專利名稱:源組件和包括該源組件的質(zhì)譜儀的制作方法
源組件和包括該源組件的質(zhì)譜儀
在先申請
本申請是2009年10月8日提交的美國臨時申請第61/249，779號的非臨時申請并要求該申請的優(yōu)先權，由此無論如何其全部公開內(nèi)容在此通過引用并入。
本申請涉及源以及用于將源聯(lián)接到儀器或其它裝置的裝置。更具體地，某些實施方案涉及構造為按期望的方式彼此聯(lián)接的組件。
許多裝置使用離子源或電子源提供離子或粒子。源插入裝置期間，機械緊固件典型地被用來將源保持在裝置內(nèi)。源可能需要移走來清洗并在源在插入裝置或儀器時容易損壞。
在第一方面中，組件包括:活動部件，構造為在沿第一方向運動時提供軸向力并在沿第二方向運動時解除軸向力；以及固定部件，聯(lián)接到活動部件并構造為從活動部件接收軸向力，固定部件構造為從活動部件提供軸向力時，在裝置的密封面提供密封。
在某些實施方案中，活動部件可以構造為在活動部件沿第一方向旋轉時，向固定部件提供軸向力的可旋轉部件。在其它實施方案中，在從第一方向向第二方向旋轉時，可以解除提供的軸向力。在一些實施方案中，活動部件可以構造為在沿與軸向力相同的方向壓下活動部件時，提供軸向力。在某些實施例中，活動部件可以構造成在匹配固定部件上的螺紋時，提供軸向力。在其它實施例中，固定部件可以構造成在活動部件運動時保持固定，以提供軸向力。在一些實施例中，裝置包括至少一個構造為接納活動部件上的槽的銷，以將組件定位在裝置中。在附加實施例中，固定部件可以包括構造為接納裝置上的另一銷的槽，以在裝置中對齊組件。在一些實施方案中，活動部件的旋轉可操作為為固定部件提供軸向力，而固定部件基本沒有旋轉運動。在又一實施方案中，活動部件可以構造為提供不使用任何外部緊固件而設置密封的軸向力。
在某些實施方案中，活動部件可以構造為凸輪鎖定裝置，該裝置是儀器殼。在其它實施方案中，凸輪鎖定裝置可以通過載簧軸聯(lián)接到固定部件。在又一實施方案中，儀器殼包括有制動器的引導塊，一旦凸輪旋轉，鎖住凸輪以提供軸向力。在一些實施方案中，儀器殼可以包括滑動接合凸輪中的槽的銷，以向真空端口提供軸向力。在某些實施例中，固定部件聯(lián)接到儀器殼上的另一銷，以在銷沿凸輪中的槽圓周滑動期間，防止固定部件運動。在一些實施例中，活動部件包括不止一個單個活動部件，以提供軸向力。在其它實施例中，組件可以構造為只沿單一導向插入裝置中。在又一實施例中，裝置包括一組偏置除180°以外的角度的銷，以允許只沿單一導向插入組件。在附加實施例中，組件包括至少一個定位為接納這組銷中的一個銷的槽。
在附加方面中，提供一種包括活動部件和聯(lián)接到活動部件的固定部件的源組件。在某些實施例中，活動部件可以構造為在沿第一方向運動時提供軸向力并在沿第二方向運動時解除軸向力。在一些實施方案中，固定部件可以構造為從活動部件接收軸向力。在某些情況下固定部件可以包括聯(lián)接到真空端口的源。在一些構造中，真空端口可以構造為在活動部件提供軸向力時，在裝置的真空室的密封面提供基本上不漏流體的密封。
在某些實施例中，源可以是離子源、電子源或其它合適的源。在其它實施例中，活動部件可以構造為在活動部件沿第一方向旋轉時，向固定部件提供軸向力的可旋轉部件。在附加實施例中，在從第一方向向第二方向旋轉時，可以解除提供的軸向力。在一些實施例中，活動部件可以構造為在沿與軸向力相同的方向壓下活動部件時，提供軸向力。在其它實施例中，活動部件可以構造為在匹配固定部件上的螺紋時，提供軸向力。在某些實施例中，固定部件可以構造為在活動部件運動時保持固定，以提供軸向力。
在附加實施方案中，裝置可以包括至少一個構造為接納活動部件上的槽的銷，以在裝置中定位源組件。在其它實施方案中，固定部件可以包括構造為接納裝置上的另一銷，以在裝置中對齊源組件。在另一實施方案中，活動部件的旋轉可以操作為基本不用固定部件的旋轉運動而向固定部件提供軸向力。在又一實施方案中，活動部件可以構造為提供不使用任何外部緊固件而提供基本上不漏流體的密封的軸向力。
在某些實施例中，活動部件可以構造為凸輪鎖定裝置，并且該裝置是儀器殼或位于儀器殼內(nèi)。在其它實施例中，凸輪鎖定裝置可以通過載簧軸聯(lián)接到真空端口。在一些實施例中，儀器殼可以包括引導塊，引導塊包括一個或多個銷，一旦凸輪旋轉，鎖住凸輪以提供軸向力。在附加實施例中，儀器殼可以包括活動嚙合凸輪中的槽的銷，以向真空端口提供軸向力。在某些實施例中，固定部件可以聯(lián)接到儀器殼上的另一銷，以在銷沿凸輪中的槽圓周滑動期間，防止固定部件運動。
在一些實施例中，活動部件可以包括不止一個單個活動部件，以提供軸向力。在其它實施例中，源組件可以構造為只沿單一導向插入裝置中。在附加實施例中，裝置可以包括一組偏置除180°以外角度的銷，以允許源組件只沿單一導向插入。在又一實施例中，源組件可以包括至少一個定位為接納一組銷中的一個銷的槽。
在其它方案中，描述了包括構造為將源組件聯(lián)接到儀器殼的聯(lián)接器的源組件，以在源組件聯(lián)接到儀器殼和聯(lián)接的聯(lián)接器的運動時，提供源組件與儀器殼中的真空室之間基本上流體緊密的密封。
在某些實施方案中，聯(lián)接器可以包括構造為聯(lián)接到儀器殼的銷的槽。在其它實施例中，銷可以在儀器殼上導向，使得源組件將沿單一導向聯(lián)接到儀器殼。在一些實施例中，在旋轉時，聯(lián)接器可以構造為不使用任何外部緊固件而提供基本上不漏流體的密封。在附加實施例中，聯(lián)接器可以構造為凸輪，凸輪可以構建并設置為在聯(lián)接的聯(lián)接器旋轉時，在源組件與儀器殼之間提供基本上不漏流體的密封。
