在從0.5cm至2cm的范圍中，且甚至更具體地說，晶片傳送皮帶303a、303b可具有大約Icm的寬度。
[0049]在此處應(yīng)注意，僅一個晶片傳送皮帶303或多于兩個的晶片傳送皮帶303可被用于本文所述的實(shí)施例的替代修改中。此外，應(yīng)注意，圖2描繪其中已建立正常操作模式的情況。第一晶片傳送皮帶303a可在第一驅(qū)動滾子1la和第一導(dǎo)向滾子201a之間橫跨，其中第二晶片傳送皮帶303b可在第二驅(qū)動滾子1lb和第二導(dǎo)向滾子201b之間橫跨。兩個驅(qū)動滾子1laUOlb可被附接于公共驅(qū)動軸102。驅(qū)動軸102可通過電動機(jī)驅(qū)動滾子105由電動機(jī)單元301驅(qū)動。電動機(jī)驅(qū)動滾子105可適于通過驅(qū)動皮帶106驅(qū)動公共驅(qū)動軸102。由此，驅(qū)動滾子1laUOlb兩者都可被驅(qū)動以使得晶片傳送皮帶303可在傳送方向304上移動，例如，可在晶片傳送方向304上來回移動。
[0050]晶片傳送皮帶303a、303b可在導(dǎo)向滾子201a、201b上被導(dǎo)向且被導(dǎo)向回到驅(qū)動滾子101a、101b，以使得可提供環(huán)形的晶片傳送皮帶303。導(dǎo)向滾子201a、201b可被保持在各個安裝板205a、205b處。在安裝板205a、205b中，可分別提供安裝槽202a和202b以使得導(dǎo)向滾子201a、201b的各個軸可在晶片傳送方向304上來回移動。以此方式，兩個晶片傳送皮帶303a、303b可被分別地橫跨。由此，導(dǎo)向滾子軸承203a、203b中至少一個的軸線可被容納在安裝槽202a、202b中，其中所述軸線可在晶片傳送方向304上來回移動以使得晶片傳送皮帶303的張力可被調(diào)整。
[0051]根據(jù)實(shí)施例的替代修改，至少一個驅(qū)動滾子軸承103的軸線可被容納在另一安裝槽(未圖示在圖2中)中，其中所述軸線可在晶片傳送方向304上來回移動以使得晶片傳送皮帶303的張力可被調(diào)整。
[0052]在圖2中所示的輸送機(jī)系統(tǒng)100的實(shí)施例中，驅(qū)動滾子1laUOlb和導(dǎo)向滾子201a、201b兩者都可通過各個軸承，即驅(qū)動滾子軸承103a、103b和導(dǎo)向滾子軸承203a、203b，可旋轉(zhuǎn)地附接于支撐單元300。導(dǎo)向滾子軸承203a、203b可在輸送機(jī)系統(tǒng)100的第二側(cè)402在安裝槽201a、201b之內(nèi)被附接于各個安裝板205a、205b。
[0053]另一方面，驅(qū)動滾子軸承103a、103b可通過兩個晶片傳送皮帶303a、303b被可釋放地保持在支撐單元300處，且驅(qū)動滾子軸承103a、103b可被容納在相關(guān)聯(lián)的安裝凹槽104a、104b中，參見圖4。由此，在下文根據(jù)圖3和圖4所述的保養(yǎng)模式中，可以促進(jìn)公共驅(qū)動軸102連同兩個驅(qū)動滾子101a、1lb和驅(qū)動滾子軸承103a、103的各個拆除和拆卸，且可以降低保養(yǎng)維護(hù)成本。此外，可以減少由保養(yǎng)程序或在損壞的情況下由于修理工作所導(dǎo)致的停機(jī)時間。如從圖2中可見，晶片傳送皮帶303a、303b可以容易且有效的方式從輸送機(jī)系統(tǒng)100被除去，而無需從輸送機(jī)系統(tǒng)100拆除任何其他元件。
[0054]雖然沒有在附圖中圖示，但是應(yīng)在此處注意，代替通過電動機(jī)單元301驅(qū)動公共驅(qū)動軸102，導(dǎo)向滾子201a、201b中的一個或兩個可被驅(qū)動以使得晶片傳送皮帶303a、303b可在晶片傳送方向304上移動(圖la)。
[0055]圖3是根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例的輸送機(jī)系統(tǒng)100的主要部分的分解圖。輸送機(jī)系統(tǒng)100被圖示為至少部分地被拆卸以使得個別元件可被單獨(dú)看到。在此處應(yīng)注意，其中已從輸送機(jī)系統(tǒng)100除去晶片傳送皮帶303a、303b以使得輸送機(jī)系統(tǒng)100的其他元件也可被釋放的情況在本說明書中被表示為保養(yǎng)模式。
[0056]電動機(jī)單元301被示例性地圖示為包括公共驅(qū)動軸102和附接于所述驅(qū)動軸102的兩個驅(qū)動滾子101a、101b。此外，圖示了兩個驅(qū)動滾子軸承103a、103b，所述驅(qū)動滾子軸承103a、103b可被容納在各個安裝凹槽104a、104b中。在圖3中所示的情況下，晶片傳送皮帶303a、303b可被釋放以使得公共驅(qū)動軸102和驅(qū)動滾子1laUOlb —起可例如為了維護(hù)目的而被拆卸。
