本技術(shù)涉及襯底剝離，尤其涉及一種碎屑去除裝置。

背景技術(shù)：

1、發(fā)光二極管制作過(guò)程中，在襯底上異質(zhì)生長(zhǎng)外延層后，需要將襯底進(jìn)行剝離。

2、目前對(duì)襯底進(jìn)行剝離技術(shù)主要是激光剝離技術(shù)。現(xiàn)有的激光剝離技術(shù)通過(guò)激光從外延層的邊緣向外延層的中心移動(dòng)以對(duì)外延層進(jìn)行掃描，然而，由于外延層在襯底生長(zhǎng)后，與目標(biāo)襯底(例如驅(qū)動(dòng)背板)進(jìn)行鍵合，受鍵合工藝影響，外延層和襯底的邊緣有錯(cuò)位，且邊緣鍵合質(zhì)量較差易發(fā)生剝落(peeling)。在掃描過(guò)程中，外延層與目標(biāo)襯底之間的邊緣膜層應(yīng)力快速釋放，膜層剝落后碎屑迸濺，隨機(jī)掉落至襯底的表面，從而形成遮擋，影響激光能量作用于外延層的效果，使剝離后的外延層成為不良品。此外，受放置外延層的載臺(tái)移動(dòng)影響，部分掉落至載臺(tái)附件的碎屑，存在一定幾率再次落入外延層的表面，使剝離后的外延層成為不良品。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種碎屑去除裝置，以提高剝離后的器件結(jié)構(gòu)良率。

2、為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型技術(shù)方案提供一種碎屑去除裝置，包括：載臺(tái)，用于承載固定待剝離晶圓組件；吹掃裝置，用于朝向承載于所述載臺(tái)上的所述待剝離晶圓組件進(jìn)行吹掃。

3、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：

4、本實(shí)用新型的技術(shù)方案的碎屑去除裝置中，通過(guò)設(shè)置吹掃裝置，利用吹掃裝置將待剝離晶圓組件在剝離過(guò)程中產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行吹掃，防止碎屑對(duì)剝離后的器件結(jié)構(gòu)造成影響，從而提高剝離后的器件結(jié)構(gòu)良率。

5、進(jìn)一步，吹掃裝置還包括：與管路組件連接的支撐組件，用于支撐固定管路組件。通過(guò)支撐組件將管路組件進(jìn)行支撐，便于管路組件的梳理與固定。

6、進(jìn)一步，出氣管路包括：若干節(jié)依次連接且氣路連通的節(jié)管，且至少部分節(jié)管轉(zhuǎn)動(dòng)連接。通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)連接的若干節(jié)管，便于出氣管路靈活的調(diào)整吹掃方向。

7、進(jìn)一步，吹掃裝置的吹掃路徑為：由待剝離晶圓組件的中心至待剝離晶圓組件的半徑的1/2處移動(dòng)。由于吹掃氣體在噴射之后具有一定的沖擊力，因此僅將吹掃路徑限定在由待剝離晶圓組件的中心至待剝離晶圓組件的半徑的1/2處，在待剝離晶圓組件的半徑的1/2至待剝離晶圓組件的邊緣位置，依靠吹掃氣體的沖擊力將碎屑進(jìn)行吹掃，能夠有效減少吹掃路徑，提高吹掃效率。

8、進(jìn)一步，吹掃組件還包括：與載臺(tái)固定連接的運(yùn)動(dòng)組件，用于帶動(dòng)載臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，所述載臺(tái)帶動(dòng)所述待剝離晶圓組件運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)組件包括：與載臺(tái)固定連接的支撐臺(tái)；與支撐臺(tái)固定連接的驅(qū)動(dòng)件，用于驅(qū)動(dòng)支撐臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使支撐臺(tái)帶動(dòng)載臺(tái)旋轉(zhuǎn)。通過(guò)運(yùn)動(dòng)組件最終帶動(dòng)待剝離晶圓組件的旋轉(zhuǎn)，使得吹掃路徑僅需要沿著待剝離晶圓組件表面的一條直線(xiàn)進(jìn)行移動(dòng)，在待剝離晶圓組件旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)待剝離晶圓組件表面的全方位吹掃。

9、進(jìn)一步，吹掃裝置還包括：收集組件，用于收集從待剝離晶圓組件上吹掃掉落的碎屑。通過(guò)收集組件能夠收集從待剝離晶圓組件表面吹掃掉落的碎屑，可以避免碎屑再次散落至待剝離晶圓組件表面，從而提高剝離后的器件結(jié)構(gòu)良率。

10、進(jìn)一步，收集罩具有若干吸塵通孔，吸塵通孔與收集腔連通；收集組件還包括：吸塵設(shè)備，吸塵設(shè)備與若干吸塵通孔氣路連通；和/或貼附于所述收集腔側(cè)壁表面的除塵膠層。通過(guò)吸塵設(shè)備能夠?qū)⑹占种惺占降乃樾伎焖傥角謇?，可以避免碎屑再次散落至待剝離晶圓組件表面，從而提高剝離后的器件結(jié)構(gòu)良率。通過(guò)除塵膠層將收集的碎屑進(jìn)行粘附固定，可以避免碎屑再次散落至待剝離晶圓組件表面，從而提高剝離后的器件結(jié)構(gòu)良率。同時(shí)通過(guò)撕掉除塵膠層即可將收集到的碎屑快速清理。

技術(shù)特征：

1.一種碎屑去除裝置，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述吹掃裝置包括：儲(chǔ)氣組件，用于儲(chǔ)存吹掃氣體；與所述儲(chǔ)氣組件連接且氣路連通的管路組件，用于輸送所述吹掃氣體。

