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等離子體蝕刻設(shè)備和用這種設(shè)備制造的液晶顯示模塊的制作方法

文檔序號:6824754閱讀:138來源:國知局
專利名稱:等離子體蝕刻設(shè)備和用這種設(shè)備制造的液晶顯示模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一等離子體蝕刻設(shè)備,更具體地說,涉及一種帶有改進的陰極電極保護蓋的等離子體蝕刻設(shè)備,它可以防止在蝕刻過程中在陰極電極和放在陰極電極之上的液晶顯示(LCD,liquid crystal display)母基底之間產(chǎn)生間隙。另外,本發(fā)明的等離子體蝕刻設(shè)備可以防止由于間隙作用使LCD玻璃母基底的冷卻效率降低,從而使形成于LCD玻璃母基底側(cè)表面上的光致抗蝕劑被灼傷。本發(fā)明還涉及用等離子體蝕刻設(shè)備制造的液晶顯示模塊。
一般地,如

圖1所示,用于LCD器件的開關(guān)元件的薄膜晶體管(TFT,thinfilm transistor)10包括一柵極1;一通過沉積技術(shù)形成的SiNx絕緣層2,為柵極絕緣;一半導體層3,形成于絕緣層2之上;一歐姆接觸層4,形成于半導體層3之上;一漏極6,形成于歐姆接觸層4的正確部位之上;和一保護層7,形成于半導體層3的曝光部位之上。
為了提供電信號的傳送通道,在保護層7上通過等離子體蝕刻工藝,在選定的部位上形成一接觸孔8。在接觸孔8形成以后,在包含接觸孔8的絕緣層2上形成由銦錫氧化物(ITO)構(gòu)成的透明電極9,作為象素電極,從而完成TFT基底的制作。
在形成上述TFT基底10的過程中,利用蝕刻工藝來形成一柵極電極圖案;一絕緣層圖案;一半導體層圖案;一歐姆接觸層圖案;一源極圖案;一漏極圖案;和一ITO圖案。
可以使用各種蝕刻設(shè)備來執(zhí)行這種蝕刻工藝。最近,出現(xiàn)一種雙重等離子體蝕刻設(shè)備,其效率提高了。雙重等離子體蝕刻設(shè)備包括一對陰極電極,它們安裝在絕緣體的上、下表面,可以用固定在每個陰極電極上的LCD玻璃母基底進行蝕刻工藝。
參考圖2和3,一傳統(tǒng)的等離子體蝕刻設(shè)備30包括兩個板形陰極電極36,它們置于一絕緣層32的上、上表面上。在圖2和3中,僅示出了一個電極36;一夾具34,用于夾持放在陰極電極36上的LCD玻璃母基底10。該設(shè)備30還包括一陰極轉(zhuǎn)動裝置(未顯示),用于轉(zhuǎn)動陰極電極36和為陰極電極36提供射頻(RF,radio frequency)能源。
在規(guī)格上,陰極電極36比LCD玻璃母基底10稍大,因此,當LCD玻璃母基底放在陰極電極之上時,可以保證夾具34的安裝空間(以夾持LCD玻璃母基底10的邊緣部分10a)。
夾具34用來固定LCD玻璃母基底10,也可以用來將LCD玻璃母基底10和陰極電極隔開一預(yù)定間距。
夾具的固定功能是通過在陰極電極36的邊緣形成多個通孔,從通孔中插入一圓柱舉起桿34C,連接伸出陰極電極36上表面的舉起桿和帶有多個夾具34b以直接壓緊LCD玻璃母基底10的保持架34a。
此時,為了讓夾具34b緊緊地壓住陰極電極36的上表面,需要一陰極壓緊元件37,以產(chǎn)生壓緊力。