在其它實施方案中，聯(lián)接器可以包括一組槽。在一些實施方案中，這組槽可以偏置定位，使得源組件可以沿單一導向聯(lián)接到儀器殼。在某些實施例中，儀器殼可以包括構造為停止源組件插入的引導塊。在一些實施例中，引導塊可以包括制動器，以在聯(lián)接器旋轉時，將源組件鎖在位置，以提供基本上不漏流體的密封。在又一方案中，聯(lián)接器可以構造為繞縱軸旋轉并施加軸向力，以將源組件密封到真空室。在一些實施例中，聯(lián)接器可以構造為把手，把手包括構造為聯(lián)接到儀器殼上的引導銷的第一槽，并且把手的旋轉操作為使源組件向真空室軸向偏離。在某些實施方案中，源組件可以構造為聯(lián)接到真空端口，以在聯(lián)接器旋轉不足5秒時，提供基本上不漏流體的密封，源組件插入儀器殼時，提供基本上不漏流體的密封。
在某些實施例中，聯(lián)接器可以構造為有把手的凸輪，凸輪通過載簧中心軸聯(lián)接到真空端口，源組件包括大小適合并設置成聯(lián)接到儀器殼的引導塊的孔的殼，引導塊還包括一組構建并設置成聯(lián)接到真空端口中的槽和把手中的槽的銷，其中銷插入槽以及把手隨后的旋轉在真空端口與真空室的密封面之間提供基本上不漏流體的密封。在一些實施例中，真空端口可以構造為在把手旋轉期間保持基本固定。在其它實施例中，凸輪構造為在把手沿反方向旋轉時，分離聯(lián)接的源組件。例如，引導可以構造為軸向定位源，可以有槽并構造為旋轉定位源，例如防止源的部件損壞。
在某些實施方案中，聯(lián)結器可以構造為旋轉，以在源組件的剩余部分保持固定時，在源組件與真空室之間提供基本上不漏流體的密封。在其它實施方案中，儀器殼上的銷可以構造為在聯(lián)接器旋轉期間，保持源組件的剩余部分固定。在一些實施方案中，聯(lián)接器上的槽可以構造為在聯(lián)接器旋轉期間，滑動嚙合儀器殼的另一銷。在又一實施方案中，槽上可以有制動器并構造為將另一銷鎖在位置。
在附加實施方案中，聯(lián)接器可以構造為按鈕，以在第一按壓時提供軸向力，并在第二按壓時解除軸向力。
在附加方案中，提供了源組件聯(lián)接到裝置的方法。在某些實施例中，該方法包括使源組件插入裝置的真空室，并通過活動部件在插入的源組件上的運動而將源組件聯(lián)接到真空室，而使源組件密封到真空室。在一些實施例中，可以不使用外部緊固件而實施該方法。
在某些實施方案中，該方法可以包括使活動部件旋轉，以在源組件與真空室之間提供密封。在其它實施方案中，該方法可以包括使活動部件旋轉，直到包括真空室的儀器殼上的銷嚙合活動部件的槽上的制動器。
在又一實施方案中，該方法可以包括壓下活動部件上的鈕，以在源組件與真空室之間提供密封。在附加實施方案中，該方法可以包括第二次壓鈕，以解除源組件與真空室之間的密封。
在某些實施例中，該方法可以包括構造具有聯(lián)接到活動部件的固定部件的源組件，固定部件包括構造為在活動部件運動時密封真空室的密封面的真空端口。在一些實施例中，該方法可以包括將活動部件構造為具有把手的凸輪，并在凸輪的把手旋轉時提供密封。
在附加實施例中，該方法可以包括使活動部件上的螺紋與包括真空室的裝置上的螺紋嚙合，以提供密封。在另一實施例中，該方法可以包括使一個部件上的銷與另一部件上的孔聯(lián)接，以提供密封。
在另一方案中，提供包括源組件的質(zhì)譜儀，源組件包括構造為將源組件聯(lián)接到質(zhì)譜儀的儀器殼的聯(lián)接器，以在源組件聯(lián)接到儀器殼和耦合的聯(lián)接器運動時，在源組件與儀器殼的真空室之間提供基本上不漏流體的密封。
在某些實施方案中，源組件可以包括構造為在第一方向運動時提供軸向力并在第二方向運動時解除軸向力的活動部件。在一些實施方案中，源組件可以包括聯(lián)接到活動部件并構造為從活動部件接收軸向力的固定部件。在其它實施例中，固定部件可以包括聯(lián)接到真空端口的源，真空端口構造為在活動部件提供軸向力時，在質(zhì)譜儀的儀器殼中的真空室的密封面提供基本上不漏流體的密封。在某些實施例中，活動部件可以構造為在沿與軸向力相同的方向壓下活動部件時，提供軸向力。在其它實施例中，活動部件可以構造為在活動部件上的螺紋與裝置上的螺紋嚙合時，提供軸向力。
在一些實施方案中，與質(zhì)譜儀一起使用的聯(lián)接器可以構造為不使用外部緊固件來提供軸向力。在其它實施方案中，與質(zhì)譜儀一起使用的聯(lián)接器可以構造為有把手的凸輪。在某些實施方案中，凸輪可以通過載簧中心軸聯(lián)接到真空端口，并且源組件可以給包括大小適合并設置成聯(lián)接到儀器殼的引導塊的孔的殼。在一些實施例中，引導塊還包括一組構建并設置為聯(lián)接到真空端口中的槽和把手中的槽的銷，其中銷插入槽中以及把手隨后的旋轉在真空端口與真空室的密封面之間提供基本上不漏流體的密封。在其它實施例中，真空端口可以構造為在把手旋轉期間保持基本固定。在附加實施例中，源組件可以是離子源。在又一實施例中，儀器殼可以包括一組偏置除180°以外的角度的銷，以允許源組件只沿單一導向插入。在某些實施例中，質(zhì)譜儀可以包括流體聯(lián)接到質(zhì)譜儀的流體色譜系統(tǒng)。[0027]以下更詳細描述附加特征、方案、實施例和實施方案。


