技術編號：12888796
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及離子源發(fā)生設備技術領域，特別是涉及一種基于射頻放電的正負離子源。背景技術離子源的應用非常廣泛，如固體表面注入、微細加工、材料的表面改性、中性束注入等方面都有著很好的應用，而且在許多基礎研究領域如原子物理、等離子體化學、核物理、材料改性等研究中，離子源都是不可缺少的設備。離子源中引出的離子束已經(jīng)成為高能物理、微電子、光電子、冶金、航空航天、醫(yī)療儀器、機械制造、核聚變加熱等領域中不可缺少的加工工藝和制造途徑。對于傳統(tǒng)的離子源發(fā)生設備而言，單純的正離子源或者負離子源引出時，會遇到相反帶電粒子...
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