陰極壓緊元件37例如是一拉簧37a,它具有一預(yù)定的彈性模量。伸出陰極電極36下表面的舉起桿34C插至拉簧37a中,拉簧被固定,不會從舉起桿上滑出。
舉起桿34C通過拉簧37a朝陰極電極36的方向推放在陰極電極上面的保持架34a。因此,放在陰極電極36上的LCD玻璃母基底10被夾具34b和保持架34a。
另一方面,為了通過夾具將LCD玻璃母基底10和陰極電極分開,在LCD玻璃母基底10和陰極電極上形成有一通孔。一舉起銷(未顯示)插在通孔中,舉起桿的一端與舉起桿34C連接。然后,舉起桿隨舉起桿34C的垂直運動發(fā)生位移。因此,通過夾具將LCD玻璃母基底10和陰極電極分開。
此時,舉起桿34C的存在,LCD玻璃母基底10的面積小于陰極電極36的多個舉起桿所占有的面積,如圖3所示。結(jié)果,在蝕刻過程中沒有被LCD玻璃母基底10覆蓋的陰極電極36的邊緣部分被曝露在等離子體環(huán)境中。當?shù)入x子體蝕刻是在陰極電極36的邊緣部分被曝露的條件下進行的時候,陰極電極36的邊緣部分會被嚴重損害。
為了使陰極電極在這種情況不會被損害,對會被損害的陰極電極36的邊緣部分進行處理,使之具有階狀結(jié)構(gòu)。然后,將陰極電極保護蓋38固定到陰極電極36上,讓陰極電極36的階狀邊緣部分被陰極電極保護蓋38覆蓋。
參考圖3中的剖視圖,陰極電極保護蓋38與陰極電極36的上表面之高度差ΔT為0.7mm。換句話說,陰極電板保護蓋38的上表面比陰極電極36的上表面低0.7mm。
為了將LCD玻璃母基底10裝在陰極30上,夾具34的保持架34a被住并慢慢地向上移動。在陰極30被固定的條件下,當僅有保護架34a在陰極電極上移動時,如上所述,舉起桿34C和舉起銷隨保持架34a一起移動,,在保持架34a和陰極電極36之間形成一間隙。
此時,由自動刀片(robot blade)傳送的LCD玻璃母基底10被裝在陰極電極36和保持架34a之間,然后放到舉起銷上。
然后,在自動刀片被卸載和保持架34a向下移動的同時,LCD玻璃母基底10被放在陰極電極36上,LCD玻璃母基底10的邊緣部分被夾具34的夾持部位34b緊緊壓住。
然而,當LCD玻璃母基底10的邊緣部分被夾具34緊緊壓住時,LCD玻璃母基底10的邊緣部分的高度變得比其中心部分的高度低,因為陰極電極保護蓋38安裝得比陰極電極36低,如圖4所示。
因此,在LCD玻璃母基底10的中心部分產(chǎn)生一與作用在LCD玻璃母基底10的邊緣部分的壓緊力方向相反的力。結(jié)果,LCD玻璃母基底10的中心部分與陰極電極36產(chǎn)生一定的間隙G。
當在LCD玻璃母基底10的中心部分與陰極電極36之間產(chǎn)生間隙G的條件下,等離子體蝕刻過程中產(chǎn)生的熱不能被陰極電極36冷卻,而是沿沉積在LCD面板上圖案傳送到LCD玻璃母基底10上形成的LCD面板的端部。結(jié)果,金屬圖案的端部也被加熱至高溫。
當LCD玻璃母基底10沒有被充分冷卻時,LCD面板的一大半,如LCD玻璃母基底10的六個單元LCD面板A~F,如圖5所示,不能隔熱,涂在LCD面板上的光致抗蝕劑被灼傷,這將會對LCD面板導致最大的傷害。
圖5中的標號35a表示一灼傷的光致抗蝕劑。
所以,本發(fā)明的一個目的是通過讓LCD玻璃母基底的中心部分與陰極電極接觸,使它們之間沒有間隙產(chǎn)生,從而防止LCD玻璃母基底(被陰極電極冷卻)冷卻效率的降低,保護光致抗蝕劑不被灼傷。
本發(fā)明的其他目的從下面的描述中會一目了然。
