Oled蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，包括：承載平臺（2）、設(shè)于承載平臺（2）上的數(shù)個蒸鍍坩堝（4）及設(shè)于承載平臺（2）上的疏通機(jī)構(gòu)（6），所述疏通機(jī)構(gòu)（6）包括豎臂（62）、垂直連接于豎臂（62）一端的橫臂（64）及垂直連接于橫臂（64）自由端的探針（66），所述豎臂（62）可伸縮設(shè)置于承載平臺（2）上，且相對承載平臺（2）可旋轉(zhuǎn)，通過橫臂（64）與豎臂（62）控制探針（66）對蒸鍍坩堝（4）的出氣口進(jìn)行疏通。本發(fā)明的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，通過設(shè)置疏通機(jī)構(gòu)，能在不打開蒸鍍機(jī)腔體的情況下對蒸鍍坩堝的出氣孔進(jìn)行疏通，節(jié)省時間，有效提高疏通效率，提高了蒸鍍機(jī)的利用率。
【專利說明】OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及蒸鍍制程領(lǐng)域，尤其涉及一種OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件。
【背景技術(shù)】
[0002]OLED作為新一代的固態(tài)自發(fā)光顯示技術(shù),相較于液晶顯示具有超薄、響應(yīng)度高、對比度高、功耗低等優(yōu)勢，近幾年產(chǎn)業(yè)化速度突飛猛進(jìn)。三星已經(jīng)把AMOLED顯示屏應(yīng)用于自家的智能手機(jī)上，獲得了非常好的市場。
[0003]請參閱圖1，為現(xiàn)有的一種OLED的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括:基板100、形成于基板100上的OLED器件300及與基板100貼合設(shè)置的封裝蓋板500，所述OLED器件300包括形成于基板100上的陽極302、形成于陽極302上的有機(jī)功能層304及形成于有機(jī)功能層304上的陰極306，陽極302與陰極306激發(fā)有機(jī)功能層304以實現(xiàn)顯示。
[0004]OLED的有機(jī)功能層，一般由三個功能層構(gòu)成，分別為空穴傳輸功能層(Ho I eTransport Layer, HTL)、發(fā)光功能層(Emissive Layer, EML)、電子傳輸功能層(ElectronTransport Layer, ETL)。每個功能層可以是一層,或者一層以上,例如空穴傳輸功能層,有時可以細(xì)分為空穴注入層和空穴傳輸層；電子傳輸功能層，可以細(xì)分為電子傳輸層和電子注入層，但其功能相近，故統(tǒng)稱為空穴傳輸功能層，電子傳輸功能層。
[0005]目前OLED的主流的制備技術(shù)和方法是蒸鍍法，即在真空腔體內(nèi)加熱有機(jī)小分子材料，使其升華或者熔融氣化成材料蒸汽，透過金屬光罩的開孔沉積在玻璃基板上。
[0006]OLED器件各層的厚度和摻雜比例對器件性能的影響很大，為了使沉積在基板各處的有機(jī)材料膜厚和摻雜比例均勻，點蒸發(fā)源的蒸鍍機(jī)的構(gòu)造是讓基板在轉(zhuǎn)動狀態(tài)下沉積有機(jī)材料。但是點蒸發(fā)源的蒸鍍機(jī)材料利用率很低，約5%。后續(xù)開發(fā)的線蒸發(fā)源的蒸鍍機(jī)不但使有機(jī)材料膜厚的均一性更好，而且材料利用率提高到約20%。
[0007]不管是點蒸發(fā)源的蒸鍍機(jī)還是線蒸發(fā)源的蒸鍍機(jī)都會出現(xiàn)材料堵孔的幾率和現(xiàn)象。蒸發(fā)源由于坩堝、溫度、材料等原因，有機(jī)材料蒸汽在出氣口冷凝，逐漸堵住出氣口，導(dǎo)致速率逐漸減低，直至完全堵??；由于長時間鍍膜，擋板(source shutter)上沉積的有機(jī)材料會逐漸變厚，有時會成片剝落，若剛好落在出氣口上，會直接擋住有機(jī)材料蒸汽。造成局部的有機(jī)材料膜厚或者摻雜比例異常，從而導(dǎo)致OLED效率和光色異常。這種情況下，只能把OLED材料降溫至室溫，再打開蒸鍍機(jī)腔體，處理完塞孔的蒸發(fā)源后，再關(guān)上蒸鍍機(jī)腔體，抽真空至1.0E-5Pa，才能開始加熱有機(jī)材料，使其鍍膜速率穩(wěn)定，通常這一流程需要耗費(fèi)幾十小時，對生產(chǎn)計劃有嚴(yán)重的影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其能在不打開蒸鍍機(jī)腔體的情況下對蒸發(fā)源出氣口進(jìn)行疏通，極大地縮短了疏通時間，提高了蒸鍍機(jī)的利用率。
