本發(fā)明涉及3c電子清洗，具體的是一種全自動真空等離子清洗機。

背景技術：

1、等離子清洗是一種全新的高科技技術，其原理是在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面，以達到清洗目的。隨著電子電路集成化程度的提高，芯片特征尺寸變小以及新型材料的研發(fā)與使用，對其表面處理和清洗的要求也越來越高，等離子體表面清洗工藝已經成為提高產品可靠性和成品率的重要手段，是生產工藝中不可缺少的步驟。

2、現有技術公開了公開號為cn?114927442?a(ipc分類號為h01l21/67)的中國專利：一種真空等離子清洗機，并公開了上下料機械手和上下料移動平臺，通過上下料機械手上的氣動夾鉗夾取待清洗工件放置于移動臺的底板上，利用清洗工位的底板舉升機構將放置工件的底板推至真空室內進行等離子清洗。

3、但是，上述的現有技術仍存在一定的缺陷，即在使用過程中，放置于底板上的待清洗工件與底板的接觸面處為清洗盲區(qū)，對該區(qū)域的工件表面清洗效果較差，甚至是無法進行清洗，降低了對工件的清洗質量。

技術實現思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種全自動真空等離子清洗機，以解決上述背景技術中提出的問題。

2、本發(fā)明的目的可以通過以下技術方案實現：

3、一種全自動真空等離子清洗機，包括機體、處理腔殼和高頻發(fā)生器，所述處理腔殼固定安裝在機體內部，高頻發(fā)生器固定嵌裝在處理腔殼外側，處理腔殼前側鉸接安裝有密封門，且密封門上設有視窗口，所述處理腔殼內部固定設有兩個工字導軌，處理腔殼位于兩個工字導軌相背一側的位置均安裝有電極板，兩個工字導軌之間滑動安裝有滑移臺；

4、所述滑移臺頂部設有用于對目標產品進行托放的托盤機構，且滑移臺與密封門之間設有用于帶動滑移臺沿工字導軌進行滑動的連帶組件；

5、所述處理腔殼頂部連通設有進氣管，機體內部設有與進氣管導通的供氣機構，供氣機構用于向處理腔殼內部供送進行輝光放電的氣體。

6、在一個優(yōu)選地實施方式中，所述托盤機構包括固定在滑移臺頂部兩端的內架和外架，兩個外架設置在兩個內架相背一側，兩個內架上均呈貫穿式轉動安裝有轉盤，兩個轉盤邊緣位置均轉動安裝有多個呈環(huán)形均勻分布的軸桿，且兩個轉盤上的軸桿相背一端分別延伸至對應側的外架內部；

7、所述托盤機構還包括設于兩個轉盤相對側之間的框體，框體與呈相對設置的兩個軸桿對應設置，且呈相對設置的兩個軸桿相對端均與所在位置的框體外側固定連接，框體頂端鉸接安裝有框蓋，框蓋與框體之間還設有鎖扣組件。

8、在一個優(yōu)選地實施方式中，所述滑移臺頂部兩端均設有用于驅動所在側轉盤轉動的驅動組件，驅動組件包括固定套設于轉盤靠近所在端外架一端外側的外齒圈和固定在所在端外架內側的弧形齒條，外架外側固定安裝有電機一，電機一的輸出軸端部固定連接有與所在端外齒圈相嚙合的齒盤；

9、所述框體兩端外側的軸桿相背一端均固定套接有與所在端外架內側的弧形齒條相嚙合的齒輪一。

10、在一個優(yōu)選地實施方式中，所述鎖扣組件包括固定在框蓋和框體外側的插框一，兩個插框一之間活動貫穿插接有l(wèi)型板，l型板內側底端與框體外側的插框一之間固定連接有彈簧一。

11、在一個優(yōu)選地實施方式中，所述框體和框蓋內側均設有緩沖組件，緩沖組件由凸起和緩沖彈簧組成，框體以及框蓋與對應位置的凸起之間均通過緩沖彈簧固定連接；

12、所述框體內側還開設有u型槽，u型槽內部活動插接有分隔網板。

13、在一個優(yōu)選地實施方式中，所述連帶組件由固定在滑移臺底部遠離密封門一端的t型圓柱一、固定在密封門內側的t型圓柱二以及位于t型圓柱一與t型圓柱二之間的連桿組成，連桿兩端分別與t型圓柱一以及t型圓柱二轉動連接。

