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一種用于N型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置的制作方法

文檔序號(hào):40399058發(fā)布日期:2024-12-20 12:22閱讀:6來(lái)源:國(guó)知局
一種用于N型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置的制作方法

本技術(shù)涉及太陽(yáng)能電池片的濕法堿拋槽式機(jī)臺(tái)的,為一種用于改善堿拋機(jī)臺(tái)清洗效果裝置,具體是一種用于n型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置。


背景技術(shù):

1、隨著太陽(yáng)能發(fā)電越來(lái)越壯大,光伏電池發(fā)展迅速,光伏產(chǎn)業(yè)原硅成本居高不下,且對(duì)于產(chǎn)品el及外觀要求越來(lái)越高,在堿拋水槽清洗效果不佳的情況下,導(dǎo)致poly工序在制備poly薄膜時(shí)經(jīng)退火工序晶化后導(dǎo)致爆膜。

2、針對(duì)此類問(wèn)題,后道異常反饋較多,亟需解決,現(xiàn)需要針對(duì)此類出現(xiàn)的現(xiàn)象,做出針對(duì)性解決方案,從而減少異常出現(xiàn)情況,降低降級(jí)比例和客訴風(fēng)險(xiǎn)。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供了一種用于topcon堿拋工序槽式機(jī)水槽改造噴淋槽裝置,具備改善制程過(guò)程中出現(xiàn)花籃位置爆膜的缺點(diǎn),解決了產(chǎn)線降級(jí)多,異常多的問(wèn)題,進(jìn)而提升了太陽(yáng)能電池的el良率和外觀良率,提升了單片成品片的價(jià)值。

2、本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:在經(jīng)過(guò)一批花籃經(jīng)過(guò)酸槽后,先由機(jī)械臂抓取經(jīng)過(guò)水槽并開(kāi)啟鼓泡,首先清洗掉硅片上附著的鹽酸及硅酸鹽,再由機(jī)械臂抓取到噴淋水槽,進(jìn)入噴淋水槽后開(kāi)啟噴淋,上噴淋、槽壁噴淋、下噴淋可最大程度上清洗花籃齒位置附著的殘留物,接下來(lái)由機(jī)械臂抓取到水槽再次進(jìn)行清洗,再由機(jī)械臂抓取到慢提拉槽進(jìn)行預(yù)脫水,所述花籃到達(dá)下料時(shí),檢查外觀花籃齒位置,通過(guò)顯微鏡進(jìn)行觀察,硅片所附著的異物明顯減少。

3、具體的方案為:

4、本實(shí)用新型公開(kāi)了n型topcon電池堿拋工序槽式機(jī)鹽酸槽后使用噴淋裝置,屬于太陽(yáng)能電池片制造領(lǐng)域,改善了堿拋工序硅片殘留鹽酸及硅酸鹽的缺點(diǎn),解決了產(chǎn)線因堿拋硅片殘留物質(zhì)導(dǎo)致經(jīng)過(guò)poly工序及退火晶化后外觀出現(xiàn)花籃齒位置poly爆膜,本實(shí)用新型主要包括槽蓋設(shè)置上噴淋口,槽內(nèi)設(shè)置中噴淋,底部設(shè)置下噴淋,機(jī)臺(tái)后部添加副槽來(lái)保證硅片可一直處于噴淋狀態(tài),來(lái)保證噴淋效果。具體的,所述的裝置包括:鹽酸槽、噴淋槽、水槽、慢提拉槽、烘干槽;所述的噴淋槽包括主槽,所述的主槽包括若干噴淋管,即槽蓋噴淋管,以及槽蓋噴淋管豎直方向分別連接的槽壁噴淋管,兩槽壁噴淋管之間為槽底座噴淋管;所述主槽的噴淋管連接與儲(chǔ)存水副槽;所述的儲(chǔ)存水副槽上方分別設(shè)置熱水進(jìn)水管道、冷水進(jìn)水管道;所述的儲(chǔ)存水副槽按照高低順序分別設(shè)置副槽高液位感應(yīng)器、副槽工作液位感應(yīng)器、副槽低液位感應(yīng)器。

