本發(fā)明屬于太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種適用于多晶太陽(yáng)電池三層減反射膜的鍍膜工藝。

背景技術(shù)：

太陽(yáng)能電池是一種將太陽(yáng)光能轉(zhuǎn)化為電能的半永久性物理電池，隨著化石能源的極度消耗，產(chǎn)生的能源枯竭以及日益嚴(yán)重的溫室效應(yīng)，人類對(duì)新型清潔能源的需求變得越來(lái)越迫切。在氣候條件變化和自然能源短缺的情況下，光伏發(fā)電越來(lái)越受到各個(gè)國(guó)家的重視，在現(xiàn)階段，無(wú)論是電池的理論研究還是實(shí)驗(yàn)研發(fā)的電池性能，都取得了很大的進(jìn)展，電池性能提高到了難以想象的水平。實(shí)驗(yàn)室中的單晶硅和多晶硅的轉(zhuǎn)換效率分別達(dá)到了25％和20.5％，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了過(guò)去認(rèn)為的20％，在不產(chǎn)生新的污染的同時(shí)，成本的降低使太陽(yáng)能電池得到了更為廣泛的應(yīng)用，目前已經(jīng)達(dá)到了大規(guī)模的產(chǎn)業(yè)化水平。隨著市場(chǎng)行情的變化和美歐一些國(guó)家的高標(biāo)準(zhǔn)高要求，使得近期整個(gè)光伏行業(yè)對(duì)這一領(lǐng)域正在進(jìn)行著深入的研究和探討，為了滿足市場(chǎng)日益嚴(yán)峻的高標(biāo)準(zhǔn)高質(zhì)量要求，全球光伏行業(yè)正在進(jìn)行著物美價(jià)廉的質(zhì)量軍備競(jìng)賽，這就對(duì)光伏技術(shù)提出了更高的要求和創(chuàng)新的思路。

經(jīng)檢索，如中國(guó)專利文獻(xiàn)公開(kāi)了一種晶體硅太陽(yáng)能電池片減反射膜制備工藝【申請(qǐng)?zhí)枺?01110241595.6；公開(kāi)號(hào)：cn102306680b】。這種晶體硅太陽(yáng)能電池片減反射膜制備工藝，包括化學(xué)清洗及表面織構(gòu)、擴(kuò)散、周邊刻蝕、沉積減反射膜、絲網(wǎng)印刷電極和燒結(jié)幾個(gè)步驟，其特征是：所述沉積減反射膜步驟具有三步工序，1、表面氫鈍化，工藝時(shí)間為180秒；2、制作附氮膜：同時(shí)通入氨氣硅烷，所述制作附氮膜時(shí)硅烷氨氣比為1：10，形成25-28納米附氮的氮化硅薄膜，工藝時(shí)間為400秒；3、制作附硅膜：同時(shí)通入氨氣硅烷，所述通入氨氣硅烷時(shí)，硅烷氨氣比為1：5，形成55-58納米附硅的氮化硅膜，工藝時(shí)間為500秒；pecvd采用管式，射頻發(fā)生器采用脈沖方式，頻率為40khz，溫度為400-460℃，壓強(qiáng)為160pa-200pa。

該專利中公開(kāi)的制備工藝雖然可實(shí)現(xiàn)減反射膜的制作，但是，該制備工藝比較復(fù)雜，耗電量大，制備的成本比較高，并且單層氮化硅減反射膜硅太陽(yáng)能電池的反射率還是很高，返工率也較高，因此，設(shè)計(jì)出一種適用于多晶太陽(yáng)電池三層減反射膜的鍍膜工藝是很有必要的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問(wèn)題，提出了一種適用于多晶太陽(yáng)電池三層減反射膜的鍍膜工藝，該鍍膜工藝具有產(chǎn)品性能高的特點(diǎn)。

