專利名稱：防滴漏型光阻瓶的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種液劑容器，尤其涉及一種通過外界施壓控制瓶內(nèi)液劑 出液流量的光阻瓶。
背景技術：
隨著集成電路技術的飛速進步，集成度在不斷提高，芯片面積在不斷 縮小，由此對集成電路制造工藝也提出了更高的要求。經(jīng)歷了數(shù)十年反復
的研究、實踐、改進、再實踐，如今的IC制程技術已經(jīng)達到了一個較為成 熟的水平。"蝕刻"作為當前IC制程的一個重要環(huán)節(jié)對于集成電路的集成
度提高正起著越來越重要的作用。在這個過程中，光阻是這道工序必不可 少的制備材料，通過光阻的覆蓋、曝光、顯影及去除完成蝕刻進而為后續(xù) 工序提供可能。
現(xiàn)行比較通用的光阻瓶是液劑瓶附套一個功能型瓶蓋，瓶蓋上安裝進
氣管、出液管，進氣管向瓶內(nèi)施壓，液劑從出液管輸出，從而為IC制程的
蝕刻工序提供流量可控的腐蝕性光阻液劑。但是這種傳統(tǒng)的光阻瓶在更換 或補充光阻時，出液管里面的殘余光阻受重力作用會滴到高架地板上面， 對工作環(huán)境造成破壞。且光阻具有腐蝕性，工作環(huán)境一旦被污染，后續(xù)清 潔將很麻煩。
發(fā)明內(nèi)容
針對上述情況，本發(fā)明提供了一種可以防止滴漏的光阻瓶，其目的是 在維持原功能的前提下，更換瓶蓋時腐蝕性光阻不再滴漏，保持工作環(huán)境 清潔。
本發(fā)明的技術解決方案是防滴漏型光阻瓶，用于集成電路制造工藝，為蝕刻過程提供流量可控的腐蝕性光阻液劑，其結構包括瓶體、瓶蓋、進 氣管和出液管，瓶體與瓶蓋之間為螺紋連接，進氣管和出液管經(jīng)由瓶蓋與 瓶體內(nèi)部通連，其特征在于所述瓶蓋與瓶體之間設有一段可伸縮軟管， 該可伸縮軟管的上下兩端分別抵在瓶蓋內(nèi)表面以及瓶體的瓶口上面，當瓶 蓋安裝于瓶體上面時，瓶口和瓶蓋從兩側擠壓可伸縮軟管，使軟管收縮； 同時，所述出液管分為上下兩段，下段為吸液段、上段為出液段，吸液段 的下端插入瓶體底部，工作時浸入光阻液劑的內(nèi)部，出液段的上端處于瓶 體之外，并與光阻液劑的輸出管線連接，而出液段的下端以及吸液段的上 端，則分別與所述可伸縮軟管的上下兩端連接，連接之后三者內(nèi)部空間相 互通連，構成中途密閉的吸液和出液通路。
這樣，本發(fā)明通過在瓶蓋和瓶體內(nèi)部增設一段抗腐蝕、具備一定張力 的、可以伸長縮短的軟管，并把原出液管分成吸液段和出液段兩部分，這 兩段分別與可伸縮軟管連通并與外界密閉，在擰松瓶蓋時軟管伸長形成低 壓腔體，殘留于吸液管內(nèi)的光阻被吸入到軟管內(nèi)，不再會滴到光阻瓶之外； 當擰緊瓶蓋時，軟管受到擠壓而縮短，軟管內(nèi)的光阻排回瓶體，照樣可以 正常使用。因此，本發(fā)明技術方案在維持光阻瓶正常使用功能的前提下， 很好地解決了現(xiàn)在技術存在的問題，確保工作環(huán)境清潔。
圖1是本發(fā)明中防滴漏型光阻瓶蓋的結構示意圖2是本發(fā)明中防滴漏型光阻瓶蓋的結構俯視示意圖3是本發(fā)明所對照的先有瓶蓋結構示意圖4是本發(fā)明中防滴漏型光阻瓶蓋從瓶口旋松時的狀態(tài)示意圖5是本發(fā)明中防滴漏型光阻瓶蓋從瓶口旋緊時的狀態(tài)示意圖。
以上各圖當中的附圖標記的含義是
1—瓶體，2—瓶蓋，3—瓶口；
21—進氣管，22—出液管，23—吸液管，24—螺紋軟管，25—連接螺紋，26—進壓孔，27—出液管孔，28—蓋體徑向內(nèi)壁，29—瓶蓋的徑向圓 心，30—先前設計的出液管，31—瓶口邊緣；
231 —出液孔，241—軟管腔，242—軟管底部，243—軟管的徑向圓心;
A—N2氣體，B—光阻。
具體實施例方式
以下將參照附圖更全面地描述本發(fā)明的技術方案。其中示意了本發(fā)明 的典型實施例，但是本發(fā)明可以以多種方式來實施，并不僅僅局限于這里 所提出的實施例。相反，提供這些實施例可使本發(fā)明技術方案公開得更徹 底、更全面，并且將充分地向本領域技術人員傳達本發(fā)明的保護范圍。
