本實用新型涉及太陽能電池的鍍膜設(shè)備,具體是指一種能夠帶動太陽能電池硅片鍍膜時轉(zhuǎn)動的鍍膜爐。
背景技術(shù):
在光伏太陽能行業(yè),太陽能電池的制造要經(jīng)過制絨,擴散,刻蝕,鍍膜,絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)六大工序。其中,鍍膜工序的目的是采用等離子增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)的方法在硅片正面鍍氮化硅膜,減少太陽光反射以及對硅片表面起鈍化作用。
目前,光伏行業(yè)大多采用管式PECVD對硅片鍍膜,鍍膜管為圓柱體,鍍膜管的頂部設(shè)置有多個工藝氣體的噴氣口,用于給硅片鍍膜,石墨舟為長方體,位于噴氣口的下方,用于承載硅片。在鍍膜過程中,石墨舟在鍍膜管里靜止不動。太陽能電池的藍(lán)色外觀就是在鍍膜這一道工序形成,由于行業(yè)競爭激烈,客戶不僅關(guān)注電池產(chǎn)品的光電轉(zhuǎn)換效率,也更加重視產(chǎn)品的外觀。
因此,如何獲得均勻性好的PECVD鍍膜,也成為行業(yè)技術(shù)人員在著重解決的問題。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型的目的是提供一種能夠帶動太陽能電池硅片鍍膜時轉(zhuǎn)動的鍍膜爐,該鍍膜爐采用旋轉(zhuǎn)石墨舟,帶動電池硅片鍍膜時轉(zhuǎn)動,保證鍍膜過程中硅片能與工藝氣體充分接觸,提高硅片的鍍膜均勻性,從而提高電池產(chǎn)品的外觀合格率和光電轉(zhuǎn)換效率。
本實用新型的上述目的通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn)的:一種能夠帶動太陽能電池硅片鍍膜時轉(zhuǎn)動的鍍膜爐,包括爐體和石墨舟,爐體的頂部設(shè)置有多個工藝氣體的噴氣口,用于給硅片鍍膜,石墨舟位于噴氣口的下方,用于承載硅片,其特征在于:所述鍍膜爐還具有旋轉(zhuǎn)臺,所述旋轉(zhuǎn)臺位于爐體的中心位置處,所述石墨舟承托在所述旋轉(zhuǎn)臺上,所述旋轉(zhuǎn)臺在旋轉(zhuǎn)過程中能夠帶動石墨舟同步轉(zhuǎn)動,保證硅片與工藝氣體充分接觸,從而提高硅片的鍍膜均勻性。
本實用新型的鍍膜爐采用旋轉(zhuǎn)臺來帶動石墨舟轉(zhuǎn)動,從而保證在鍍膜過程中硅片能與工藝氣體充分接觸,提高硅片的鍍膜均勻性,以提高電池產(chǎn)品的外觀合格率和光電轉(zhuǎn)換效率。
本實用新型中,所述旋轉(zhuǎn)臺通過電機驅(qū)動。
所述旋轉(zhuǎn)臺與電機之間通過帶輪傳動機構(gòu)或鏈輪傳動機構(gòu)相連接,或者電機豎向設(shè)置,旋轉(zhuǎn)臺直接套裝在電機的電機軸上。
本實用新型中,所述噴氣口為2~10個。
本實用新型中,所述爐體為圓柱體或截面為四邊形或五邊形或六邊形的立方體。
本實用新型中,所述石墨舟為長方體或圓柱體或截面為四邊形或五邊形或六邊形的立方體。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型采用旋轉(zhuǎn)臺,旋轉(zhuǎn)臺承載石墨舟,旋轉(zhuǎn)臺在旋轉(zhuǎn)過程中能夠帶動石墨舟同步轉(zhuǎn)動,由此保證在鍍膜過程中,硅片能與工藝氣體充分接觸,提高硅片的鍍膜均勻性,從而提高電池產(chǎn)品的外觀合格率和光電轉(zhuǎn)換效率。
附圖說明
下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
圖1是本實用新型能夠帶動太陽能電池硅片鍍膜時轉(zhuǎn)動的鍍膜爐的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖標(biāo)記說明
1、爐體;2、噴氣口;3、石墨舟;4、旋轉(zhuǎn)臺。
具體實施方式
如圖1所示的一種能夠帶動太陽能電池硅片鍍膜時轉(zhuǎn)動的鍍膜爐,包括爐體1、石墨舟3和旋轉(zhuǎn)臺4,爐體1為圓柱體的石英結(jié)構(gòu),具有中空的爐膛,爐體1的頂部設(shè)置有四個工藝氣體的噴氣口2,用于給硅片鍍膜,石墨舟3也為長方體,石墨舟3位于噴氣口2的下方,用于承載硅片,旋轉(zhuǎn)臺4位于爐體1的中心位置處,石墨舟3承托在旋轉(zhuǎn)臺4上,旋轉(zhuǎn)臺4在旋轉(zhuǎn)過程中能夠帶動石墨舟3同步轉(zhuǎn)動,保證硅片與工藝氣體充分接觸,從而提高硅片的鍍膜均勻性。
本實施例中,旋轉(zhuǎn)臺4通過電機驅(qū)動,具體結(jié)構(gòu)為電機也位于爐膛內(nèi),且豎向設(shè)置,旋轉(zhuǎn)臺4直接套裝在電機的電機軸上,通過電機帶動旋轉(zhuǎn)臺4轉(zhuǎn)動。
旋轉(zhuǎn)臺4也可以通過傳動機構(gòu)與電機相連,通過電機帶動傳動機構(gòu)進(jìn)而帶動旋轉(zhuǎn)臺4轉(zhuǎn)動,比如旋轉(zhuǎn)臺4與電機之間通過帶輪傳動機構(gòu)或鏈輪傳動機構(gòu)相連接,此時旋轉(zhuǎn)臺4具有插裝在爐體1的轉(zhuǎn)動軸,旋轉(zhuǎn)臺4直接通過皮帶與電機的電機軸相連接,通過皮帶傳遞電機的動力,或者在旋轉(zhuǎn)臺側(cè)面設(shè)置從動齒輪,電機的電機軸上套裝有主動齒輪,主動齒輪與從動齒輪之間通過鏈輪相連接,帶動旋轉(zhuǎn)臺4繞轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動。
本實施例中,旋轉(zhuǎn)臺4的轉(zhuǎn)動速度還可以通過調(diào)整電機的轉(zhuǎn)速來進(jìn)行調(diào)整,更好的保證硅片的鍍膜均勻性。
作為本實施例的變換,噴氣口2的數(shù)量也可以為2~10之間取值,爐體1也可以采用截面為四邊形或五邊形或六邊形的立方體,石墨舟3也可以采用圓柱體或截面為四邊形或五邊形或六邊形的立方體。
本實用新型的上述實施例并不是對本實用新型保護(hù)范圍的限定,本實用新型的實施方式不限于此,凡此種種根據(jù)本實用新型的上述內(nèi)容,按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識和慣用手段,在不脫離本實用新型上述基本技術(shù)思想前提下,對本實用新型上述結(jié)構(gòu)做出的其它多種形式的修改、替換或變更,均應(yīng)落在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。