為了實現(xiàn)上述和其他目的,本發(fā)明提供一種等離子體蝕刻設(shè)備,包括一等離子體室,LCD玻璃母基底在其內(nèi)通過等離子體蝕刻;一陽極,形成于所述等離子體室的相對側(cè);一陰極,它包括一可導電轉(zhuǎn)動軸,它可轉(zhuǎn)動地安裝在所述等離子體室內(nèi);一絕緣體,它形成于所述轉(zhuǎn)動軸上;一陰極電極,形成于所述絕緣體的上、下表面上,位于所述陽極的對面,并且與所述轉(zhuǎn)動軸電連接;一陰極電極保護蓋,用于覆蓋沒有被裝在所述陰極電極上的LCD玻璃母基底蓋住的所述陰極電極的邊緣部分;和一夾持裝置,用于將所述LCD玻璃母基底夾緊在所述陰極電極上;一RF源提供裝置,用于為所述陰極的轉(zhuǎn)動軸提供RF源;一源氣體提供裝置,用于為所述等離子體室提供源氣體;和一排氣裝置,用于排出殘余氣體和廢氣體,其中,當所述陰極電極保護蓋和所述陰極電極連接時,所述陰極電極保護蓋的高度大于所述陰極電極的高度。
根據(jù)本發(fā)明的等離子體蝕刻設(shè)備,為了防止陰極的陰極電極的上表面不與LCD玻璃母基底的下表面分開,防止陰極電極被損害的陰極電極保護蓋的上表面固定得比陰極電極高,LCD玻璃母基底的邊緣部分被強烈地推向LCD玻璃母基底的中心部分,因此,LCD玻璃母基底不會從陰極電極上滑出,在LCD玻璃母基底和陰極電極之間不會產(chǎn)生間隙。
以下結(jié)合附圖來詳述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。附圖中圖1是傳統(tǒng)的TFT的剖視圖;圖2是傳統(tǒng)的等離子體蝕刻設(shè)備的陰極的一部分的透視圖;圖3沿圖2中A-A線的剖視圖;圖4是一示意圖,示出了當用傳統(tǒng)的夾具固定LCD玻璃母基底時,在LCD玻璃母基底的陰極和中心部分之間形成的間隙;圖5是LCD玻璃母基底的俯視圖,包括6個傳統(tǒng)的帶有灼傷的光致抗蝕劑部分的LCD面板;圖6是根據(jù)本發(fā)明的等離子體蝕刻設(shè)備的透視圖;圖7是沿圖6中的B-B線的剖視圖;圖8是根據(jù)本發(fā)明的陰極的分解透視圖;圖9是圖8中的陰極在略去某些部分后的透視圖;圖10是圖9中C部分的放大圖;圖11是根據(jù)本發(fā)明的夾具的剖視圖;圖12示出了陰極電極保護蓋的動作,該陰極電極保護蓋的上表面高于陰極電極的上表面;和圖13是一示意圖,示出了用于操作夾具的夾具手柄驅(qū)動單元。
下面將參考附圖,更全面的介紹根據(jù)本發(fā)明的等離子體蝕刻設(shè)備,用該設(shè)備制造的LCD模塊也將作為一優(yōu)選實施例來進行介紹。
圖6是根據(jù)本發(fā)明的等離子體蝕刻設(shè)備的透視圖。圖7是沿圖6中的B-B線的剖視圖。
參考圖6和7,根據(jù)本發(fā)明的等離子體蝕刻設(shè)備500包括一等離子體室200;一陰極300,其上放有一用等離子體蝕刻的LCD玻璃母基底;一陽極400;一等離子體源氣體提供裝置160;一陰極轉(zhuǎn)動裝置150;一排氣裝置450;和一RF發(fā)生器180,用于向陰極300提供RF源。
等離子體室200呈六面體形,其內(nèi)包括一預(yù)定大小的空間,如圖6所示。在等離子體室200的一側(cè),沿圖6中的方向II,形成有一LCD玻璃母基底門210,它通過一自動刀片(未顯示)插入和取出將用等離子體來進行蝕刻的LCD玻璃母基底。