14、在一個優(yōu)選地實施方式中，所述供氣機構包括設于機體內側扇形托架，扇形托架與機體之間通過圓桿轉動安裝，扇形托架頂部設有氣瓶，氣瓶的端口位置螺紋連接有套管；

15、所述供氣機構還包括設于機體內部的供氣管和與供氣管相連通的對接管，供氣管與進氣管之間連通設有連接軟管，對接管滑動安裝于機體內側，供氣管與對接管的連接處安裝有電磁流量計，對接管與套管之間設有供氣控制組件。

16、在一個優(yōu)選地實施方式中，所述供氣控制組件包括固定在機體內側的座塊和固定在對接管外側的直齒條，座塊底部固定安裝有電機二，電機二的輸出軸端部固定連接有與直齒條相嚙合的齒輪二；

17、所述供氣控制組件還包括固定在套管內側的擋環(huán)和固定在對接管內側的孔板，孔板底部固定連接有頂柱，套管內側位于擋環(huán)遠離孔板的一側設有堵頭，堵頭外側固定設有兩個耳塊，擋環(huán)底部對應兩個耳塊的位置處均固定設有活動貫穿對應耳塊的插桿，插桿外側活動套設有固定連接擋環(huán)與耳塊的彈簧二。

18、在一個優(yōu)選地實施方式中，所述扇形托架與機體之間設有限位組件，限位組件包括固定在機體以及扇形托架外側的插框二，兩個插框二之間活動貫穿插接有插條，插條底端固定設有座板，限位組件還包括固定在機體外側的限位條和開設于扇形托架外側的限位槽；

19、所述插條外側固定設有定塊，定塊上活動貫穿插接有固定在扇形托架外側的插框二頂部的導桿，導桿外側活動套設有固定連接定塊與對應插框二的彈簧四。

20、在一個優(yōu)選地實施方式中，所述機體底端設有散熱機構，散熱機構包括固定在機體內側的網托，網托與機體內側底端面之間固定設有兩個擋板，機體底部對應兩個擋板相背側的位置均固定嵌裝有防塵網一，且機體底部對應兩個擋板之間的位置固定嵌裝有防塵網二；

21、所述機體內側底部固定安裝有支架，支架頂部固定安裝有驅動電機，驅動電機的輸出軸端部固定連接有葉輪，葉輪外側底端軸心線位置固定連接有活動貫穿防塵網二的轉桿；

22、所述機體外側底部對應兩個防塵網一的兩端位置處均固定設有擋框，且轉桿外側固定套設有位于機體外側底端的凸輪板，呈相對設置的兩個擋框之間設有三角架，三角架兩端均固定設有滑動連接對應擋框內部的滑塊，擋框內部固定設有活動貫穿滑塊的直桿，直桿外側活動套設有固定連接滑塊與擋框的彈簧三。

23、本發(fā)明的有益效果：

24、1、本發(fā)明通過利用轉動的齒盤來驅動帶動外齒圈的轉盤轉動，從而帶動承載目標產品的框體轉動，并驅動轉盤轉動的過程中，利用框體兩端的軸桿端部的齒輪一與外架上的多組弧形齒條依次產生嚙合，用以間歇式驅動齒輪一發(fā)生轉動，從而讓承載目標產品的框體發(fā)生翻轉，使目標產品與等離子體充分接觸，避免出現清洗盲區(qū)；

25、2、本發(fā)明通過利用連帶組件使得在開啟密封門的過程中，可以利用發(fā)生擺動的連桿拉動滑移臺沿工字導軌滑出處理腔殼，反之，則并推動承載托盤機構的滑移臺回縮至處理腔殼內部，方便對目標產品進行取放；

26、3、本發(fā)明通過將扇形托架設置為可偏擺式結構，方便對氣瓶進行快速更換，同時，在向處理腔殼內部供送氣體的過程中，可以利用齒輪二與直齒條之間的嚙合設置來控制對接管進行升降，實現控制氣瓶的端口啟閉；

27、4、本發(fā)明通過利用轉動的葉輪將設備運作過程中機體內部的熱空氣排至機體外部，并自動抽吸外界的冷空氣進入機體內部，實現利用氣流的流動來持續(xù)帶走該真空等離子清洗機運作過程中所產生的熱量，避免積熱量過大而影響設備的正常運作，此外，還會利用隨葉輪同步轉動的凸輪板間歇擠壓三角架，并在三角架發(fā)生往復運動以及凸輪板發(fā)生圓周運動的過程中，可以利用其上安裝的清理條來對對應位置的防塵網一以及防塵網二上附著的灰塵進行實時清理。