5、進(jìn)一步,所述的噴淋槽底部設(shè)置排液口;所述的槽蓋噴淋管、槽壁噴淋管槽底座噴淋管內(nèi)側(cè)均設(shè)置有噴淋孔。根據(jù)上述噴淋裝置,在原有水槽基礎(chǔ)上增加槽蓋噴淋管、兩槽壁噴淋管、槽底座噴淋管進(jìn)行噴淋,添加儲(chǔ)存水副槽進(jìn)行儲(chǔ)水,儲(chǔ)存水副槽溫度控制由熱水進(jìn)水管道、冷水進(jìn)水管道及溫度計(jì)反應(yīng)溫度在中控電腦上進(jìn)行調(diào)整冷熱水比例以達(dá)到所需溫度的目的。

6、進(jìn)一步,所述的儲(chǔ)存水副槽的副槽工作液位感應(yīng)器對(duì)應(yīng)的位置處,設(shè)置有副槽出水管道。

7、進(jìn)一步,所述的儲(chǔ)存水副槽有三個(gè)液位感應(yīng)器,即副槽低液位感應(yīng)器、副槽工作液位感應(yīng)器、副槽高液位感應(yīng)器;所述的高液位感應(yīng)器用于控制液位,當(dāng)副槽水液位低于高液位感應(yīng)器時(shí),副槽加水;副槽工作液位感應(yīng)器用于控制工作液位,當(dāng)液位低于副槽工作液位感應(yīng)器時(shí),主槽體不工作,儲(chǔ)存水副槽持續(xù)加水;副槽低液位感應(yīng)器是安全保護(hù)液位,當(dāng)液位低于低液位感應(yīng)器后,泵不啟動(dòng),用于保護(hù)泵干燒。

8、進(jìn)一步,所述的槽蓋噴淋管進(jìn)行上噴淋、槽壁噴淋管進(jìn)行槽壁噴淋、槽底座噴淋管進(jìn)行下噴淋。

9、本實(shí)用新型中的噴淋管?chē)娏艿臏厮仨氝_(dá)到設(shè)定溫度,且槽內(nèi)無(wú)水殘留(排液口處于一直排液狀態(tài))。槽蓋噴淋管、兩槽壁噴淋管、槽底座噴淋管為耐形變塑料pvc結(jié)構(gòu)。儲(chǔ)存水副槽為pvdf耐腐蝕結(jié)構(gòu)。冷熱水進(jìn)水管道、出水管道為耐形變塑料pvc結(jié)構(gòu)。副槽低液位感應(yīng)器、副槽工作液位感應(yīng)器、副槽高液位感應(yīng)器需要有可以識(shí)別液位能力并反應(yīng)到中控電腦的能力。溫度計(jì)需要反應(yīng)到中控電腦的能力。

10、本實(shí)用新型一種用于n型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置,其特征在于:

11、由中控電腦設(shè)置所需噴淋水溫度;在進(jìn)行噴淋時(shí),排液口一直打開(kāi),避免浸泡附著到異物;

12、儲(chǔ)存水副槽有三個(gè)液位感應(yīng)器,即副槽低液位感應(yīng)器、副槽工作液位感應(yīng)器、副槽高液位感應(yīng)器;高液位感應(yīng)器控制液位,當(dāng)副槽水液位低于高液位感應(yīng)器時(shí),副槽加水;副槽工作液位感應(yīng)器控制工作液位,當(dāng)液位低于副槽工作液位感應(yīng)器時(shí),主槽體不工作,儲(chǔ)存水副槽持續(xù)加水;

13、有花籃經(jīng)過(guò)機(jī)械臂抓取進(jìn)入主槽后,排液口開(kāi)啟,處于一直排液狀態(tài),儲(chǔ)存水副槽一直加水,槽蓋噴淋管上噴淋、槽壁噴淋管槽壁噴淋、槽底座噴淋管下噴淋同時(shí)進(jìn)行工作,清洗硅片附著的鹽酸及硅酸鹽、無(wú)機(jī)鹽等物質(zhì);

14、噴淋槽結(jié)束后,再由機(jī)械臂抓取至水槽進(jìn)行清洗,之后進(jìn)入慢提拉槽進(jìn)行預(yù)脫水;之后進(jìn)入烘干槽進(jìn)行烘干使花籃齒位置硅片上的附著物最大程度進(jìn)行清洗,為后面制備poly膜做好準(zhǔn)備。