本發(fā)明的目的可通過(guò)下列技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：適用于多晶太陽(yáng)電池三層減反射膜的鍍膜工藝，其特征在于，包括如下步驟：

a、對(duì)晶體硅片進(jìn)行清洗制絨、擴(kuò)散和刻蝕，通過(guò)臭氧發(fā)生裝置在晶體硅片表面生成一層1-2nm的sio2氧化膜；

b、將步驟a中完成的晶體硅片通過(guò)裝卸片系統(tǒng)裝到石墨舟上，將其放入管式pecvd進(jìn)行預(yù)沉積和清洗，通過(guò)nh3電離的h+轟擊硅片對(duì)其表面進(jìn)行清洗；

c、將步驟b中完成的晶體硅片用管式pecvd沉積，得到第一層折射率為2.35-2.50的高折射率氮化硅減反射膜，其中，pecvd參數(shù)設(shè)置為：氨氣流量4.0-4.5slm，硅烷流量1050-1150sccm，壓強(qiáng)1650-1750mtor，射頻功率6500-7500wart，占空比50：500ms，鍍膜時(shí)間100-120s；

d、將步驟c中完成的晶體硅片用管式pecvd再次沉積，得到第二層折射率為2.08-2.13的中折射率氮化硅減反射膜，其中，pecvd參數(shù)設(shè)置為：氨氣流量4.5-5.0slm，硅烷流量950-1050sccm，壓強(qiáng)1650-1750mtor，射頻功率7000-8000wart，占空比50：500ms，鍍膜時(shí)間150-180s；

e、將步驟d中完成的晶體硅片用管式pecvd再次沉積，得到第三層折射率為1.98-2.03的低折射率氮化硅減反射膜，其中，pecvd參數(shù)設(shè)置為：氨氣流量5.0-6.0slm，硅烷流量750-850sccm，壓強(qiáng)1650-1750mtor，射頻功率8000-9000wart，占空比50：500ms，鍍膜時(shí)間280-330s；

f、通過(guò)裝卸片系統(tǒng)對(duì)石墨舟的晶體硅片進(jìn)行冷卻，并將其取下。

采用以上工藝，通過(guò)管式pecvd沉積高中低折射率組成的三層二氧化硅減反射膜，較常規(guī)折射率在2.02—2.08的低折射率減反射膜而言，在既能滿足電池的轉(zhuǎn)換效率不受影響的同時(shí)又能達(dá)到組件抗pid的效果以及保證了電池片的可靠性，更可以使得鍍膜顏色變得更加均勻，有效的減少和降低了返工率；還可以在不影響電池性能及組件制作工藝和系統(tǒng)架構(gòu)工藝的情況下，有效的改善光伏系統(tǒng)的衰減趨勢(shì)，延長(zhǎng)組件的壽命；與傳統(tǒng)高折射率減反射膜工藝相比，成品轉(zhuǎn)換率提升0.05％以上，成品開(kāi)路電壓提升0.5mv，短路電流提升15ma左右；即使是在雙85(溫度85度，相對(duì)濕度85％)測(cè)試條件下進(jìn)行抗pid測(cè)試，其組件衰減功率也得到了大幅度的下降，僅為0.7％—0.9％，延長(zhǎng)了組件的使用壽命，產(chǎn)品性能高。

所述步驟b和f中的裝卸片系統(tǒng)包括機(jī)架，機(jī)架中部設(shè)置有安裝板，安裝板與一能帶動(dòng)其上下移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)相連，安裝板上固定有能使石墨舟傾斜放置的放置板，機(jī)架上部依次設(shè)置有供料裝置和取放裝置。

裝卸片系統(tǒng)的工作原理如下：將石墨舟傾斜放在放置板上，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)安裝板上下移動(dòng)，安裝板帶動(dòng)放置板上下移動(dòng)，放置板帶動(dòng)石墨舟上下移動(dòng)，使其位于所需位置，通過(guò)供料裝置提供硅片，通過(guò)取放裝置將硅片裝入石墨舟中，操作方便。

所述升降機(jī)構(gòu)包括支架、導(dǎo)軌、滑塊、齒條、齒輪和伺服電機(jī)，支架固定在機(jī)架中部，導(dǎo)軌豎直固定在支架上，滑塊設(shè)置在導(dǎo)軌上，滑塊上螺紋連接有螺桿，螺桿一端能與導(dǎo)軌相抵靠，螺桿另一端和手輪相連，齒條豎直固定在支架上，伺服電機(jī)固定在滑塊上，伺服電機(jī)的輸出軸水平設(shè)置，齒輪固定在伺服電機(jī)的輸出軸端部，且齒輪與齒條相嚙合，安裝板固定在滑塊上；導(dǎo)軌上還具有刻度線。

當(dāng)需要調(diào)節(jié)放置板的位置時(shí)，控制伺服電機(jī)的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)，伺服電機(jī)的輸出軸帶動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪與齒條逐漸嚙合使滑塊沿著導(dǎo)軌上下移動(dòng)，滑塊帶動(dòng)安裝板上下移動(dòng)，安裝板帶動(dòng)放置板上下移動(dòng)，使其移動(dòng)到所需位置，轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿將滑塊固定在導(dǎo)軌上，從而可調(diào)節(jié)放置板的位置。