[0028]圖1是根據(jù)某些實施例的離子源的示意圖；[0029]圖2是根據(jù)某些實施例的包括活動部件和固定部件的源組件的示意圖；[0030]圖3A和圖3B是根據(jù)某些實施例的包括具有可壓下的柱塞的活動部件的源組件的示意圖；[0031]圖4是根據(jù)某些實施例的包括具有外螺紋的活動部件的源組件的示意圖；[0032]圖5是根據(jù)某些實施例的包括可以嚙合裝置殼的可延伸的載簧銷的源組件的示意圖；[0033]圖6A和圖6B是示出根據(jù)某些實施例，源組件插入殼的示意圖；[0034]圖7A至圖7C是示出根據(jù)某些實施例，源組件插入殼和源組件的活動部件隨后旋轉的示意圖；[0035]圖8是根據(jù)某些實施例的質(zhì)譜儀的方塊圖；[0036]圖9是根據(jù)某些實施例流體聯(lián)接到質(zhì)譜儀的流體色譜儀的方塊圖；[0037]圖10是根據(jù)某些實施例的質(zhì)譜儀的源組件和真空室的示意圖；[0038]圖11是示出根據(jù)某些實施例的質(zhì)譜儀殼的引導銷和源組件的把手中的槽的示意圖；[0039]圖12是根據(jù)某些實施例的活動部件、固定部件和可以聯(lián)接到上述兩部件的柱塞的不意圖；[0040]圖13是通過圖12的活動部件與固定部件的截面圖，示出根據(jù)某些實施例的可以接納固定部件的柱塞的活動部件上的制動器。[0041]考慮到本公開內(nèi)容的益處，本領域技術人員將認識到，圖中的某些尺寸或特征可能被放大、變形或按另外非常規(guī)或不按比例的方式顯示，以提供更用戶友好的圖的形式。以下描述規(guī)定尺寸，尺寸僅為了解釋而提供。移動活動部件時，運動的量或程度不重要，并可取決于現(xiàn)有各種部件的確切構造而變化。
具體實施方式
[0042]在此描述的裝置的某些實施例可以用來通過壁或接口提供可以對齊和/或密封到裝置或更大部件的組件。在一些實施例中，組件可以用于真空室或壓力艙，在其它實施例中，組件與其聯(lián)接的裝置之間的壓差為零。在某些實施例中，組件可以與(包括但不限于)離子源、電子源的源一起使用，用于離子束系統(tǒng)、電子束系統(tǒng)、有離子槍或電子束的系統(tǒng)或粒子源或為儀器或系統(tǒng)中的期望區(qū)域或空間提供離子或離子的其它源。[0043]在某些實施方案中，源組件在插入儀器殼期間可能損壞。科學儀器操作常常需要靈敏部件以準確放置在真空室內(nèi)。一個實施例是質(zhì)譜儀的離子源或電子源。這些源需要準確的徑向定位，以防止使用者不注意而使精確的離子光碰撞真空室的壁的損壞，這可以導致系統(tǒng)性能下降或昂貴的維修。大部分真空系統(tǒng)具有需要螺釘緊固來維持密封的進入端口。這些螺釘花時間，并且不受使用者歡迎。其它真空端口用不能準確定位插入真空室的部件中的快速連接凸輪特征打開(見US4，998，004)。盡管有完成快速密封的機構，但不幸的是這些方法不提供準確定位和快速進入室。[0044]在此描述的某些實施例提供允許在真空室內(nèi)放置或組裝靈敏部件的源組件，而可以降低或者甚至消除使用者按上述方式造成的對源的損壞的可能性。進一步，使用者可以不需要工具就容易接近部件。如在此參照某些實施例描述的，例如源的部件不需要額外的硬件或緊固件而固定到真空室中。在不容許進入端口的扭轉運動且不期望螺釘或附加緊固件來使源組件固定并密封到真空室時，在此描述的源組件的實施方案可以提供準確的徑向和軸向?qū)R，同時防止對源的靈敏部件的損壞。[0045]在某些實施例中，在此描述的源組件典型地包括聯(lián)接器，聯(lián)接器構建并設置成為例如儀器的裝置中的真空室提供密封。在一些實施例中，在此描述的源組件的聯(lián)接器可以按許多不同的構造和方式構造。在某些實施例中，聯(lián)接器可以構造為使源組件向真空室的密封面軸向偏離，以在源組件與真空室之間提供基本上不漏流體的密封。在其它實施例中，聯(lián)接器可以構造有一個或多個特征件，以防止源組件不正確插入儀器殼中。在附加實施例中，聯(lián)接器可以聯(lián)接并連接到包括真空端口的固定部件。在聯(lián)接器的操作中，聯(lián)接器的運動可以作用為使真空端口向真空室的密封面偏離，以在真空端口與真空室之間提供基本上不漏流體的密封。如果期望，則聯(lián)接器可以設計成使得其適當構造，以不使用任何外部緊固件而提供基本上不漏流體的密封。以下更詳細描述這些和其它構造。[0046]在某些實施方案中，在此提供的源組件快速聯(lián)接到儀器并與儀器分開，允許迅速移走源組件來清洗或維修。聯(lián)接器可以設計成有助于源組件的部件適當插入儀器并對齊，使得維護需要較少的停工期。例如，質(zhì)譜儀有源組件，則源組件不需要使用工具就能移走、可以解開和清洗，然后再組裝并退回聯(lián)接到儀器殼而用于隨后的操作。[0047]在某些實施方案中，聯(lián)接器可以出現(xiàn)在離子源組件上。圖1示出離子源組件的一個示意圖。典型的離子源可以包括許多部件，例如包括殼100中的反射極110、絲極120和多個透鏡130、140和150。當加熱絲極120時，可以忽略絲極120的電子。使用陽極125與絲極120之間的勢差可以使電子向陽極125加速。包括樣品的氣體流105可以設置成基本垂直電子加速的方向。加速的電子與樣品碰撞并引起樣品離子化，例如生成單充電正離子。通過使透鏡130與反射極110之間產(chǎn)生勢差，正充電離子被透鏡130吸引。透鏡130與透鏡140、150 —起可以聚焦或操縱離子束，使得其經(jīng)過到期望裝置。圖1所示的離子源僅僅是示意性的，并且不同的離子源可以包括與圖1所示的不同的部件或其它部件。例如，在某些構造中，絲極可以位于離子源體外，在某些情況下可不是反射極，或者反射極可以是沒有孔或間隙的固體表面。在其它構造中，源可不包括陽極，氣體可離開圖1的平面，和/或離子可負充電。盡管具體的源構造可以劇烈變化，但是在此描述的聯(lián)接器可以與許多不同類型的源構造一起使用。另外，在此更詳細描述包括電子源和離子源的源類型。[0048]在某些實施方案中，在此描述的包括源組件裝置的操作中，典型地存在壓差，使得儀器或裝置內(nèi)的壓力基本上比大氣壓力低。使用較低壓力允許期望的離子或粒子的選擇、方向或聚集而不干涉不需要的件。由于較低的操作壓力，期望在此提供的源組件在期望的部分或接口提供基本上不漏流體的密封。例如，源組件可以聯(lián)接到設計成與真空室的密封面交界的真空端口，以在真空端口與真空室之間提供基本上不漏流體的密封。這種密封防止不想要的泄露并允許裝置在低于大氣壓力操作，例如使用一個或多個流體聯(lián)接到真空室的泵。