陰極300可轉(zhuǎn)動地安裝在等離子體室200內(nèi)。通過可轉(zhuǎn)動地安裝到陰極300內(nèi),兩個LCD玻璃母基底可以同時夾在陰極上,并用等離子體來進行處理。
陰極轉(zhuǎn)動裝置是安裝在等離子體室200的外面,從而用一選定的速度來轉(zhuǎn)動陰極300。陰極轉(zhuǎn)動裝置150通過一轉(zhuǎn)軸312與陰極300連成一體。
另一方面,用于向陰極300的轉(zhuǎn)軸312提供RF源的RF發(fā)生器180,安裝在陰極轉(zhuǎn)動裝置150的附近。
對于一等離子體蝕刻裝置,還安裝有一陽極400和一噴射裝置(未顯示),噴射裝置用于噴射等離子源氣體提供裝置160所提供的源氣體。噴射裝置安裝在陰極300和陽極400之間。
陽極400安裝在等離子體室200內(nèi)相應(yīng)于圖6中的方向I的相對兩側(cè)。陽極400取著主門的作用,它可以打開和關(guān)閉,以維修和清洗等離子體室200,它是接地。
此時,和源氣體提供裝置160連接的管嵌在等離子體室200中陽極400所在的一側(cè)。一源氣體通過管子提供到陰極300和陽極400之間形成的十字噴頭。
當所有的LCD玻璃母基底都被裝到陰極300上時,陰極300通過陰極轉(zhuǎn)動裝置150轉(zhuǎn)動到與陽極400平行的位置。然后,執(zhí)行等離子蝕刻處理。
在兩個質(zhì)量較大的LCD玻璃母基底都夾上,且陰極直指重力方向時,下面將參考圖8至圖10詳細介紹陰極300的一種結(jié)構(gòu)。
圖8是根據(jù)本發(fā)明的陰極的分解透視圖。圖9是圖8中的陰極在略去某些部分后的透視圖。
圖10是圖9中C部分的放大圖。
參考圖8,陰極300包括一絕緣體310,轉(zhuǎn)動軸310安裝在它上面;一對陰極320,它們分別連接到絕緣體310的上表面和下表面上;一陰極電極保護蓋330,以保護陰極電極320的邊緣部分免受等離子體的損害;一對LCD玻璃母基底夾持裝置340,用于緊緊地固定放在陰極320上的LCD玻璃母基底,從而防止LCD玻璃母基底滑出陰極電極320;和一LCD玻璃母基底舉起裝置350,用于將LCD玻璃母基底和陰極電極320分開一預(yù)定距離。
更具體地,絕緣體310呈矩形塊狀。在絕緣體310的三側(cè)形成有多對上部和下部槽314。如圖8所示,各對上部和下部槽314彼此分開一定的距離。作為一個實施例,槽314呈六面體形。
LCD玻璃母基底舉起裝置350安裝在槽314內(nèi)。
如圖8所示,LCD玻璃母基底舉起裝置350包括一舉起桿352,它有一預(yù)定的長度;一舉起銷支撐板354,它呈矩形,其一端以與舉起桿352的底352a連接,與舉起桿352成90度的角;一舉起銷356,它安裝在舉起銷支撐板354的另一端上,以使舉起銷356在相同的方向上具有與舉起桿352相同的位移;和一拉簧358,它固定在舉起桿352上。
在LCD玻璃母基底舉起裝置350被插入到絕緣體310的槽314中以后,上部和下部陰極電極320分別被固定到絕緣體310的上下表面上。
陰極電極320呈一厚板形,有一預(yù)定的厚度,其平面面積和絕緣體310的平面面積相同。對應(yīng)于插在槽314中的LCD玻璃母基底舉起裝置350的舉起桿352和舉起銷356,在陰極電極邊緣選定部位形成有舉起桿連接孔322和舉起銷連接孔324。