如圖1和圖2所示，是本發(fā)明防滴漏型光阻瓶的結構示意圖及俯視示 意圖。該防滴漏型光阻瓶包括瓶體l、瓶蓋2、進氣管21、出液管22、吸 液管23及螺紋軟管24等部分組成，其中進氣管21穿過瓶蓋2上的進壓孔 26與瓶蓋2銜接；出液管22穿過瓶蓋2上的出液管孔27與螺紋軟管24 相接通；吸液管23頂部穿透螺紋軟管底部242進入軟管腔241內(nèi)，與瓶蓋 2的徑向內(nèi)壁28緊密連結，上述接縫處及連結處均須用粘結齊鵬合密封。 另外，在靠近吸液管23頂部的側向設有一出液孔231，以供更換瓶蓋時， 吸液管23內(nèi)的光阻可以籍此通過進入螺紋軟管腔241內(nèi)。同時，上述的螺 紋軟管采用具備一定張力且可伸長縮短，且具有一定抗腐蝕性的材料制造， 無外界受壓的情況下，軟管為伸長狀態(tài)。
特別地，如圖2所示，該防滴漏型光阻瓶蓋內(nèi)的螺紋軟管24，其徑向 圓心243較瓶蓋的徑向圓心29有一定偏差，偏差度滿足當瓶蓋2與瓶體1 的瓶口 3接合時，瓶口邊緣31可以擠壓軟管底部242，使螺紋軟管24收縮 變短。并且，在螺紋軟管24所圈定的徑向范圍內(nèi)，完整包含有出液管22 及吸液管23，使得出液管22與吸液管23得以通過螺紋軟管24形成連通。 另外可以顯見，進壓 L 26是完全游離于螺紋軟管24的徑向范圍之外的， 即進壓管21不向螺紋軟管24直接施壓。如圖4所示，是本發(fā)明中防滴漏型光阻瓶蓋從瓶口旋松時的狀態(tài)示意 圖。對照圖3，可以非常明顯地看出，本發(fā)明對于光阻瓶蓋2的創(chuàng)造性改進， 并且將先前設計的出液管30分成吸液管23與出液管22兩部分。當更換瓶 蓋時，瓶蓋2通過連接螺紋25的導向作用被從瓶口 3擰下。在瓶蓋2上升 的過程中，由于螺紋軟管本身的張力，軟管開始伸長，形成一個低壓腔體， 由此使得吸液管23內(nèi)殘余的光阻在壓差的作用下通過出液 L231被吸入到 軟管腔241內(nèi)，從而避免了重力作用下的光阻滴漏在高架地板上污染環(huán)境。
如圖5所示，是本發(fā)明瓶蓋處于旋緊時的狀態(tài)示意圖。當瓶蓋2通過 連接螺紋25的導向作用向瓶口3擰緊時，隨著瓶蓋2的下降過程，螺紋軟 管底部242在與瓶口邊緣31接觸后壓力逐漸變大，從而軟管被擠壓縮短， 腔體內(nèi)壓強隨之增大，由此使得軟管腔241內(nèi)的光阻通過出液孔231又被 排回吸液管23或瓶體l內(nèi)。
綜上所述，本發(fā)明防滴漏型光阻瓶可以為IC制程的蝕亥U工序提供流量 可控的腐蝕性光阻液劑，且可有效防止更換瓶蓋時光阻外滴，避免對環(huán)境 造成污染危害。該方案易實施，具有良好的應用前景。
權利要求
1.防滴漏型光阻瓶，用于集成電路制造工藝，為蝕刻過程提供流量可控的腐蝕性光阻液劑，其結構包括瓶體、瓶蓋、進氣管和出液管，瓶體與瓶蓋之間為螺紋連接，進氣管和出液管經(jīng)由瓶蓋與瓶體內(nèi)部通連，其特征在于所述瓶蓋與瓶體之間設有一段可伸縮軟管，該可伸縮軟管的上下兩端分別抵在瓶蓋內(nèi)表面以及瓶體的瓶口上面，當瓶蓋安裝于瓶體上面時，瓶口和瓶蓋從兩側擠壓可伸縮軟管，使軟管收縮；同時，所述出液管分為上下兩段，下段為吸液段、上段為出液段，吸液段的下端插入瓶體底部，工作時浸入光阻液劑的內(nèi)部，出液段的上端處于瓶體之外，并與光阻液劑的輸出管線連接，而出液段的下端以及吸液段的上端，則分別與所述可伸縮軟管的上下兩端連接，連接之后三者內(nèi)部空間相互通連，構成中途密閉的吸液和出液通路。
2. 根據(jù)權利要求1所述的防滴漏型光阻瓶，其特征在于所述出液管 的吸液段的上末端密封，出液孔開在側面管壁上。
3. 根據(jù)權利要求1或2所述的防滴漏型光阻瓶，其特征在于所述可 伸縮軟管為螺紋軟管。
4. 根據(jù)權利要求1所述的防滴漏型光阻瓶，其特征在于所述進氣管 和出液管與瓶蓋的銜接部位采用粘結劑膠合密封。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種可防滴漏型光阻瓶，用于集成電路制造工藝，為蝕刻過程提供流量可控的腐蝕性光阻液劑。其結構包括瓶體、瓶蓋、進氣管和出液管，瓶體與瓶蓋之間為螺紋連接，進氣管和出液管經(jīng)由瓶蓋與瓶體內(nèi)部通連，其特點是瓶蓋與瓶體之間設有一段可伸縮軟管，同時出液管分為吸液段和出液段，它們分別與可伸縮軟管的上下兩端連接，連接之后三者內(nèi)部空間相互通連，構成中途密閉的吸液和出液通路。本發(fā)明可有效防止操作過程中光阻滴到瓶外，解決了工作環(huán)境易被污染難以清潔的難題。
文檔編號H01L21/027GK101315519SQ200710023418
公開日2008年12月3日 申請日期2007年6月1日 優(yōu)先權日2007年6月1日
發(fā)明者偉 薛 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司