在此公開的源組件的實施方案可以提供基本上不漏流體的密封，同時構造為快速移走和插入。[0049]在某些實施例中，源組件可以包括活動部件和固定部件。術語“活動”和“固定”是為了方便并參照源組件插入裝置或儀器而使用的。當插入源組件時，期望源或連接的部件的一部分，例如真空端口，相對縱軸保持固定，使得沒有不對齊。例如，期望固定部件沿平行于縱軸而非離軸的方向移動，期望限制旋轉運動，使得在插入時，維持源正確的中心線。固定部件典型地包括期望的源部件和任何真空端口或其它接口，以密封到裝置的真空室?；顒硬考梢月?lián)接到固定部件，并操作為迫使或推動固定部件到真空室的密封面，或者另外提供保持固定部件聯(lián)接到或抵靠密封面的力。[0050]在某些實施例中，活動部件和固定部件的確切構造可以變化。期望活動部件連接到固定部件，使得可以提供并使用整體源。然而，活動部件和固定部件可以單獨封裝，使得終端使用者可以將選擇的類型的活動部件聯(lián)接到固定部件。這種部件由終端使用者聯(lián)接，則在這兩個部件之間可使用合適的鏈接或其它聯(lián)接器，例如軸、桿、彈簧、載簧軸、一組緊固件等，使得兩個部件在源操作期間彼此牢固保持。[0051]在某些實施方案中，圖2示出一個包括彼此聯(lián)接的活動部件和固定部件的源的構造的側視圖。固定部件210通過載簧中心軸215聯(lián)接到活動部件220。固定部件210典型地包括各種源部件，例如像參照圖1描述的那些?；顒硬考?20可以構造為提供沿箭頭230方向的軸向力，使得活動部件220的運動，例如繞縱軸240的旋轉，導致沿箭頭230的方向施加到固定部件210的力。軸向力的結果迫使并保持固定部件210沿箭頭230的方向向外，這可以導致固定部件210與擱靠或靠近固定部件210的任何面或表面之間緊配合。[0052]在某些實施方案中，活動部件220繞縱軸240按期望的角度旋轉。例如，活動部件220構造為凸輪或凸輪鎖定裝置，則活動部件可以旋轉30°或更多，以提供充足的力而使固定部件210向密封面偏移。在一些構造中，活動部件220提供的力的量可以通過進一步旋轉活動部件220而增大。期望活動部件220不提供可能導致?lián)p壞源部件的不想要的量的力。在一些實施例中，活動部件可以構造為，使得活動被限制在期望的范圍內(nèi)，例如如使用旋轉，則活動部件可被限制到旋轉不超過30°、45。、60。、90。、105。、120。、135。、150°、165°、180°或這些示例值之間的任意值。[0053]在某些構造中，運動可以通過包括活動部件自身內(nèi)的止塊或制動器限制，使得運動被限制在兩個位置之間。在附加實施例中，運動可以不受限，但是可以使用期望與源組件聯(lián)接的源組件或裝置上的標記提供期望的量的運動的引導。例如，裝置可以包括預期與活動部件上的標識對齊的第一標識。源組件可以插入裝置中，活動部件可以旋轉直到活動部件上的標識與裝置上的標識對齊。按這種方式，可以向固定部件提供期望的量的力，而不需要包括活動部件上的止塊或其它裝置。如果期望，則標識可以構造為下陷，使得鍵或銷可以插入它們并將活動部件保持在期望的固定位置。這種鍵或銷是任選的，且不需要來提供固定部件與裝置的適當密封。[0054]在某些實施例中，活動部件可以構造有鈕或柱塞，例如載簧柱塞，使得柱塞的下陷作用為向固定部件提供軸向力。圖3A和圖3B示意性示出一個這種實施例。在某些實施例中并參照圖3A，源300可以包括固定部件310和活動部件320。活動部件320的柱塞315聯(lián)接到固定部件310，使得柱塞315的下陷(見圖3B)施加推固定部件310離開活動部件320的軸向力，并在兩個部件310、320之間產(chǎn)生空間325。如圖3A所示，柱塞315可以載有彈簧，使得柱塞315隨后的下陷將允許固定部件310向后向活動部件320移動。活動部件310期望聯(lián)接到裝置或裝置的殼，使得一旦源組件300聯(lián)接到裝置，活動部件不能被推離裝置。例如，如果期望，活動部件310可以使用外部緊固件聯(lián)接到裝置，或者可以不用任何外部緊固件，例如通過銷、槽或活動部件310的部分和/或裝置的殼之類的聯(lián)接到裝置。[0055]在一些實施例中，活動部件可以包括與源組件相聯(lián)接的裝置的螺紋匹配的外螺紋。這種螺紋在圖4所示的源組件上示意性示出。源組件400包括通過中心軸415聯(lián)接到活動部件420的固定部件410，其允許活動部件420旋轉，同時固定部件410保持固定。在源組件400插入裝置期間，源插入與裝置(未示)上的內(nèi)螺紋嚙合的外螺紋425?；顒硬考缪仨槙r針方向的旋轉可以導致源組件400固定到裝置。固定部件410在活動部件420旋轉期間不旋轉，但活動部件420的旋轉作用為在固定部件410上提供軸向力，并向真空室的密封面推固定部件410。源組件400能被擰緊到期望的扭矩設定，或者可以包括標記或特征件，如以下描述的，以防止源組件400過插入到例如質(zhì)譜儀的單獨裝置中。在一些實施例中，源組件400插入的裝置可以包括一個或多個嚙合或聯(lián)接到固定部件410的鎖定特征件，例如銷，使得在活動部件420運動期間不允許固定部件旋轉。以下更詳細描述這種示例鎖定特征件。[0056]在其它實施例中，活動部件可以包括載簧特征件，例如載簧銷，可以嚙合裝置殼的孔或縫隙，并將源組件固定到裝置。圖5A和圖5B示出這種構造的實施例。參照圖5A，示出包括固定部件510和活動部件530的源組件部分插入裝置殼510。活動部件包括由于裝置殼510而處于部分壓縮狀態(tài)的載簧銷532、534。隨著源組件進一步插入裝置殼510 (見圖5B)，載簧532、534分別上托進入縫隙512、514，這樣將源組件固定在位置并提供適當?shù)奈恢茫仁箤⒐潭ú考芊獾窖b置殼510內(nèi)期望的面或部件。雖然圖5A和圖5B示出兩個銷532、534，但是可以有少于兩個或多于兩個銷。