51、52、53、54、56的正上方,第3繞組70的配線72形成于配線51、52、53、54、55的正上方。
[0058]圖9是實(shí)施方式2所涉及的電感器90的俯視圖。虛線表示在2層中形成繞組的、與電感器90匝數(shù)相同的電感器的外形。由于在需要高電感的情況下需要增加電感器的匝數(shù),所以電感器的面積很容易增加。由于在現(xiàn)有技術(shù)中難以利用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)制造在3層中形成繞組的電感器,因此在使匝數(shù)增加的情況下,不得不在2層中形成繞組。因此,如圖9的虛線所示,電感器大型化。
[0059]但是,本發(fā)明的實(shí)施方式2所涉及的電感器90,通過(guò)采用越是第I繞組和第2繞組的外側(cè)部分越先傳送信號(hào)的結(jié)構(gòu),從而成為能夠利用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)與端子的連接的、3層構(gòu)造的電感器。因此,如圖9所示,能夠提供小型的電感器90。
[0060]實(shí)施方式3
[0061]圖10是本發(fā)明的實(shí)施方式3所涉及的電感器100的斜視圖。電感器100是在實(shí)施方式I的電感器10的基礎(chǔ)上增加了追加構(gòu)造102的電感器。在第I繞組16的下層形成有第I追加繞組104和第2追加繞組106。
[0062]第I追加繞組104具有在最外周部分與輸入端子12連接的漩渦狀的形狀。在第I追加繞組104上方以漩渦狀的形狀形成有第2追加繞組106。在第I追加繞組104和第2追加繞組106之間形成有絕緣體。第I追加繞組104的中央部分與第2追加繞組106的中央部分通過(guò)追加中央部連接導(dǎo)體108連接。并且,第I繞組16的最外周部分與第2追加繞組106的最外周部分通過(guò)追加連接導(dǎo)體110電連接。
[0063]電感器100通過(guò)包含2層構(gòu)造的追加構(gòu)造102和3層構(gòu)造的電感器10,從而作為整體成為5層構(gòu)造。追加連接導(dǎo)體110的一部分以虛線表示的原因是,為了表示出可以在該部分追加任意數(shù)量的追加構(gòu)造102。例如在形成有N個(gè)追加構(gòu)造102的情況下,作為電感器整體,形成有繞組的層有3+2N層。
[0064]此外,在該虛線部分,不僅能夠插入追加構(gòu)造102,還能夠插入匝數(shù)為I的環(huán)狀繞組。在形成有例如I個(gè)環(huán)狀繞組和I個(gè)追加構(gòu)造102的情況下,作為電感器整體,形成有繞組的層有6層。但是,如果形成有繞組的層的總數(shù)為偶數(shù),則能夠?qū)⑷坷@組形成為漩渦狀,因此,采用本發(fā)明的構(gòu)造將缺乏實(shí)際益處。因此,優(yōu)選本發(fā)明應(yīng)用于形成有繞組的層的總數(shù)為大于或等于3層的奇數(shù)層(例如5層、7層等)的電感器。
[0065]電感器100的電感大于電感器10,相差的量與追加構(gòu)造102相對(duì)應(yīng)。但是,電感器100和電感器10所占據(jù)的面積相等。因此,電感器100適用于有以小面積實(shí)現(xiàn)大電感的要求的MMIC用途。而且,通過(guò)增加或減少追加構(gòu)造102的數(shù)量,能夠設(shè)定任意的電感。
[0066]實(shí)施方式4
[0067]圖11是本發(fā)明的實(shí)施方式4所涉及的電感器150的斜視圖。電感器150具有漩渦狀的第I繞組152。第I繞組152的最外周部分與輸入端子12電連接。第I繞組152具有配線 152a、152b。
[0068]在第I繞組152的上方形成有同心圓狀的第2繞組154。第2繞組154具有配線154a、154b。在第2繞組154的上方形成有同心圓狀的第3繞組156。第3繞組156具有配線156a、156b。第3繞組156的最外周部分與輸出端子14電連接。
[0069]與實(shí)施方式I同樣地,在第I繞組152之上以覆蓋第I繞組152的方式形成有第I絕緣膜,在第2繞組154之上以覆蓋第2繞組154的方式形成有第2絕緣膜。因此,在第I絕緣膜之上形成有第2繞組154,在第2絕緣膜之上形成有第3繞組156。
[0070]第I繞組152的中央部分(配線152a)與第2繞組154的中央部分(配線154a)通過(guò)中央部連接導(dǎo)體160連接。第2繞組154與第3繞組156通過(guò)多個(gè)連接導(dǎo)體162、164、166,以越是第2繞組154和第3繞組156的內(nèi)側(cè)部分越先傳送信號(hào)的方式連接。即,通過(guò)連接導(dǎo)體162,將作為第2繞組154的內(nèi)側(cè)部分的配線154a與作為第3繞組156的內(nèi)側(cè)部分的配線156a連接。通過(guò)連接導(dǎo)體164將配線156a與作為第2繞組154的外側(cè)部分的配線154b連接。通過(guò)連接導(dǎo)體166將配線154b與作為第3繞組156的外側(cè)部分的配線156b連接。
