技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于射頻放電的正負(fù)離子源，包括管體，管體中部連通有進(jìn)氣管；管體上纏繞有放電線圈，放電線圈依次與匹配網(wǎng)絡(luò)和射頻電源電連接；管體的一端與第一蓋板密封連接，第一蓋板通過絕緣介質(zhì)連接有正離子引出柵極；正離子引出柵極與直流電源的負(fù)極電連接；管體的另一端與第二蓋板密封連接，第二蓋板通過側(cè)壁與第三蓋板密封連接，第三蓋板通過絕緣介質(zhì)連接有負(fù)離子引出柵極；負(fù)離子引出柵極與直流電源的正極電連接。本發(fā)明可以使正離子與電子及負(fù)離子可以被同時分別引出，解決了背板濺射出的粒子污染離子源及背板發(fā)熱嚴(yán)重的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：高飛;王友年
受保護(hù)的技術(shù)使用者：大連理工大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.11
技術(shù)公布日：2017.11.07