例如，可以期望使用三個彼此分開120°的銷來提供更恒定的軸向力。也能使用其它多于三個銷的構造。雖然未示，但是銷532、534可以聯(lián)接到活動部件530中的柱塞，使得柱塞的下陷操作為縮回銷532、534，并允許從裝置殼移走源組件。例如，柱塞的下陷可以壓下聯(lián)接到銷532、534的彈簧，而允許縮回銷并隨后從裝置殼510移走源組件。[0057]在某些實施方案中，源組件聯(lián)接的裝置可以包括一個或多個與源組件上的一個或多個特征件以協(xié)作方式作用的特征件。這種特征件可以構造為提供幾個結果，包括但不限于，在裝置中對齊源組件、源組件在裝置中的適當插入深度、源組件沿適當導向插入裝置或者在源組件插入裝置后活動部件的適當運動。[0058]圖6A和圖6B示出這種特征件的示意圖。儀器或裝置殼610可以包括操作為沿源組件620中的槽622滑動或滑動接合槽622的銷613。在源組件620插入殼610期間，銷沿平行于源組件610的縱軸的方向移動，直到其擱靠在槽622的終端(見圖6B)。這個構造允許源組件過插入裝置殼610，但不必操作為提供軸向力?；顒硬考欣缈墒褂靡粋€或多個例如參照圖2至圖5B中描述的附加特征件，以提供期望的軸向力。[0059]在一些實施例中，可期望包括裝置殼上的不止一個單個銷，以助于源組件聯(lián)接到裝置殼。圖7A和圖7B示出包括不止一個銷的裝置殼的示意圖。參照圖7A，裝置殼710包括銷712、714。源組件包括固定部件720和活動部件730。固定部件720和活動部件730還包括橫穿它們之間并在活動部件730中具有大體垂直部的槽735。在源組件插入殼710期間，引導銷712、714滑動接合槽735，直到銷714擱靠在槽735的端部(見圖7B)。銷712鄰近固定部720，而銷714鄰近活動部730?；顒硬?30可以旋轉，使得銷714滑動接合槽735的垂直臂，但是銷714的位置防止固定部件720的旋轉運動?；顒硬考?30的旋轉可以繼續(xù)，直到銷714鄰近通道735的垂直臂的端部(見圖7C)。活動部件730順時針方式的旋轉可以提供軸向力(在圖7A-7C中的向上方向)，使得固定部件720被推靠在殼的面。具體地，活動部件730可以構造有彈簧、凸輪或類似部件，使得活動部件730的旋轉運動被固定部件720轉化為軸向運動，以提供固定部件730與裝置殼710中存在的真空室密封面之間的密封。[0060]在某些實施方案中，活動部件的運動可以被源組件聯(lián)接的裝置上的一個或多個特征件，或者源組件自身上的特征件限制。圖7A至圖7C示出使用限制活動部件可以旋轉的角度的銷。在一些實施例中，活動部件自身可以包括防止過插入裝置殼的唇部或蓋。例如，活動部件的最外部可以包括直徑大于儀器殼的直徑的唇部，以防止源組件插入超過唇部。類似地，徑向突出部或延伸也能用來防止源組件插入裝置太遠。在某些實施例中，期望使用這種特征件組合在此描述的聯(lián)接特征件，使得可以以快速方式執(zhí)行適當插入源組件。[0061]在某些實施例中，在此描述的聯(lián)接器和源組件可以構造為許多不同類型的源。例如，聯(lián)接器可以用于電子源，以提供電子束。電子源的一個構造包括作為陰極的鎢絲極。電壓應用到鎢絲極，這造成鎢絲極變熱并發(fā)射電子。陽極定位為使得發(fā)射的電子向陽極加速，并作為電子束向下經(jīng)過列或?qū)K。除鎢之外的絲極，例如六硼化鑭、錸基絲極可以用在鎢的位置，并且電子源可以包括合適的電子，例如電壓、電阻器等，以提供期望的結果。[0062]在其它實施例中，聯(lián)接器可以用在場發(fā)射槍。除Muller型發(fā)射器保持在相對附近電極的幾千伏負電位，使得在發(fā)射器表面有充足的電位梯度來引起場電子發(fā)射之外，場發(fā)射槍類似電子束。發(fā)射器典型地是例如通常由單晶體鎢削尖到約IOOnm的尖半徑制造的冷陰極型，或者在高電場通過勢魚下降增強熱離子發(fā)射的Schottky型。Schottky發(fā)射器可以通過用氧化鋯層鍍鎢尖來制造，氧化鋯具有在高溫下增大導電性的不尋常屬性。場發(fā)射槍可以用于電子顯微鏡，以提供直徑更小、更相干且比用例如尖端有六硼化鎢或六硼化鑭的絲極的傳統(tǒng)的熱離子發(fā)射器可以達到的當前密度或亮度大三個數(shù)量級。掃描和透射電鏡的結果與熱離子裝置相比，顯著改善信噪比和空間分辨率，并極大增加發(fā)射器的壽命和可靠性。[0063]在某些實施例中，在此描述的聯(lián)接器和源組件可以用在質(zhì)譜儀中。離子源在質(zhì)譜儀中則可以用來電離分析物。質(zhì)譜儀中使用的離子源可以具有不同的部件，為了易于解釋且不限制，以下描述質(zhì)譜儀的某些部件。參照圖8，質(zhì)譜儀800常常包括流體聯(lián)接到離子源820的入口系統(tǒng)810，離子源820流體聯(lián)接到質(zhì)量分析儀830。質(zhì)量分析儀830流體聯(lián)接到檢測器840。通過使用真空系統(tǒng)，質(zhì)譜儀的工作壓力在大氣壓(典型地10-5至10-8托)之下。[0064]在某些實施例中，質(zhì)譜儀800的入口系統(tǒng)810可以是普遍使用的任一入口系統(tǒng)，包括但不限于，批入口系統(tǒng)、直接探頭入口、色譜入口系統(tǒng)或可從PerkinElmer健康科學公司(Waltham,MA)得到的其它通用入口系統(tǒng)。不管選擇的具體入口系統(tǒng)，入口系統(tǒng)作用為允許樣本以最小真空損失引入離子源820。[0065]在一些實施例中，質(zhì)譜儀800的質(zhì)量分析儀830已可以是任何普遍使用的質(zhì)量分析儀，包括但不限于，扇形磁場分析儀、飛行時間分析儀、四極濾質(zhì)器、離子阱分析儀，例如包括線性四極離子阱、三維四極離子阱、回轉阱、環(huán)形離子阱、回旋加速器共振或可從PerkinElmer健康科學公司或其它儀器制造商得到的其它質(zhì)量分析儀。