[0009]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，包括:承載平臺、設(shè)于承載平臺上的數(shù)個蒸鍍坩堝及設(shè)于承載平臺上的疏通機(jī)構(gòu)，所述疏通機(jī)構(gòu)包括豎臂、垂直連接于豎臂一端的橫臂及垂直連接于橫臂自由端的探針，所述豎臂可伸縮設(shè)置于承載平臺上，且相對承載平臺可旋轉(zhuǎn)，通過橫臂與豎臂控制探針對蒸鍍坩堝的出氣口進(jìn)行疏通。
[0010]所述豎臂包括第一豎部及連接第一豎部的第二豎部，所述第一豎部可旋轉(zhuǎn)安裝于所述承載平臺上，所述第二豎部可相對第一豎部做伸縮運(yùn)動，所述橫臂連接于第二豎部的自由端。
[0011]所述橫臂包括連接第二豎部的第一橫部及連接第一橫部的第二橫部，所述第二橫部可相對第一橫部做伸縮運(yùn)動，所述探針安裝于所述第二橫部的自由端。
[0012]所述旋轉(zhuǎn)、伸縮運(yùn)動通過伺服電機(jī)或氣動閥實現(xiàn)。
[0013]所述疏通機(jī)構(gòu)的個數(shù)對應(yīng)所述蒸鍍坩堝的個數(shù)設(shè)置；所述橫臂包括連接第二豎部的第三橫部，所述探針安裝于所述第三橫部的自由端。
[0014]所述疏通機(jī)構(gòu)還包括基座，該基座安裝于承載平臺上，所述豎臂可滑動安裝于所述基座上，且該豎臂相對于所述基座可旋轉(zhuǎn)設(shè)置。
[0015]所述基座上設(shè)有滑槽，所述豎臂上相對所述滑槽設(shè)有滑塊，所述滑塊在滑槽中滑動，帶動所述豎臂相對所述基座滑動。
[0016]所述滑動通過伺服電機(jī)實現(xiàn)。
[0017]所述疏通機(jī)構(gòu)還包括設(shè)于橫臂自由端的光源與圖像傳感器，用于觀察蒸鍍坩堝出氣口的堵塞與疏通狀況。
[0018]還包括電性連接圖像傳感器的顯示裝置。
[0019]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，通過設(shè)置疏通機(jī)構(gòu)，能在不打開蒸鍍機(jī)腔體的情況下對蒸鍍坩堝的出氣孔進(jìn)行疏通，節(jié)省時間，有效提高疏通效率，提高了蒸鍍機(jī)的利用率；且，該`疏通機(jī)構(gòu)的橫臂與豎臂均可以設(shè)置為長度可調(diào)的結(jié)構(gòu)，使得該疏通機(jī)構(gòu)不但適用于蒸鍍坩堝于承載平臺上均布設(shè)置的蒸鍍機(jī)，同時，還適用于蒸鍍坩堝于承載平臺上不均布設(shè)置的蒸鍍機(jī)，適用范圍較廣；并，在橫臂的自由端設(shè)置光源與圖像傳感器，通過電性連接于該圖像傳感器的顯示裝置能夠清晰的觀察每個蒸鍍坩堝的出氣口的狀況，并根據(jù)觀察到的結(jié)果確定是否需要進(jìn)行疏通，保證了蒸鍍效果。
[0020]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]下面結(jié)合附圖，通過對本發(fā)明的【具體實施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見。
[0022]附圖中，
[0023]圖1為現(xiàn)有的OLED的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為本發(fā)明OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件第一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為圖2中疏通機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖4為本發(fā)明OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件第二實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖5為圖4中疏通機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖6為本發(fā)明OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件第三實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖7為圖6中疏通機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實施方式】
[0030]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0031]請參閱圖2及圖3，本發(fā)明提供一種OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，包括:承載平臺2、設(shè)于承載平臺2上的數(shù)個蒸鍍坩堝4及設(shè)于承載平臺2上的疏通機(jī)構(gòu)6，所述疏通機(jī)構(gòu)6包括豎臂62、垂直連接于豎臂62 —端的橫臂64及垂直連接于橫臂64自由端的探針66，所述豎臂62可伸縮設(shè)置于承載平臺2上，且相對承載平臺2可旋轉(zhuǎn)，通過橫臂64與豎臂62控制探針66對蒸鍍坩堝4的出氣口進(jìn)行疏通，進(jìn)而可以在不打開蒸鍍機(jī)腔體的情況下對蒸鍍坩堝4的出氣孔進(jìn)行疏通，有效縮短疏通時間，進(jìn)而提高蒸鍍機(jī)的利用率。
[0032]具體地，請參閱圖3，在本實施例中，所述承載平臺2為多邊形，所述蒸鍍坩堝4非均布設(shè)置于該承載平臺2上，形成點蒸發(fā)源。所述豎臂62包括第一豎部622及連接第一豎部622的第二豎部624，所述第一豎部622可旋轉(zhuǎn)安裝于所述承載平臺2上，所述第二豎部624可相對第一豎部622做伸縮運(yùn)動，所述橫臂64連接于第二豎部624的自由端。通過第二豎部624的伸縮運(yùn)動控制橫臂64與蒸鍍坩堝4之間的豎直距離，進(jìn)而控制探針66與蒸鍍坩堝4的豎直距離。如:當(dāng)需要對蒸鍍坩堝4的出氣孔進(jìn)行疏通時，第二豎部624先做伸出動作，使得探針66懸置于蒸鍍坩堝4的出氣孔的正上方，然后第二豎部624再做收縮動作，使得探針66由上方插入蒸鍍坩堝4的出氣孔，進(jìn)而實現(xiàn)蒸鍍坩堝4的出氣孔的疏通，操作簡單，疏通效率高。
[0033]進(jìn)一步地，在本實施例中，所述橫臂64包括連接第二豎部624的第一橫部642及連接第一橫部642的第二橫部644,所述第二橫部644可相對第一橫部642做伸縮運(yùn)動,所述探針66安裝于所述第二橫部644的自由端。通過第二橫部644的伸縮運(yùn)動控制探針66與蒸鍍坩堝4之間的水平距離，以實現(xiàn)對多個蒸鍍坩堝4的出氣孔的疏通。如:當(dāng)需要對蒸鍍坩堝4的出氣孔進(jìn)行疏通時，首先第二豎部624先做伸出動作，使得探針66懸置于蒸鍍坩堝4的上方；然后，旋轉(zhuǎn)第一豎部622，使得探針66懸置于帶疏通的蒸鍍坩堝4的上方；接著，第二橫部644做伸出或收縮動作，使得探針66懸置于帶疏通的蒸鍍坩堝4的氣孔的正上方；最后，第二豎部624再做收縮動作，使得探針66由上方插入蒸鍍坩堝4的出氣孔，進(jìn)而實現(xiàn)蒸鍍坩堝4的出氣孔的疏通。由于該橫臂64的長度可伸縮，使得該疏通機(jī)構(gòu)6，不但適用于蒸鍍坩堝4于承載平臺2上均布設(shè)置的蒸鍍機(jī)，同時，還適用于蒸鍍坩堝4于承載平臺2上不均布設(shè)置的蒸鍍機(jī)，適用范圍較廣。