[0057]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例，輸送機(jī)系統(tǒng)100可包括傳感器單元403，所述傳感器單元403適用于檢測正在晶片傳送皮帶303a、303b上輸送的晶片的通過。根據(jù)更進(jìn)一步另外或替代的修改，傳感器單元403可選自包括以下傳感器的群組:光學(xué)傳感器、機(jī)械傳感器、電容傳感器、超聲波傳感器和上述傳感器的任何組合。根據(jù)另一實(shí)施例，傳感器單元403可用于在晶片傳送期間的運(yùn)動調(diào)整。
[0058]圖4是電動機(jī)單元301的分解圖，電動機(jī)單元301包括兩個滾子101a、1lb和兩個驅(qū)動滾子軸承103a、103b，所述兩個滾子101a、1lb被圖示為具有公共驅(qū)動軸102的單元，且所述兩個驅(qū)動滾子軸承103a、103b被提供用于可旋轉(zhuǎn)地保持公共驅(qū)動軸102。在正常操作模式中，驅(qū)動滾子軸承103a、103b可被容納在電動機(jī)單元301的主體的安裝凹槽104a、104b中。由此，在保養(yǎng)模式中，通過除去晶片傳送皮帶303a、303b，可旋轉(zhuǎn)地保持各個驅(qū)動滾子1laUOlb的滾子軸承103a、103b可與相關(guān)聯(lián)的滾子1laUOlb —起被釋放。
[0059]在圖4左側(cè)上圖示的驅(qū)動皮帶106可用于例如經(jīng)由驅(qū)動環(huán)316驅(qū)動公共驅(qū)動軸102，所述驅(qū)動環(huán)316設(shè)置在兩個驅(qū)動滾子1laUOlb之間的公共驅(qū)動軸102上。為了裝配電動機(jī)單元301，可以提供螺釘200、墊圈207和安裝螺母106。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例，驅(qū)動皮帶106可作為鋸齒狀驅(qū)動皮帶提供。根據(jù)實(shí)施例，鋸齒狀驅(qū)動皮帶可具有在大致垂直于皮帶運(yùn)動方向的方向上定向的齒，或可具有在大致平行于皮帶運(yùn)動方向的方向上定向的齒，或可具有在垂直方向和平行方向之間定向的齒。除上述情況之外，或作為上述情況的替代，電動機(jī)驅(qū)動滾子105可作為主動齒輪提供。
[0060]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例，主動齒輪可具有在大致垂直于主動齒輪的軸線的方向上定向的齒，或可具有在大致平行于主動齒輪的軸線的方向上定向的齒，或可具有在垂直方向和平行方向之間定向的齒。除此之外，或作為替代，驅(qū)動環(huán)316可具有在大致垂直于公共驅(qū)動軸102的方向上定向的齒，或可具有在大致平行于公共驅(qū)動軸102的方向上定向的齒，或可具有在垂直方向和平行方向之間定向的齒。由此，可以改進(jìn)從電動機(jī)單元301到公共驅(qū)動軸102的旋轉(zhuǎn)動量傳遞。
[0061]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例，驅(qū)動滾子軸承103a、103b和導(dǎo)向滾子軸承203a、203b中的至少一個可選自由以下軸承組成的群組:球軸承、滾子軸承、圓錐軸承和溝槽球軸承。
[0062]圖5圖示支撐單元300的底座部分307。底座部分307可適于被固定在處理晶片的處理地點(diǎn)，以使得根據(jù)實(shí)施例的輸送機(jī)系統(tǒng)100可用于傳送待處理的晶片。底座部分307可使用螺釘200和墊圈200固定。輸送機(jī)系統(tǒng)100的元件可通過螺釘200、墊圈207和安裝螺母206附接在底座部分307的頂部上。
[0063]圖6a圖示根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例，通過導(dǎo)向滾子軸承203可旋轉(zhuǎn)地附接于導(dǎo)向滾子軸204的導(dǎo)向滾子201的細(xì)節(jié)。導(dǎo)向滾子軸204可被安裝在安裝槽202中，且導(dǎo)向滾子軸204可相對于晶片傳送方向304來回調(diào)整，如圖1a中所描繪地。諸如螺紋桿的距離元件315可被提供且附接于導(dǎo)向滾子保持裝置313，以使得可防止或至少減少導(dǎo)向滾子保持裝置313在安裝槽之內(nèi)的晶片傳送方向上的運(yùn)動(參見圖7)。
[0064]圖6b圖示圖6a中所示的導(dǎo)向滾子保持裝置313的細(xì)節(jié)。如圖6b中所示，導(dǎo)向滾子保持裝置313包括突起部312，在晶片傳送皮帶303橫跨的情況下，所述突起部312可導(dǎo)致導(dǎo)向滾子保持裝置313相對于導(dǎo)向滾子軸204的中心線314