠完全保留區(qū)域、光刻膠部分保留區(qū)域以及光刻膠完全去除區(qū)域，所述光刻膠完全保留區(qū)域和所述光刻膠部分保留區(qū)域?qū)?yīng)于形成第一電極的圖形，所述光刻膠完全去除區(qū)域?qū)?yīng)于形成其它圖形；
[0018]對所述金屬薄膜進(jìn)行第一次刻蝕，形成第一電極；
[0019]對所述光刻膠進(jìn)行灰化處理，去除所述光刻膠部分保留區(qū)域的光刻膠；
[0020]對所述第一電極進(jìn)行第二次刻蝕，形成凹凸結(jié)構(gòu)；
[0021]剝離剩余的光刻膠。
[0022]可選的，所述第一次刻蝕為濕法刻蝕，所述第二次刻蝕為干法刻蝕。
[0023]可選的，所述在襯底基板上形成薄膜晶體管、彩膜層和第一鈍化層的步驟包括:
[0024]在襯底基板上形成薄膜晶體管；
[0025]在所述薄膜晶體管上形成彩膜層；
[0026]在所述彩膜層的上方形成第一鈍化層；
[0027]所述在所述彩膜層的上方形成第一鈍化層的步驟之前包括:
[0028]在所述彩膜層上形成平坦層；
[0029]在所述平坦層上形成第二電極，所述第一鈍化層位于所述第二電極上，所述第二電極為透明電極。
[0030]本發(fā)明具有下述有益效果:
[0031]本發(fā)明提供的陣列基板及其制備方法、顯示裝置中，所述陣列基板包括襯底基板，所述襯底基板上設(shè)置有薄膜晶體管、彩膜層和第一鈍化層，所述第一鈍化層上設(shè)置有第一電極，所述第一電極包括面狀子電極，所述面狀子電極與所述薄膜晶體管的區(qū)域以及像素單元之間的區(qū)域?qū)?yīng)設(shè)置，所述第一電極為不透明金屬電極，所述第一電極的表面設(shè)置有凹凸結(jié)構(gòu)，所述凹凸結(jié)構(gòu)用于分散外部入射光。本發(fā)明提供的第一電極的表面設(shè)置有凹凸結(jié)構(gòu)，所述凹凸結(jié)構(gòu)能夠分散外部入射光，使得外部射入的光線發(fā)生漫反射，從而避免光線過度集中，提高外部能見度和顯示畫面的辨識度。
【附圖說明】
[0032]圖1為本發(fā)明實施例一提供的一種陣列基板的截面圖；
[0033]圖2為本發(fā)明實施例三提供的一種陣列基板的制備方法的流程圖；
[0034]圖3?圖7為制備圖1所示的陣列基板的中間結(jié)構(gòu)的截面圖。
【具體實施方式】
[0035]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的陣列基板及其制備方法、顯示裝置進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0036]實施例一
[0037]圖1為本發(fā)明實施例一提供的一種陣列基板的截面圖。如圖1所示，所述陣列基板包括:襯底基板101、柵極102、公共電極線103、柵絕緣層104、有源層105、源極106、漏極107、第二鈍化層108、彩膜層109、平坦層201、第二電極202、第一鈍化層203、第一電極204。所述柵極102與所述公共電極線103同層設(shè)置在所述襯底基板101上，所述柵絕緣層104設(shè)置在所述柵極102與所述公共電極線103上，所述有源層105設(shè)置在所述柵絕緣層104上，所述源極106與所述漏極107設(shè)置在所述有源層105上，所述第二鈍化層108設(shè)置在所述源極106和所述漏極107上，所述彩膜層109設(shè)置在所述第二鈍化層108上，所述平坦層201設(shè)置在所述第二鈍化層108上，所述第二電極202設(shè)置在所述平坦層201上，而且所述第二電極202通過第二過孔205與所述漏極107連接，所述第一鈍化層203設(shè)置在所述第二電極202上，所述第一電極204設(shè)置在所述第一鈍化層203上，所述第一電極204通過第一過孔206與所述公共電極線103連接。
[0038]本實施例中，所述第一電極204為不透明金屬電極，所述第一電極的表面設(shè)置有凹凸結(jié)構(gòu)，所述凹凸結(jié)構(gòu)用于分散外部入射光，使得外部射入的光線發(fā)生漫反射，從而避免光線過度集中，提高外部能見度和顯示畫面的辨識度。另外，所述第一電極204包括面狀子電極和多個相互平行分布的條狀子電極，所述面狀子電極與所述條狀子電極同層設(shè)置。所述面狀子電極與所述薄膜晶體管的區(qū)域以及像素單元之間的區(qū)域?qū)?yīng)設(shè)置，也就是說，所述面狀子電極設(shè)置在現(xiàn)有技術(shù)中黑矩陣的位置，實現(xiàn)了黑矩陣的功能，從而減少了黑矩陣的使用。所述條狀子電極與所述第二電極對應(yīng)設(shè)置，也就是說，所述條狀子電極設(shè)置在現(xiàn)有技術(shù)中公共電極的位置，實現(xiàn)了公共電極的功能。
[0039]本實施例中，所述襯底基板101可以是玻璃基板或石英基板。所述柵極102、源極106和漏極107可以是米用金屬材料形成的。所述柵絕緣層104可以是米用氣化娃，也可以是使用氧化硅和氮氧化硅形成的。所述有源層105可以是采用金屬氧化物半導(dǎo)體材料形成的。所述第二層鈍化層108和所述第一鈍化層203可以是采用氮化硅，也可以是有機(jī)樹脂材料形成的。所述平坦層201可以是采用樹脂材料形成的。所述第二電極202可以是采用氧化銦錫(Indium tin oxide，簡稱 ITO)或者慘銦氧化鋅(indium-doped zinc oxide，簡稱IZO)形成的。所述第一電極204可以是采用鉬、鋁、釹化鋁或者銅等金屬材料形成的。
[0040]本實施例提供的陣列基板中，所述陣列基板包括襯底基板，所述襯底基板上設(shè)置有薄膜晶體管、彩膜層和第一鈍化層，所述第一鈍化層上設(shè)置有第一電極，所述第一電極包括面狀子電極，所述面狀子電極與所述薄膜晶體管的區(qū)域以及像素單元之間的區(qū)域?qū)?yīng)設(shè)置，所述第一電極為不透明金屬電極，所述第一電極的表面設(shè)置有凹凸結(jié)構(gòu)，所述凹凸結(jié)構(gòu)用于分散外部入射光。本實施例提供的第一電極的表面設(shè)置有凹凸結(jié)構(gòu)，所述凹凸結(jié)構(gòu)能夠分散外部入射光，使得外部射入的光線發(fā)生漫反射，從而避免光線過度集中，提高外部能見度和顯示畫面的辨識度。
[0041]實施例二
[0042]本實施例提供一種顯示裝置，包括實施例一提供的陣列基板，詳情請參見上述實施例一關(guān)于所述陣列基板的具體描述，此處不再贅述。
[0043]本實施例提供的顯示裝置中，所述陣列