不管選擇的質(zhì)量分析儀的類型，質(zhì)量分析儀830從離子源820接收電離的樣本，并可以用不同的質(zhì)荷比分離離子。[0066]在某些實施方案中，質(zhì)譜儀830的檢測器840可以是質(zhì)譜儀中普遍使用的檢測器中的任一個或多個，所述檢測器包括但不限于，電子倍增器、法拉第杯、照相底片、閃光檢測器、微通道板檢測器和其它檢測器。檢測器840流體聯(lián)接到質(zhì)量分析儀830，使得其可以從質(zhì)量分析儀接收分離的離子以用于檢測。[0067]在某些實施例中，可從氣相源和解吸源及它們的組合選擇離子源。例如，源可以是電子電離源、化學電離源、場電離源、場解吸源、快速原子轟擊源、次級離子質(zhì)譜儀、激光解吸源、等離子解吸源、熱解吸、電噴射電離源、熱噴射電離源或可以單獨或組合使用的其它源，以向樣品提供離子化劑的束。在一些情況下，質(zhì)譜儀中可以有不止一個單個源，用戶可選擇期望的源。合適的商用源組件普遍來自PerkinElmer健康科學公司，并且這種源組件可以與在此描述的技術一起使用，以幫助終端透鏡與源部件對齊，并將源部件保持在源組件的殼中。[0068]在某些實施方案中，在此描述的質(zhì)譜儀可以與另一質(zhì)譜儀或其它儀器串聯(lián)使用。使用串聯(lián)MS/MS，則至少一個MS裝置可以按在此描述的構造，例如包括有對齊特征件或一組對齊特征件的終端透鏡。串聯(lián)質(zhì)譜儀的一種應用是通過質(zhì)譜儀分析識別分子離子與它們的碎片(分別為MS和MS/MS)。串聯(lián)質(zhì)譜儀通過在第一階段質(zhì)量選擇關注的前驅(qū)離子、在第二階段將離子碎片化并在第三階段質(zhì)量分析碎片來執(zhí)行分子離子識別。串聯(lián)MS/MS儀器可以是，例如在空間連續(xù)(例如，由兩個被碰撞池分離的四極濾質(zhì)器組成)或時間連續(xù)(例如，單個三維離子阱)。[0069]在某些實施例中，提供包括流體色譜儀和質(zhì)譜儀的儀器。術語“流體色譜儀”旨在包含使用流體(例如氣體、液體、超臨界流體)的許多不同類型的色譜裝置，包括但不限于，氣體色譜儀、液體色譜儀、高性能液體色譜儀、毛細管電泳和其它可以使用流動相或固定相之間的分析物的差異分配或使用遷移率的差異分離流體中的物種的色譜儀。圖9示出示例性的儀器。儀器900包括用連字號連接到質(zhì)譜儀920的流體色譜儀910。流體色譜儀910可以是通過合適的入口用連字號連接，以提供從流體色譜儀910到質(zhì)譜儀920的流體流，這典型地在比流體色譜儀910使用的壓力更低的壓力工作。[0070]在此提供的聯(lián)接器和源組件可以與可以從快速組件受益并使用離子源或電子源的附加裝置一起使用。示例性裝置包括但不限于，離子注入的裝置，例如半導體制造中使用的那些，典型地用來通過將離子注入硅或GaA晶片形成晶體管結并摻雜p_n結的井區(qū)域來制造集成電路(1C)。其它合適的裝置包括用于分子束外延的那些、噴涂裝置、離子溝道裝置、生產(chǎn)納米微粒和納米結構的處理裝置以及離子或電子指向基板的其它材料工程工藝。給出本公開內(nèi)容的益處，本領域技術人員將認識到這些和其它使用。[0071]在某些實施方案中，活動部件和固定部件可以包括一個或多個操作為維持活動部件與固定部件中的槽對齊的內(nèi)聯(lián)接器。例如，固定部件上的內(nèi)銷可以聯(lián)接到活動部件上的內(nèi)孔，以在源組件不聯(lián)接到裝置時，限制活動部件的自由旋轉或運動。在一些實施例中，固定部件可以包括聯(lián)接到活動部件的內(nèi)制動器的內(nèi)載簧柱塞，以防止兩個部件相對彼此自由運動。內(nèi)聯(lián)接器可以通過摩擦配合彼此聯(lián)接，使得向活動部件施加足夠的力將導致分離內(nèi)聯(lián)接器。在其它構造中，鈕或類似物可以被按下以分離聯(lián)接的內(nèi)聯(lián)接器，并允許活動部件相對固定部件運動。[0072]以下描述了某些實施例，以解釋在此提供的技術的又一些實施方案。[0073]實施例1[0074]圖10示出示例性源組件，示出源組件4正插入儀器30中。在該構造中，盡管可使用使真空端口聯(lián)接到源組件的其它裝置和方法，但源組件通過載簧中心軸聯(lián)接到真空端口I。為了使源組件4插入真空室9，使用者保持把手3并將源插入引導塊2的大孔中?？子幸欢ù笮?，并設置成在把手3與孔之間提供緊配合，但沒多緊，插入期間在把手表面與孔之間基本上有摩擦。真空端口 I與把手外徑及引導塊2內(nèi)徑之間的緊配合操作為在儀器30中沿適當?shù)闹行木€徑向定位源組件4。禁止源組件4進一步插入，直到壓到引導塊2中的引導塊銷或凸臺15、20與把手3和真空端口 I中的槽對齊。由于另一組在把手3中并相對彼此位于除180°之外的任何其它角度的引導塊銷和對應槽，防止在另一角位置的不注意組件。通過標記(未示)幫助源組件4的槽與引導塊的銷對齊。源組件4進一步插入預定長度。這兩個槽對齊，以完成源4插入真空室9中。一旦源組件4沿軸向完全插入，源組件4的密封7與真空室9的密封面接觸。然后，使用者使把手3旋轉，把手3作用為壓縮彈簧8，在真空端口 I上對真空室密封面施加軸向力。通過引導塊銷15防止真空端口 I旋轉。彈簧被臺肩螺釘6預壓縮，并具有通過把手3和載簧柱塞上的兩個凹槽鎖到開放或閉合位置的制動器。把手3旋轉，直到其鎖到或卡到制動器并壓縮彈簧。為了移走裝置，使用者沿縮回真空端口 I對真空室9的密封面的彈簧壓縮力的反方向旋轉把手3。通過引導塊銷15防止真空端口 I旋轉。引導塊銷15、20防止移走源組件4，直到把手凸輪輪廓與真空端口 I中的槽對齊。