[0034]值得一提的是，在本發(fā)明中，所述旋轉(zhuǎn)、伸縮運(yùn)動通過伺服電機(jī)或氣動閥實現(xiàn)。其具體實現(xiàn)方式均可通過現(xiàn)有技術(shù)實現(xiàn)，如:當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)、伸縮運(yùn)動通過氣動閥實現(xiàn)時，可把第一橫部642與第一豎部622均設(shè)置成密閉的缸體，而第二橫部644與第二豎部624均通過活塞分別與第一橫部642與第一豎部622連接,形成氣缸形式,通過氣動閥控制第一橫部642與第一豎部622內(nèi)的氣體體積，進(jìn)而實現(xiàn)第二橫部644與第二豎部624相對于第一橫部642與第一豎部622的伸縮運(yùn)動。而當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)、伸縮運(yùn)動通過伺服電機(jī)實現(xiàn)時，可通過帶傳動、齒輪傳動等多種驅(qū)動方式實現(xiàn)，均可實現(xiàn)上述技術(shù)效果。
[0035]優(yōu)選地，所述 疏通機(jī)構(gòu)6還包括設(shè)于橫臂64自由端的光源(未圖示)與圖像傳感器(未圖示)，用于觀察蒸鍍坩堝4出氣口的堵塞與疏通狀況。OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件還包括電性連接圖像傳感器的顯示裝置(未圖示)，所述蒸鍍坩堝4出氣口的堵塞與疏通狀況通過該顯示裝置顯示。
[0036]請參閱圖4及圖5，為本發(fā)明OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件第二實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，在本實施例中，所述疏通機(jī)構(gòu)6’的個數(shù)對應(yīng)所述蒸鍍坩堝4的個數(shù)設(shè)置，以防止蒸鍍材料間的污染，同時使制動裝置簡便。因為疏通機(jī)構(gòu)6’對應(yīng)蒸鍍坩堝4設(shè)置，所以所述橫臂64’長度不需要可調(diào)，所述橫臂64’僅包括一連接第二豎部624的第三橫部646，所述探針66安裝于所述第三橫部646的自由端。當(dāng)需要對蒸鍍坩堝4的出氣孔進(jìn)行疏通時，僅需控制第二豎部624相對第一豎部622做伸縮運(yùn)動，即可實現(xiàn)對蒸鍍坩堝4的出氣孔的疏通。
[0037]請參閱圖6及圖7，為本發(fā)明OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件第三實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，在本實施例中，所述承載平臺2’為長方體，所述蒸鍍坩堝4線性設(shè)置于該承載平臺2’上，形成線蒸發(fā)源。所述疏通機(jī)構(gòu)6’ ’還包括基座68，該基座68安裝于承載平臺2’上，所述豎臂62可滑動安裝于所述基座68上，且該豎臂62相對于所述基座68可旋轉(zhuǎn)設(shè)置。在本實施例中，所述滑動通過伺服電機(jī)實現(xiàn)。
[0038]具體地，請參閱圖7，可在基座68上設(shè)置滑槽682，在豎臂62上設(shè)置滑塊626，所述滑塊626在伺服電機(jī)的驅(qū)動下在滑槽682中滑動，進(jìn)而帶動所述豎臂62相對所述基座68滑動。進(jìn)一步地，所述滑塊626設(shè)置為圓柱形，其可在伺服電機(jī)驅(qū)動下相對于基座68進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以實現(xiàn)對不同位置的蒸鍍坩堝4的出氣孔的疏通。
[0039]綜上所述，本發(fā)明的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，通過設(shè)置疏通機(jī)構(gòu)，能在不打開蒸鍍機(jī)腔體的情況下對蒸鍍坩堝的出氣孔進(jìn)行疏通，有效提高疏通時間，提高了蒸鍍機(jī)的利用率；且，該疏通機(jī)構(gòu)的橫臂與豎臂均可以設(shè)置為長度可調(diào)的結(jié)構(gòu)，使得該疏通機(jī)構(gòu)不但適用于蒸鍍坩堝于承載平臺上均布設(shè)置的蒸鍍機(jī)，同時，還適用于蒸鍍坩堝于承載平臺上不均布設(shè)置的蒸鍍機(jī)，適用范圍較廣；并，在橫臂的自由端設(shè)置光源與圖像傳感器，通過電性連接于該圖像傳感器的顯示裝置能夠清晰的觀察每個蒸鍍坩堝的出氣口的狀況，并根據(jù)觀察到的結(jié)果確定是否需要進(jìn)行疏通，`保證了蒸鍍效果。
