本實(shí)用新型涉及太陽電池片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域中的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的防滴液刻蝕槽蓋結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

太陽能電池片制造經(jīng)過擴(kuò)散形成PN結(jié)后，需要通過刻蝕工序腐蝕硅片側(cè)面邊緣，防止邊緣導(dǎo)通漏電。

現(xiàn)在擴(kuò)散技術(shù)有管式和鏈?zhǔn)絻煞N，其中鏈?zhǔn)綌U(kuò)散對(duì)比管式擴(kuò)散，即使去除硅片表面的PSG(磷硅玻璃)，PN結(jié)表面仍然有一層富磷層。鏈?zhǔn)綌U(kuò)散形的PN結(jié)一般不能直接用于太陽能電池，需要利用刻蝕步驟進(jìn)行方阻提升和邊緣隔離，匹配現(xiàn)在的行業(yè)內(nèi)普遍使用的高方阻工藝。

刻蝕槽揮發(fā)出的氣體對(duì)沒有水膜等保護(hù)的PN結(jié)表面有氧化作用，只有經(jīng)過氧化才能對(duì)鏈?zhǔn)綌U(kuò)散后的硅片繼續(xù)進(jìn)行方阻提升工序，可是如果沒有水膜的保護(hù)，在空氣濕度較大的情況下，刻蝕槽蓋板上很容易形成水滴，水滴滴落在硅片表面，再吸收槽內(nèi)的HF/HNO3混合氣氛就會(huì)腐蝕PN結(jié)，導(dǎo)致EL下黑斑，電性能降低。

現(xiàn)有的防滴液技術(shù)有用防酸海綿吸收酸液、紅外燈加熱蓋板燈方式，可是這些方式都需要使用耗材，并且有落入槽體的風(fēng)險(xiǎn)。

因此，亟待解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

實(shí)用新型目的：本實(shí)用新型的目的是提供一種防止刻蝕滴液且滴液可自動(dòng)收集并排出槽體外的匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的防滴液刻蝕槽蓋結(jié)構(gòu)。

技術(shù)方案：為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型所述的一種匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的防滴液刻蝕槽蓋結(jié)構(gòu)，包括由位于頂面的波紋板和位于四面的側(cè)板組成的用于封閉槽體的單面開口槽蓋，所述波紋板的波谷內(nèi)壁下方設(shè)有用于收集滴液的凹槽板，在所述側(cè)板靠近槽蓋開口處設(shè)有回字形儲(chǔ)液槽，該回字形儲(chǔ)液槽上連接有與外部污水處理設(shè)備相連通的排液管。該槽蓋結(jié)構(gòu)取消了現(xiàn)有技術(shù)中采用海綿等耗材吸收滴液的方式，采用波紋板和凹槽板相結(jié)合的設(shè)計(jì)有效收集滴液，收集到的滴液從凹槽板上溢出順著槽壁流入回字形儲(chǔ)液槽中，再經(jīng)由排液管排出槽體外，避免滴液滴落在槽體內(nèi)的硅片上，同時(shí)也可避免耗材掉落至槽體引起的電性能降低。

其中，所述波紋板的波紋截面形狀為三角型。截面形狀為三角型的波紋板的板片斜度以及波谷位置更利用滴液的流下，防止滴液在蓋板上凝聚直接滴落在槽體內(nèi)的硅片上。

優(yōu)選的，所述凹槽板的兩端與側(cè)板相連接，凹槽板的上表面開設(shè)有用于容納滴液的槽口，在靠近槽壁處的凹槽板下方開設(shè)有引流孔。

進(jìn)一步，所述凹槽板的槽口截面形狀為三角型。該凹槽板可將收集到的液滴向兩側(cè)槽壁分流成小股液滴流從引流孔流出，順著兩側(cè)槽壁順流而下，流入回字形儲(chǔ)液槽。

再者，所述槽蓋的一對(duì)開口側(cè)邊向兩側(cè)延伸形成翼板。

優(yōu)選的，所述至少一個(gè)翼板上設(shè)有用于搬動(dòng)槽蓋離開槽體的把手。

有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：首先該槽蓋結(jié)構(gòu)取消了現(xiàn)有技術(shù)中采用海綿等耗材吸收滴液的方式，采用波紋板和凹槽板相結(jié)合的設(shè)計(jì)有效收集滴液，收集到的滴液從凹槽板上溢出順著槽壁流入回字形儲(chǔ)液槽中，再經(jīng)由排液管排出槽體外，避免滴液滴落在槽體內(nèi)的硅片上，同時(shí)也可避免耗材掉落至槽體引起的電性能降低；其次截面形狀為三角型的波紋板的板片斜度以及波谷位置更利用滴液的流下，防止滴液在蓋板上凝聚直接滴落在槽體內(nèi)的硅片上；還有該凹槽板可將收集到的液滴向兩側(cè)槽壁分流成小股液滴流從引流孔流出，順著兩側(cè)槽壁順流而下，流入回字形儲(chǔ)液槽；最后該槽蓋結(jié)構(gòu)與原機(jī)臺(tái)兼容性高，更換簡(jiǎn)易、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，更耐用。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中去除波紋板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型中凹槽板的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步說明。

如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的防滴液刻蝕槽蓋結(jié)構(gòu)，槽蓋3、凹槽板4和回字形儲(chǔ)液槽5。上述槽蓋3是由位于頂面的波紋板1和位于四面的側(cè)板2組成的用于封閉槽體的單面開口槽蓋3，且上述波紋板1的波谷內(nèi)壁下方設(shè)有用于收集滴液的凹槽板4，在側(cè)板2靠近槽蓋3開口處設(shè)有回字形儲(chǔ)液槽5，該回字形儲(chǔ)液槽5上連接有與外部污水處理設(shè)備相連通的排液管6。該槽蓋結(jié)構(gòu)取消了現(xiàn)有技術(shù)中采用海綿等耗材吸收滴液的方式，采用波紋板和凹槽板相結(jié)合的設(shè)計(jì)有效收集滴液，收集到的滴液從凹槽板上溢出順著槽壁流入回字形儲(chǔ)液槽中，再經(jīng)由排液管排出槽體外，避免滴液滴落在槽體內(nèi)的硅片上，同時(shí)也可避免耗材掉落至槽體引起的電性能降低。

如圖3所示，上述凹槽板4的兩端與側(cè)板2相連接，凹槽板4的上表面開設(shè)有用于容納滴液的槽口7，在靠近槽壁處的凹槽板4下方開設(shè)有引流孔8。其中凹槽板4的槽口截面形狀為三角型，該凹槽板可將收集到的液滴向兩側(cè)槽壁分流成小股液滴流從引流孔流出，順著兩側(cè)槽壁順流而下，流入回字形儲(chǔ)液槽。

上述波紋板1的波紋截面形狀為三角型。截面形狀為三角型的波紋板的板片斜度以及波谷位置更利用滴液的流下，防止滴液在蓋板上凝聚直接滴落在槽體內(nèi)的硅片上。

本實(shí)用新型中槽蓋3的一對(duì)開口側(cè)邊向兩側(cè)延伸形成翼板9，至少一個(gè)翼板9上設(shè)有用于搬動(dòng)槽蓋3離開槽體的把手10。

該槽蓋結(jié)構(gòu)與原機(jī)臺(tái)兼容性高，更換簡(jiǎn)易、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，更耐用。