如圖8所示,陰極電極有一臺階結(jié)構(gòu)。形成有舉起桿連接孔322的陰極電極320的邊緣部分326比形成有舉起銷連接孔324部分薄。
陰極電極320大部分被LCD玻璃母基底覆蓋,因此,不會被等離子體損害。然而,在進行等離子體蝕刻過程中,由于陰極電極320的邊緣部分326曝露于等離子體中,所以,陰極電極320的邊緣部分326會被嚴重損害。
為了保護陰極電極320的邊緣部分326不受損害,在陰極300的邊緣部分326固定有一具有高等離子體阻抗的陰極電極保護蓋330。
陰極電極保護蓋330呈四方環(huán)形,配裝在陰極電極320的階式邊緣部分326內(nèi)。陰極電極保護蓋330包括舉起桿通孔332,它形成于與舉起桿352相應(yīng)的選定位置,從而使LCD玻璃母基底舉起裝置350的舉起桿352可以伸到陰極電極保護蓋330的外面。
最好,陰極電極保護蓋330是由具有高等離子體阻抗的陶瓷材料形成,最好,陰極電極保護蓋330的上表面比陰極電極320的上表面稍高一點,換句話說,陰極電極保護蓋330的位置比陰極電極320的位置稍高,結(jié)果,陰極電極保護蓋330和陰極電極320形成階狀表面,后面將對此進行介紹。
LCD玻璃母基底夾持裝置340安裝在陰極電極保護蓋330上。
LCD玻璃母基底夾持裝置340包括四方環(huán)形保持架342,它是由一桿形架彎曲而成,其規(guī)格與LCD玻璃母基底相同;和多個沿保持架安裝的夾具345,用于直接夾持LCD玻璃母基底305。
此時,如圖11所示,夾具345包括一圓筒形固定桿345a,它固定到保持架342上;一圓形夾持板345b,其中形成有一通孔,用于插入固定桿345a;一彈簧345c,它固定到固定桿345a上,用于壓緊夾持板345b;和一圓柱形夾具蓋345d,它套在彈簧345c外面,用于保護固定桿345a和彈簧345c,免受等離子體的傷害。
因此,當放在陰極電極320上的LCD玻璃母基底305的邊緣部分被夾具345的D或E部分壓緊時(圖11),LCD玻璃母基底305由于彈簧345c強烈地壓緊夾持板345b的彈力而傾斜,放在陰極電極320上的LCD玻璃母基底305的邊緣部分被強烈地壓緊。
此時,LCD玻璃母基底305(夾持板345b伸出此處)的邊緣部分上承受的壓力沿垂直于夾持板345b的方向作用。
保持架342包括舉起桿連接孔346,LCD玻璃基底舉起裝置350的舉起桿352通過它連接。保持架342還包括夾具連接孔348,它們間隔一預(yù)定的距離,用以安裝夾具345。與舉起桿連接孔346連接的舉起桿352的一端通過夾持螺釘301固定地與保持架342連接。夾具345通過夾持螺釘固定地與夾具連接孔連接。
如圖13所示,一夾持桿驅(qū)動裝置369安裝在等離子體室內(nèi)的保持架342的四個角上。
夾持桿驅(qū)動裝置369包括一驅(qū)動單元369b,如液壓筒;一轉(zhuǎn)動桿369a,它與驅(qū)動單元369b連接;和一夾持桿指369c,它形成于轉(zhuǎn)動桿369a的一端,可以垂直移動和轉(zhuǎn)動。夾持桿349是通過延伸保持架342上與夾持桿指369c相應(yīng)的部分而形成的。
如圖12所示,為了防止在LCD玻璃母基底305的中心部分和陰極電極320之間產(chǎn)生間隙,重要的是,在形成陰極電極保護蓋時,要讓當陰極電極保護蓋330配裝到陰極電極上時,使陰極電極保護蓋330的上表面比陰極電極320的上表面高出至少0.1mm和更多,最好在0.1mm~0.2mm(ΔT)之間。
