技術(shù)編號：12880579
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及太陽電池片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域中的刻蝕槽的槽蓋結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種匹配鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的防滴液刻蝕槽蓋結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)太陽能電池片制造經(jīng)過擴(kuò)散形成PN結(jié)后，需要通過刻蝕工序腐蝕硅片側(cè)面邊緣，防止邊緣導(dǎo)通漏電。現(xiàn)在擴(kuò)散技術(shù)有管式和鏈?zhǔn)絻煞N，其中鏈?zhǔn)綌U(kuò)散對比管式擴(kuò)散，即使去除硅片表面的PSG(磷硅玻璃)，PN結(jié)表面仍然有一層富磷層。鏈?zhǔn)綌U(kuò)散形的PN結(jié)一般不能直接用于太陽能電池，需要利用刻蝕步驟進(jìn)行方阻提升和邊緣隔離，匹配現(xiàn)在的行業(yè)內(nèi)普遍使用的高方阻工藝?？涛g槽揮發(fā)出的氣體對沒有水膜等保護(hù)的PN結(jié)表面有氧化...
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