15、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本申請(qǐng)的技術(shù)方案具備以下有益效果:

16、一種用于topcon堿拋工序槽式機(jī)水槽改造噴淋槽裝置,平時(shí)生產(chǎn)時(shí)即可推廣使用,使用時(shí),花籃進(jìn)入噴淋槽后,噴淋裝置和排液閥同時(shí)打開(kāi),副槽液位感應(yīng)器監(jiān)控液位,以保證噴淋效果,此技術(shù)目前僅為解決堿拋后清洗效果差,解決poly爆膜,此技術(shù)還可廣泛應(yīng)用于制絨、一次堿拋、rca機(jī)臺(tái),提升了太陽(yáng)能電池的el良率和外觀良率,提升了單片成品片的價(jià)值。



技術(shù)特征:

1.一種用于n型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置,其特征在于,所述的裝置包括:鹽酸槽、噴淋槽、水槽、慢提拉槽、烘干槽;

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于n型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置,其特征在于,所述的噴淋槽底部設(shè)置排液口(4);所述的槽蓋噴淋管(1)、槽壁噴淋管(2)槽底座噴淋管(3)內(nèi)側(cè)均設(shè)置有噴淋孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于n型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置,其特征在于,所述的儲(chǔ)存水副槽(5)的副槽工作液位感應(yīng)器(9-2)對(duì)應(yīng)的位置處,設(shè)置有副槽出水管道(8);所述的儲(chǔ)存水副槽(5)中還設(shè)有溫度計(jì)(10)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于n型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置,其特征在于,所述的儲(chǔ)存水副槽(5)有三個(gè)液位感應(yīng)器,即副槽低液位感應(yīng)器(9-1)、副槽工作液位感應(yīng)器(9-2)、副槽高液位感應(yīng)器(9-3);所述的高液位感應(yīng)器(9-3)用于控制液位,當(dāng)副槽水液位低于高液位感應(yīng)器(9-3)時(shí),副槽加水;副槽工作液位感應(yīng)器(9-2)用于控制工作液位,當(dāng)液位低于副槽工作液位感應(yīng)器(9-2)時(shí),主槽體不工作,儲(chǔ)存水副槽(5)持續(xù)加水;副槽低液位感應(yīng)器(9-1)是安全保護(hù)液位,當(dāng)液位低于低液位感應(yīng)器后,泵不啟動(dòng),用于保護(hù)泵干燒。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于n型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置,其特征在于,所述的槽蓋噴淋管(1)進(jìn)行上噴淋、槽壁噴淋管(2)進(jìn)行槽壁噴淋、槽底座噴淋管(3)進(jìn)行下噴淋。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種用于N型堿拋工序槽式機(jī)增強(qiáng)硅片清洗效果的裝置,屬于太陽(yáng)能電池片的濕法堿拋槽式機(jī)臺(tái)的技術(shù)領(lǐng)域,本技術(shù)裝置串聯(lián)包括:鹽酸槽、水槽、噴淋槽、水槽、慢提拉槽、烘干槽;噴淋槽包括主槽以及儲(chǔ)存水副槽,主槽包括槽蓋噴淋管,以及槽蓋噴淋管豎直方向分別連接的槽壁噴淋管,兩槽壁噴淋管之間為槽底座噴淋管;儲(chǔ)存水副槽儲(chǔ)存水副槽上方分別設(shè)置熱水進(jìn)水管道、冷水進(jìn)水管道;儲(chǔ)存水副槽按照高低順序分別設(shè)置副槽高液位感應(yīng)器、副槽工作液位感應(yīng)器、副槽低液位感應(yīng)器。本技術(shù)解決了產(chǎn)線降級(jí)多,異常多的問(wèn)題,進(jìn)而提升了太陽(yáng)能電池的EL良率和外觀良率,提升了單片成品片的價(jià)值。

技術(shù)研發(fā)人員:翁星
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江蘇潤(rùn)陽(yáng)光伏科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240329
技術(shù)公布日:2024/12/19
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