通過用陶瓷材料來形成陰極電極保護蓋330的一表面,同時使陰極電極330的邊緣部分稍高于陰極電極330的是上表面,可以防止LCD玻璃母基底305的邊緣部分彎曲,當LCD玻璃母基底305受到LCD玻璃母基底夾持裝置340的夾具345的強烈壓緊時,可以防止LCD玻璃母基底305的中心部分由于在LCD玻璃母基底305和陰極電極保護蓋330之間產(chǎn)生間隙而與陰極電極320分開。
更具體地說,如圖12所示,當LCD玻璃母基底夾持裝置340的夾具345強烈地壓緊LCD玻璃母基底305的邊緣部分時,LCD玻璃母基底305所承受的、由夾具345所提供的壓力沿著垂直于夾具345的傾斜表面的方向作用。
LCD玻璃母基底305所承受的壓力可以分解為矢量A(VA)和B(VB)。當所有的夾具345沿著從LCD玻璃母基底305的邊緣部分到中心部分的方向壓緊LCD玻璃母基底305的邊緣部分時,一個力,矢量A(VA)將從LCD玻璃母基底305的邊緣部分傳到中心部分。
另外,由于LCD玻璃母基底305的邊緣部分比其中心部分約高出0。1~0.2mm,LCD玻璃母基底305變成凹的板形。結(jié)果,LCD玻璃母基底305的中心部分不會與陰極電極分開,它們之間不會形成間隙。
表1~4給出了數(shù)據(jù),說明在陰極電極保護蓋330比陰極電極320的上表面高出0.1~0.2mm時,光致辭抗蝕劑是否會灼傷。
更具體地說,表1~4給出了在兩個陰極電極當中的一個的陰極電極保護蓋形成得比陰極電極的上表面高出0.1~0.2mm,而另一陰極電極保護蓋形成得與相應(yīng)陰極電極的下表面一樣高的條件下,進行等離子體蝕刻工藝時,光致抗蝕劑是否被灼傷的結(jié)果。
表1
根據(jù)表1,當在兩個陰極電極A和B與不同的陰極電極保護蓋連接的條件下(陰極電極A與形成得比陰極電極A的高出0.1~0.2mm的陰極電極保護蓋連接,陰極電極B與形成得和陰極電極B低的陰極電極保護蓋連接)進行等離子體蝕刻工藝時,光致抗蝕劑在使用陰極電極A時不會灼傷,而在使作陰極電極B時會灼傷。
表2
根據(jù)表2,當在兩個陰極電極A和B與不同于表1中所用的其它陰極電極保護蓋連接的條件下(陰極電極A與形成得比陰極電極A低的陰極電極保護蓋連接,陰極電極B與形成得和陰極電極B高出0.1~0.2mm的陰極電極保護蓋連接)進行等離子體蝕刻工藝時,光致抗蝕劑在使用陰極電極A時會灼傷,而在使作陰極電極B時不會灼傷。
表3
根據(jù)表3,當在兩個陰極電極A和B都和形成得比陰極電極A和B高出0.1~0.2mm的陰極電極保護蓋連接的條件下進行等離子體蝕刻工藝時,光致抗蝕劑在使用陰極電極A和B時都不會灼傷。
表4
根據(jù)表3,當在蝕刻室C中的兩個陰極電極A和B和表3中蝕刻室B所用過的陰極電極保護蓋連接的條件下進行等離子體蝕刻工藝時,光致抗蝕劑在使用陰極電極A和B時都不會灼傷。
另外,當46LCD玻璃母基底305在包含形成得分別比相應(yīng)的陰極電極高的陰極電極保護板的蝕刻室中蝕刻時,會得到表1~4中相同的結(jié)果,也就是說,光致抗蝕劑不會灼傷。
正如表3和4中所列,光致抗蝕劑不會灼傷,由于陰極電極和LCD玻璃母左基底305彼此不會分開,而是通過形成得比陰極電極高出0.1~0.2mm的陰極電極保護板而彼此接觸,陰極電極可以實現(xiàn)其全部的冷卻效率。