[0075]在某些實施方案中，圖11示出引導銷與槽的更近視圖。把手3包括槽12和槽13。槽12、13通常彼此垂直。源組件使用引導銷15、20插入儀器的引導塊2中。銷15、20滑動嚙合槽12、13。銷15插入槽13的外部時，把手3旋轉，沿槽12按圓周方向移動銷15，并使源組件聯(lián)接到儀器，以在源組件與儀器的真空室之間提供基本上不漏流體的密封。[0076]實施例2[0077]固定部件和活動部件可包括一個或多個使它們彼此聯(lián)接的部件(至少在一些時段)。例如，在從儀器移走源組件清洗時，可期望保持活動部件與固定部件對齊。[0078]圖12示出在允許移走時保持對齊的一個構造。源組件包括活動部件1210和固定部件1220?；顒硬考?210與固定部件1220之間是柱塞1230，柱塞1230的作用是對齊活動部件1210與固定部件1220。在操作中，柱塞1230提供活動部件1210與固定部件1220之間的阻力，這在源組件1200在裝置外，例如為了清洗而移走或者在插入儀器殼之前時，有助于維持槽對齊。[0079]圖13示出穿過活動部件1210和固定部件1220的截面圖?；顒硬考?220可以包括構造為接納柱塞1230的制動器1240。當柱塞1230在制動器1240中時，活動部件1210的槽和固定部件1220的槽對齊。柱塞1230聯(lián)接到制動器1240作用為阻止活動部件1210相對于次要部件1230運動，以在源組件1220不聯(lián)接到另一裝置(例如像儀器殼)時，確?；顒硬考牟叟c固定部件的槽保持對齊。[0080]當介紹在此公開的實施例的元件時，冠詞“一(a) ”、“一 (an) ”、“該(the) ”和“所述”旨在意思是有一個或多個元件。術語“包括(comprising) ”、“包含(including) ”、“具有(having)”旨在開放的，并意思是除列出的元件之外可能有額外元件。得到本公開內(nèi)容的益處，本領域技術人員將認識到，實施例的各種部件可以與其它實施例中的各種部件互換或替代。[0081]盡管以上已經(jīng)描述了某些方案、實施例和實施方案，但是得到本公開內(nèi)容的益處，本領域技術人員將認識到，公開的示例性方案、實施例和實施方案的增加、替代、更改和改變是可能的。
權利要求
1.一種源組件，包括: 活動部件，構造為在沿第一方向運動時提供軸向力，沿第二方向運動時解除所述軸向力；以及 固定部件，聯(lián)接到所述活動部件并構造為從所述活動部件接收所述軸向力，所述固定部件包括聯(lián)接到真空端口的源，所述真空端口構造為在從所述活動部件提供所述軸向力時，在裝置中的真空室的密封面提供基本上不漏流體的密封。
2.如權利要求
1所述的源組件，其中所述源是離子源或電子源。
3.如權利要求
1所述的源組件，其中所述活動部件構造為可旋轉部件，在所述活動部件沿所述第一方向旋轉時，所述可旋轉部件向所述固定部件提供所述軸向力。
4.如權利要求
3所述的源組件，其中在從所述第一方向向所述第二方向旋轉時，解除所述提供的軸向力。
5.如權利要求
1所述的源組件，其中所述活動部件構造為在沿與所述軸向力相同的方向壓下所述活動部件時，提供所述軸向力。
6.如權利要求
1所述的源組件，其中所述活動部件構造為在匹配所述固定部件上的螺紋時，提供所述軸向力。
7.如權利要求
1所述的源組件，其中所述固定部件構造為在所述活動部件運動時保持固定，以提供所述軸向力。
8.如權利要求
1所述的源組件，其中所述裝置包括至少一個構造為接納所述活動部件上的槽的銷，以在所述裝置中定位所述源組件。
9.如權利要求
8所述的源組件，其中所述固定部件包括構造為接納所述裝置上的另一銷的槽，以在所述裝置中對齊所述源組件。
10.如權利要求
9所述的源組件，其中所述活動部件的旋轉操作為向所述固定部件提供所述軸向力，而無需所述固定部件的基本旋轉運動。
11.如權利要求
1所述的源組件，其中所述活動部件構造為提供不使用任何外部緊固件而設置所述基本上不漏的密封的所述軸向力。
12.如權利要求
1所述的源組件，其中所述活動部件構造為凸輪鎖定裝置，并且所述裝置是儀器殼。
13.如權利要求
12所述的源組件，其中所述凸輪鎖定裝置通過載簧的軸聯(lián)接到所述真空端口。
14.如權利要求
13所述的源組件，其中所述儀器殼包括具有制動器的引導塊，一旦所述凸輪旋轉時，鎖住所述凸輪以提供所述軸向力。
15.如權利要求
14所述的源組件，其中所述儀器殼包括滑動嚙合所述凸輪中的槽的銷，以向所述真空端口提供所述軸向力。
16.如權利要求
15所述的源組件，其中所述固定部件聯(lián)接到所述儀器殼上的另一銷，以在所述銷沿所述凸輪中的所述槽圓周滑動期間，防止所述固定部件的運動。
17.如權利要求
1所述的源組件，其中所述活動部件包括不止一個的單活動部件，以提供所述軸向力。
18.如權利要求
1所述的源組件，其中所述源組件構造為只沿單個導向插入所述裝置中。
19.如權利要求
18所述的源組件，其中所述裝置包括一組偏置除180°之外的角度的銷，以允許只沿單個導向插入所述源組件。
20.如權利要求
19所述的源組件，其中所述源組件包括至少一個定位為接納所述銷組中的銷的槽。
21.一種源組件，包括聯(lián)接器，其構造為將所述源組件聯(lián)接到儀器殼，以在所述源組件聯(lián)接到所述儀器殼和所述聯(lián)接的聯(lián)接器運動時，在所述源組件與所述儀器殼中的真空室之間提供基本上不漏流體的密封。
22.如權利要求
21所述的源組件，其中所述聯(lián)接器包括構造為聯(lián)接到所述儀器殼的銷的槽。
23.如權利要求
21所述的源組件，其中所述銷在所述儀器殼上導向，使得所述源組件將沿單個導向聯(lián)接到所述儀器殼。
24.如權利要求
21所述的源組件，其中在旋轉時，所述聯(lián)接器構造為不使用任何外部緊固件而提供所述基本上不漏流體的密封。
25.如權利要求