[0040]以上所述，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其特征在于，包括:承載平臺(2)、設(shè)于承載平臺(2)上的數(shù)個蒸鍍坩堝(4)及設(shè)于承載平臺(2)上的疏通機(jī)構(gòu)(6)，所述疏通機(jī)構(gòu)(6)包括豎臂(62)、垂直連接于豎臂(62)—端的橫臂(64)及垂直連接于橫臂(64)自由端的探針(66)，所述豎臂(62)可伸縮設(shè)置于承載平臺(2)上，且相對承載平臺(2)可旋轉(zhuǎn)，通過橫臂(64)與豎臂(62)控制探針(66)對蒸鍍坩堝(4)的出氣口進(jìn)行疏通。
2.如權(quán)利要求1所述的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其特征在于，所述豎臂(62)包括第一豎部(622)及連接第一豎部(622)的第二豎部(624)，所述第一豎部(622)可旋轉(zhuǎn)安裝于所述承載平臺(2)上，所述第二豎部(624)可相對第一豎部(622)做伸縮運(yùn)動，所述橫臂(64)連接于第二豎部(624)的自由端。
3.如權(quán)利要求2所述的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其特征在于，所述橫臂(64)包括連接第二豎部(624)的第一橫部(642)及連接第一橫部(642)的第二橫部(644)，所述第二橫部(644)可相對第一橫部(642)做伸縮運(yùn)動，所述探針(66)安裝于所述第二橫部(644)的自由端。
4.如權(quán)利要求3所述的OLED蒸鍍機(jī)的 蒸發(fā)源組件，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)、伸縮運(yùn)動通過伺服電機(jī)或氣動閥實現(xiàn)。
5.如權(quán)利要求2所述的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其特征在于，所述疏通機(jī)構(gòu)(6’)的個數(shù)對應(yīng)所述蒸鍍坩堝(4)的個數(shù)設(shè)置；所述橫臂(64’)包括連接第二豎部(624)的第三橫部(646)，所述探針(66)安裝于所述第三橫部(646)的自由端。
6.如權(quán)利要求3所述的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其特征在于，所述疏通機(jī)構(gòu)(6’’ )還包括基座(68 )，該基座(68 )安裝于承載平臺(2 ’)上，所述豎臂(62 )可滑動安裝于所述基座(68 )上，且該豎臂(62 )相對于所述基座(68 )可旋轉(zhuǎn)設(shè)置。
7.如權(quán)利要求6所述的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其特征在于，所述基座(68)上設(shè)有滑槽(682)，所述豎臂(62)上相對所述滑槽(682)設(shè)有滑塊(626)，所述滑塊(626)在滑槽(682)中滑動，帶動所述豎臂(62)相對所述基座(68)滑動。
8.如權(quán)利要求7所述的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其特征在于，所述滑動通過伺服電機(jī)實現(xiàn)。
9.如權(quán)利要求1所述的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其特征在于，所述疏通機(jī)構(gòu)(6)還包括設(shè)于橫臂(64)自由端的光源與圖像傳感器，用于觀察蒸鍍坩堝(4)出氣口的堵塞與疏通狀況。
10.如權(quán)利要求9所述的OLED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源組件，其特征在于，還包括電性連接圖像傳感器的顯示裝置。
【文檔編號】C23C14/24GK103741096SQ201310739659
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月27日
【發(fā)明者】鄒清華 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司