另一方面,正如表3和4中所列出的結(jié)果,等離子體蝕刻工藝必須在陰極電極和LCD玻璃母基底305彼此相互接觸(以防止光致抗蝕劑被灼傷)的條件下進行。然而,在等離子體蝕刻工藝在這種條件下進行之后,當LCD玻璃母基底305被LCD玻璃母基底舉起裝置的舉起銷舉起時,LCD玻璃母基底305不會與與陰極電極分開,而在LCD玻璃母基底305和陰極電極之間的強烈的靜彈力的作用下,被彎曲。
為了除去LCD玻璃母基底305和陰極電極之間的強烈的靜彈力,從RF源提供裝置提供給轉(zhuǎn)軸的RF源的振幅不斷地減小,持續(xù)至少1秒鐘或更長,最好為5秒種,以使靜彈力除去。
在圖9中,參考數(shù)字307是一個LCD玻璃母基底,在LCD玻璃母基底上形成有器件。LCD玻璃母基底307要么是一TFT基底(其上形成有薄膜電阻和ITO電極),要么是彩色過濾基底(其上形成有紅色(R),綠色(G),和藍色(B)過濾膜和公共電極)。
當可防止光致抗蝕劑灼傷的等離子體蝕刻完成以后,LCD玻璃母基底305被反復(fù)地時下面步驟形面半導體薄膜,涂光致抗蝕劑膜,根據(jù)將要形成的圖案讓光致抗蝕劑曝光,讓曝光的光致抗蝕劑膜顯影,和執(zhí)行等離子蝕刻。經(jīng)過上述步驟,準備好供TFT基底用的第一玻璃母基底和供彩色過濾基底用的第二玻璃母基底。
接著,對準第一和第二玻璃母基底,并使之相互連接。將液晶填充到兩個基底之間的空隙中,以形成幾個微米厚的液晶層。液晶層用來作為電容的介電層,讓象素電極形成于TFT基底的一個表面上,公共電極形成于彩色過濾基底的一個表面上。液日層還取著光閘的作用,它通過或關(guān)閉入射光束。
為了驅(qū)動TFT基底的各個TFT,至少需要提供兩個印刷電路。一般地,兩個PCB當中的一個大都認為是源驅(qū)動PCB,另一個是柵驅(qū)動PCB。源驅(qū)動PCB提供相應(yīng)于外部的表象數(shù)據(jù)輸入的灰縮放電壓,柵驅(qū)動PCB為TFT基底的TFT提供開關(guān)電壓。為了TFT基底和兩個PCB之間的信號傳送,需要提供一連接元件,它稱作磁帶載體包,它提供有驅(qū)動集成電路。通過用多個磁帶載體包連接兩個PCB和TFT基底,可以準備液晶顯示面板。
最近,稱作反光組件的光源提供單元配備在液晶顯示面板下面,從而完成了LCD模塊的制造。
如上所述,可以通過使用于保護陰極電極免受等離子體影響的陰極電極保護蓋形成得比陰極電極高來防止LCD玻璃母基底的中心部分和陰極電極相應(yīng)部分之間形成間隙,所以,被等離子體加熱到一高溫的LCD玻璃母基底可以通過溫度相對較低的陰極電極來冷卻,光致抗蝕劑的灼傷可以明顯減少。這樣可以減少LCD面板制造時廢品的出現(xiàn)率。
同時,盡管上述實施例示出并介紹了在LCD面板的制造時用來為半導體層構(gòu)圖的等離子體蝕刻,本發(fā)明的等離子體蝕刻裝置可以用于半導體器件的制造。如,將上面形成有半導體器件圖案的晶片固定在陰極電極上,夾緊晶片的平整部位,執(zhí)行這種等離子體蝕刻工藝來形成一選定的圖案,沿著晶片外圍提供一上表面與陰極電極的上表面齊平的陰極電極保護蓋。和上述的實施例相似,這種結(jié)構(gòu)允許晶片和陰極電極緊密接觸,從而防止作為掩膜的光致抗蝕劑層在等離子體蝕刻過程中被灼傷。
本發(fā)明并不僅僅局限于上述實施例。對于熟悉本技術(shù)的人,在所附權(quán)利要求所規(guī)定的發(fā)明范疇內(nèi),可以進行各種變化和修改。
權(quán)利要求