21所述的源組件，其中所述聯(lián)接器構造為凸輪，所述凸輪構建并設置為在所述聯(lián)接的聯(lián)接器旋轉時，在所述源組件與所述儀器殼之間提供所述基本上不漏流體的密封。
26.如權利要求
21所述的源組件，其中所述聯(lián)接器包括一組槽。
27.如權利要求
26所述的源組件，其中所述槽組偏置定位，使得所述源組件可以沿單一導向聯(lián)接到所述儀器殼。
28.如權利要求
21所述的源組件，其中所述儀器殼包括構造為停止所述源組件的插入的引導塊。
29.如權利要求
28所述的源組件，其中所述引導塊包括制動器，以在所述聯(lián)接器旋轉時，將所述源組件鎖在位置，以提供所述基本上不漏流體的密封。
30.如權利要求
21所述的源組件，其中所述聯(lián)接器構造為繞縱軸旋轉并施加軸向力，以將所述源組件密封到所述真空室。
31.如權利要求
21所述的源組件，其中所述聯(lián)接器構造為把手，所述把手包括構造為聯(lián)接到所述儀器殼上的引導銷的第一槽，及其中所述把手的旋轉可操作為使所述源組件向所述真空室軸向偏離。
32.如權利要求
21所述的源組件，其中所述源組件構造為聯(lián)接到所述真空端口，以在從所述源組件插入所述儀器殼到提供基本上不漏流體的密封的不足5秒內(nèi)旋轉所述聯(lián)接器時，提供所述基本上不漏流體的密封。
33.如權利要求
21所述的源組件，其中所述聯(lián)接器構造為有把手的凸輪，所述凸輪通過載簧中心軸聯(lián)接到真空端口，所述源組件包括大小適合并設置成聯(lián)接到所述儀器殼的引導塊的孔的殼，所述弓I導塊還包括一組構建并設置為聯(lián)接到所述真空端口中的槽和所述把手中的槽的銷，其中所述銷插入所述槽以及所述把手的隨后旋轉在所述真空端口與所述真空室的密封面之間提供基本上不漏流體的密封。
34.如權利要求
33所述的源組件，其中所述真空端口構造為在所述把手的旋轉期間保持基本固定。
35.如權利要求
33所述的源組件，其中所述凸輪構造為在所述把手沿反方向旋轉時，分離所述聯(lián)接的源組件。
36.如權利要求
21所述的源組件，其中所述聯(lián)接器構造為，旋轉以在所述源組件的剩余部分保持固定時，在所述源組件與真空室之間提供所述基本上不漏流體的密封。
37.如權利要求
36所述的源組件，其中所述儀器殼上的銷構造為在所述聯(lián)接器的旋轉期間，保持所述源組件的所述剩余部分固定。
38.如權利要求
37所述的源組件，還包括所述聯(lián)接器上的槽，所述槽構造為在所述聯(lián)接器的旋轉期間，滑動嚙合所述儀器殼的另一銷。
39.如權利要求
38所述的源組件，還包括所述槽上的制動器，所述制動器構造為將所述另一銷鎖在位置。
40.如權利要求
21所述的源組件，其中所述聯(lián)接器構造為按鈕，以在第一按壓時提供所述軸向力，并在第二按壓時解除所述軸向力。
41.一種包括源組件的質(zhì)譜儀，所述源組件包括構造為使所述源組件聯(lián)接到所述質(zhì)譜儀的儀器殼的聯(lián)接器，以在所述源組件聯(lián)接到所述儀器殼和所述聯(lián)接的聯(lián)接器運動時，在所述源組件與所述儀器殼的真空室之間提供基本上不漏流體的密封。
42.如權利要求
41所述的質(zhì)譜儀，其中所述源組件包括活動部件和固定部件，所述活動部件構造為沿第一方向運動時提供軸向力，并在沿第二方向運動時解除所述軸向力，所述固定部件聯(lián)接到所述活動部件，并構造為從所述活動部件接收所述軸向力，所述固定部件包括聯(lián)接到真空端口的源，所述真空端口構造為在從所述活動部件提供所述軸向力時，在所述質(zhì)譜儀的所述儀器殼中的真空室的密封面提供所述基本上不漏流體的密封。
43.如權利要求
42所述的質(zhì)譜儀，其中所述活動部件構造為在沿與所述軸向力相同的方向壓下所述活動部件時，提供所述軸向力。
44.如權利要求
42所述的質(zhì)譜儀，其中所述活動部件構造為在所述活動部件上的螺紋與所述裝置上的螺紋匹配時，提供所述軸向力。
45.如權利要求
41所述的質(zhì)譜儀，其中所述聯(lián)接器構造為不使用外部緊固件而提供所述軸向力。
46.如權利要求
41所述的質(zhì)譜儀，其中所述聯(lián)接器構造為有把手的凸輪，所述凸輪通過載簧中心軸聯(lián)接到真空端口，所述源組件包括大小適合并設置為聯(lián)接到所述儀器殼的引導塊的孔的殼，所述引導塊還包括一組構建并設置成聯(lián)接到所述真空端口中的槽和所述把手中的槽的銷，其中所述銷插入所述槽并且所述把手的隨后旋轉在所述真空端口與所述真空室的密封面之間提供所述基本上不漏流體的密封。
47.如權利要求
46所述的質(zhì)譜儀，其中所述真空端口構造為在所述把手的旋轉期間，保持基本固定。
48.如權利要求
41所述的質(zhì)譜儀，其中所述源組件是離子源。
49.如權利要求
41所述的質(zhì)譜儀，其中所述儀器殼包括一組偏置除180°之外的角度的銷，以允許只沿單個導向插入所述源組件。
50.如權利要求
41所述的質(zhì)譜儀，還包括流體聯(lián)接到所述質(zhì)譜儀的流體色譜系統(tǒng)。
專利摘要
本實用新型公開了一種源組件和包括該源組件的質(zhì)譜儀。源組件包括活動部件，構造為在沿第一方向運動時提供軸向力，沿第二方向運動時解除軸向力；以及固定部件，聯(lián)接到活動部件并構造為從活動部件接收軸向力，固定部件包括聯(lián)接到真空端口的源，真空端口構造為在從活動部件提供軸向力時，在裝置中的真空室的密封面提供基本上不漏流體的密封。
文檔編號H01J49/04GKCN203026483SQ201090001207
公開日2013年6月26日 申請日期2010年10月8日
發(fā)明者基思·凡瑞拉 申請人:珀金埃爾默健康科技有限公司導出引文BiBTeX, EndNote, RefMan