3.如權(quán)利要求2所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述管路組件包括：與所述儲(chǔ)氣組件連接且氣路連通的進(jìn)氣管路，用于輸入所述吹掃氣體；與所述進(jìn)氣管路連接且氣路連通的出氣管路，用于輸出所述吹掃氣體。

4.如權(quán)利要求3所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述管路組件還包括：與所述出氣管路連接且氣路連通的氣體噴嘴。

5.如權(quán)利要求3所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述吹掃裝置還包括：與所述管路組件連接的支撐組件，用于支撐固定所述管路組件。

6.如權(quán)利要求5所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述支撐組件包括：支撐桿、以及與所述支撐桿連接的支撐頭；其中，所述支撐頭至少與所述出氣管路連接且氣路連通。

7.如權(quán)利要求6所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述支撐頭還與所述進(jìn)氣管路連接且氣路連通；或者，所述支撐頭與所述支撐桿連接且氣路連通，所述支撐桿與所述進(jìn)氣管路連接且氣路連通。

8.如權(quán)利要求3至7任意一項(xiàng)所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述出氣管路包括：若干節(jié)依次連接且氣路連通的節(jié)管，且至少部分所述節(jié)管轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

9.如權(quán)利要求2所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述吹掃氣體自所述待剝離晶圓組件的上方吹掃至所述待剝離晶圓組件的待吹掃表面。

10.如權(quán)利要求9所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述吹掃氣體的噴射方向與所述待剝離晶圓組件的表面之間具有吹掃夾角，所述吹掃夾角為銳角。

11.如權(quán)利要求9所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述吹掃裝置的吹掃路徑為：由所述待剝離晶圓組件的中心至所述待剝離晶圓組件的半徑的1/2處移動(dòng)。

12.如權(quán)利要求2所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述吹掃氣體與所述待剝離晶圓組件的待吹掃表面位于同一水平面上。

13.如權(quán)利要求1所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述吹掃組件還包括：與所述載臺(tái)固定連接的運(yùn)動(dòng)組件，用于帶動(dòng)所述載臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，所述載臺(tái)帶動(dòng)所述待剝離晶圓組件運(yùn)動(dòng)。

14.如權(quán)利要求13所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)組件包括：與所述載臺(tái)固定連接的支撐臺(tái)；與所述支撐臺(tái)固定連接的驅(qū)動(dòng)件，用于驅(qū)動(dòng)所述支撐臺(tái)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以使所述支撐臺(tái)帶動(dòng)所述載臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)。

15.如權(quán)利要求1所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述待剝離晶圓組件采用吸附方式承載固定于所述載臺(tái)上。

16.如權(quán)利要求15所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述載臺(tái)內(nèi)具有若干吸附通孔，且若干所述吸附通孔氣路連通負(fù)壓設(shè)備。

17.如權(quán)利要求14所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述吹掃裝置還包括：收集組件，用于收集從所述待剝離晶圓組件上吹掃掉落的碎屑。

18.如權(quán)利要求17所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述收集組件包括：收集罩，所述收集罩具有收集腔；其中，所述載臺(tái)穿過(guò)所述收集罩位于所述收集腔內(nèi)。

19.如權(quán)利要求18所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述收集罩具有若干吸塵通孔，所述吸塵通孔與所述收集腔連通；所述收集組件還包括：吸塵設(shè)備，所述吸塵設(shè)備與若干所述吸塵通孔氣路連通；和/或貼附于所述收集腔側(cè)壁表面的除塵膠層。

20.如權(quán)利要求18所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述載臺(tái)穿過(guò)收集罩的開(kāi)口的直徑大于、等于或小于所述載臺(tái)的直徑。

21.如權(quán)利要求20所述碎屑去除裝置，其特征在于，當(dāng)所述載臺(tái)穿過(guò)收集罩的開(kāi)口的直徑大于所述載臺(tái)的直徑時(shí)，所述收集罩可拆卸固定于所述支撐臺(tái)上。

22.如權(quán)利要求20所述碎屑去除裝置，其特征在于，當(dāng)所述載臺(tái)穿過(guò)收集罩的開(kāi)口的直徑等于或小于所述載臺(tái)的直徑時(shí)，所述收集罩套裝于所述載臺(tái)上。

23.如權(quán)利要求2所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述吹掃氣體包括：氮?dú)饣蚨栊詺怏w；其中，氮?dú)獾募兌却笥诨虻扔?9.999％，惰性氣體的純度大于或等于99.99％。

24.如權(quán)利要求1所述碎屑去除裝置，其特征在于，所述待剝離晶圓組件包括：襯底、以及形成于所述襯底上的外延層；在所述待剝離晶圓組件固定于所述載臺(tái)上時(shí)，所述外延層位于所述襯底與所述載臺(tái)之間。

技術(shù)總結(jié)
一種碎屑去除裝置，涉及襯底剝離技術(shù)領(lǐng)域，包括：載臺(tái)，用于承載固定待剝離晶圓組件；吹掃裝置，用于朝向承載于所述載臺(tái)上的所述待剝離晶圓組件進(jìn)行吹掃。通過(guò)設(shè)置吹掃裝置，利用吹掃裝置將待剝離晶圓組件在剝離過(guò)程中產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行吹掃，防止碎屑對(duì)剝離后的器件結(jié)構(gòu)造成影響，從而提高剝離后的器件結(jié)構(gòu)良率。

技術(shù)研發(fā)人員：陳坤,馬磊,童玲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海顯耀顯示科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240229
技術(shù)公布日：2024/12/19