1.一種等離子體蝕刻設(shè)備,包括一等離子體室,LCD玻璃母基底在其內(nèi)通過等離子體蝕刻;一陽極,形成于所述等離子體室的相對側(cè);一陰極,它包括一可導電轉(zhuǎn)動軸,它可轉(zhuǎn)動地安裝在所述等離子體室內(nèi);一絕緣體,它形成于所述轉(zhuǎn)動軸上;一陰極電極,形成于所述絕緣體的上、下表面上,位于所述陽極的對面,并且與所述轉(zhuǎn)動軸電連接;一陰極電極保護蓋,用于覆蓋沒有被裝在所述陰極電極上的LCD玻璃母基底蓋住的所述陰極電極的邊緣部分;和一夾持裝置,用于將所述LCD玻璃母基底夾緊在所述陰極電極上;一RF源提供裝置,用于為所述陰極的轉(zhuǎn)動軸提供RF源;一源氣體提供裝置,用于為所述等離子體室提供源氣體;和一排氣裝置,用于排出殘余氣體和廢氣體,其中,當所述陰極電極保護蓋和所述陰極電極連接時,所述陰極電極保護蓋的高度大于所述陰極電極的高度。
2.如權(quán)利要求1所述的等離子體蝕刻設(shè)備,其中,所述陰極電極保護蓋是由具有高等離子體阻抗的陶瓷材料制成的。
3.如權(quán)利要求1所述的等離子體蝕刻設(shè)備,其中,所述陰極電極保護蓋比所述陰極電極至少高0.1mm。
4.如權(quán)利要求3所述的等離子體蝕刻設(shè)備,其中,所述陰極電極保護蓋比所述陰極電極高0.1~0.2mm。
5.如權(quán)利要求1所述的等離子體蝕刻設(shè)備,其中,當用所述LCD玻璃母基底進行的等離子體蝕刻完成以后,由于所述LCD玻璃母基底和所述陰極電極接觸所產(chǎn)生的靜電力,通過不斷地減少所述RF源提供裝置的RF源而除去。
6.如權(quán)利要求5所述的等離子體蝕刻設(shè)備,其中,減少所述RF源的時間間隔至少為1秒。
7.如權(quán)利要求6所述的等離子體蝕刻設(shè)備,其中,減少所述RF源的時間間隔約為1秒。
8.如權(quán)利要求1~6中任一條所述的等離子體蝕刻設(shè)備,其中,所述基底要么是一塊LCD的一玻璃基底,要么是多個LCD的一玻璃母基底。
9.一種液晶顯示模塊,包括一液晶顯示面板,包括(a)一TFT基底,其上形成有多個薄膜晶體管;(b)一彩色過濾基底,面對所述TFT基底;和(c)一液晶層,置于所述TFT基底和所述彩色過濾基底之間,用于通過和關(guān)閉入射光束;和一背光組件,用于為所述液晶顯示面板提供光束和支撐所述液晶顯示面板,其中,所述TFT基底的所述薄膜晶體管是用權(quán)利要求1~6中任一條所述的等離子體蝕刻設(shè)備來形成的。
全文摘要
本發(fā)明介紹了一種等離子體蝕刻設(shè)備,它可以防止用于等離子體蝕刻的在LCD玻璃母基底上構(gòu)圖的光致抗蝕劑被灼傷。該設(shè)備包括一陰極電極保護蓋,它安裝在陰極電極的邊緣部位,用于向LCD玻璃母基底提供RF源和冷卻LCD玻璃母基底。陰極電極保護蓋的上表面比陰極電極的上表面高。因此,陰極電極可以與LCD玻璃母基底接觸。結(jié)果,可以預(yù)先防止LCD玻璃母基底的冷卻效率差的問題,并且光致抗蝕劑不會灼傷。
文檔編號H01L21/3065GK1246724SQ99118090
公開日2000年3月8日 申請日期1999年8月25日 優(yōu)先權(quán)日1998年8月26日
發(fā)明者樸昌勛 申請人:三星電子株式會社
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