技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本文所述的實施方式提供一種熱處理設(shè)備，該熱處理設(shè)備具有熱源以及旋轉(zhuǎn)基板支座，該旋轉(zhuǎn)基板支座與該熱源相對，該旋轉(zhuǎn)基板支座包括支撐構(gòu)件，該支撐構(gòu)件具有光阻擋構(gòu)件。光阻擋構(gòu)件可以是封裝的部件，或可移動式設(shè)置在支撐構(gòu)件內(nèi)側(cè)。光阻擋構(gòu)件可以是不透明及/或反射性，且可為耐火金屬。

技術(shù)研發(fā)人員：約瑟夫·M·拉內(nèi)什
受保護的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：2014.08.27
技術(shù)公布日：2017.11.10