[0071]從輸入端子12輸入的信號(hào)首先在第I繞組152傳送。然后,信號(hào)經(jīng)由中央部連接導(dǎo)體160在配線154a上傳送,經(jīng)由連接導(dǎo)體162在配線156a上傳送。即,信號(hào)在第2繞組154和第3繞組156的內(nèi)側(cè)部分傳送。然后,信號(hào)經(jīng)由連接導(dǎo)體164在配線154b上傳送,經(jīng)由連接導(dǎo)體166在配線156b上傳送,輸出至輸出端子14。即,信號(hào)在第2繞組154和第3繞組156的外側(cè)部分傳送。
[0072]第2繞組154與第3繞組156通過(guò)多個(gè)連接導(dǎo)體162、164、166以越是第2繞組154和第3繞組156的內(nèi)側(cè)部分越先傳送信號(hào)的方式連接。由此,能夠?qū)⑿盘?hào)從第3繞組156的內(nèi)側(cè)部分向外側(cè)部分傳送。因此,電感器150能夠在第I繞組152的最外周部分與輸入端子12連接,并在第3繞組156的最外周部分與輸出端子14連接,因此,是不需要空氣橋等復(fù)雜結(jié)構(gòu)的、非常簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。
[0073]通過(guò)變更電感器150的多個(gè)連接導(dǎo)體的數(shù)量或配置,從而能夠容易地變更電感。例如,能夠?qū)⒌贗繞組152預(yù)先形成為通用規(guī)格,針對(duì)電感不同的產(chǎn)品分別制作多個(gè)連接導(dǎo)體。
[0074]中央部連接導(dǎo)體160也可以不將第I繞組152的中央部分與第2繞組154的中央部分連接,而是將第I繞組152的中央部分與第3繞組156的中央部分(配線156a)連接。只要在多個(gè)部位將第2繞組154與第3繞組156連接的多個(gè)連接導(dǎo)體162、164、166是越是第2繞組154和第3繞組156的內(nèi)側(cè)部分越先傳送信號(hào)的方式即可,也可以是其它結(jié)構(gòu)。
[0075]在本發(fā)明的實(shí)施方式4中,將第2繞組154和第3繞組156形成為同心圓狀,但是,只要形成為越是第2繞組154和第3繞組156的內(nèi)側(cè)部分越先傳送信號(hào),則不特別地限定將第2繞組154和第3繞組156形成為同心圓狀還是形成為漩渦狀。
[0076]實(shí)施方式5
[0077]圖12是本發(fā)明的實(shí)施方式5所涉及的電感器200的斜視圖。電感器200是在實(shí)施方式4的電感器150的基礎(chǔ)上增加了實(shí)施方式3的追加構(gòu)造102的電感器。電感器200的電感大于電感器150,相差的量與追加構(gòu)造102相對(duì)應(yīng)。但是,電感器150和電感器200所占據(jù)的面積相等。因此,電感器200適用于有以小面積實(shí)現(xiàn)大電感的要求的麗IC用途。而且,通過(guò)增加或減少追加構(gòu)造102的數(shù)量,能夠設(shè)定任意的電感。
[0078]實(shí)施方式6
[0079]本發(fā)明的實(shí)施方式6所涉及的電感器,涉及將實(shí)施方式2所涉及的電感器90的第2繞組的位置進(jìn)行變更后的電感器。圖13是本發(fā)明的實(shí)施方式6所涉及的電感器250的剖面圖。配線61A位于配線51的正上方、配線72的正下方。配線62A位于配線52的正上方、配線72的正下方。即,第2繞組的一部分(配線61A、62A)位于第I繞組的正上方、第3繞組的正下方。此外,第2繞組的一部分(配線61A、62A)是與第I繞組平行地延伸的部分。因此,配線61A、62A與配線51、52以固定的距離平行地延伸,而并非單純地交叉。
[0080]電感器250由于如上所述構(gòu)成,所以與實(shí)施方式2的電感器90相比,具有配線間距離近的部分。由此,能夠增加繞組間的耦合電容。圖14是表示實(shí)施方式6的電感器250和實(shí)施方式2的電感器90的頻率特性的圖。與電感器90的截止頻率相比,電感器250的截止頻率移向低頻側(cè)。
[0081]如電感器250所示,通過(guò)使第2繞組的一部分與第2繞組的其它部分相比靠近第I繞組及第3繞組,從而能夠改變電感器250的頻率特性。例如,