所述供料裝置包括安裝架、轉(zhuǎn)動(dòng)軸和轉(zhuǎn)盤(pán)，安裝架固定在機(jī)架上部，轉(zhuǎn)動(dòng)軸水平設(shè)置在安裝架上，轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端與一能帶動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力機(jī)構(gòu)相連，轉(zhuǎn)動(dòng)軸另一端和轉(zhuǎn)盤(pán)相連，轉(zhuǎn)盤(pán)上固定有若干定位板，定位板上通過(guò)可拆卸結(jié)構(gòu)設(shè)置有用于儲(chǔ)存硅片的儲(chǔ)料件，儲(chǔ)料件包括基板、左側(cè)板和右側(cè)板，左側(cè)板固定在基板上，右側(cè)板通過(guò)連桿固定在左側(cè)板上，左側(cè)板與右側(cè)板之間水平設(shè)置有若干轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸一端和左側(cè)板上部相連，轉(zhuǎn)軸另一端和右側(cè)板上部相連，轉(zhuǎn)軸中部和分隔片上部相連，分隔片下部為活動(dòng)端，相鄰兩活動(dòng)端之間通過(guò)彈性的連接條相連，相鄰兩分隔片之間形成用于儲(chǔ)存硅片的儲(chǔ)存部；基板上設(shè)置有能使活動(dòng)端展開(kāi)的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括第一氣囊、第二氣囊、輸氣管和第一氣泵，第一氣囊固定在分隔片上端，且分隔片上端的兩側(cè)均分布有第一氣囊，第二氣囊固定在分隔片下端，且分隔片下端的兩側(cè)均分布有第二氣囊，第一氣囊的容積小于第二氣囊的容積，第一氣囊和第二氣囊均能與硅片相接觸，輸氣管一端和第一氣囊相連通，輸氣管另一端和第二氣囊相連通，輸氣管中部通過(guò)連管和第一氣泵相連通；基板上還設(shè)有限位結(jié)構(gòu)，限位結(jié)構(gòu)包括安裝塊、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、連接繩、彈簧和限位板，安裝塊固定在基板下部，彈簧一端和安裝塊相連，彈簧另一端和限位板相連，且限位板能與最外側(cè)的分隔片相抵靠，驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定在安裝塊上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸水平設(shè)置，連接繩一端和驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸端部相連，連接繩另一端和限位板相連。

當(dāng)需要提供硅片時(shí)，將儲(chǔ)料件通過(guò)可拆卸結(jié)構(gòu)固定在定位板上，開(kāi)啟第一氣泵，通過(guò)輸氣管將空氣輸送到第一氣囊和第二氣囊中，通過(guò)第一氣囊和第二氣囊的變形驅(qū)動(dòng)活動(dòng)端展開(kāi)，使分隔片展開(kāi)形成弧形，且第一氣囊和第二氣囊將硅片夾住，通過(guò)動(dòng)力機(jī)構(gòu)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤(pán)帶動(dòng)定位板轉(zhuǎn)動(dòng)，定位板帶動(dòng)儲(chǔ)料件轉(zhuǎn)動(dòng)到所需位置，將硅片從儲(chǔ)料件中的儲(chǔ)存部取出，由于對(duì)分隔片進(jìn)行了展開(kāi)，可方便將硅片取出，同時(shí)，也方便對(duì)硅片進(jìn)行檢查。

當(dāng)分隔片收攏時(shí)，通過(guò)彈簧的彈力使限位板和最外側(cè)的分隔片將抵靠；當(dāng)分隔片展開(kāi)時(shí)，控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸使連接繩變短，連接繩使限位板失效。

所述安裝架上還設(shè)置推送機(jī)構(gòu)，推送機(jī)構(gòu)包括推桿電機(jī)和推塊，推桿電機(jī)固定在安裝架上，推桿電機(jī)的推桿傾斜向下，推塊固定在推桿電機(jī)的推桿端部，推塊能伸入到儲(chǔ)存部中。

當(dāng)需要將儲(chǔ)料部中的硅片推送出時(shí)，控制推桿電機(jī)的推桿上下移動(dòng)，推桿電機(jī)的推桿帶動(dòng)推塊上下移動(dòng)，推塊將儲(chǔ)存部中的硅片推送出。

所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括步進(jìn)電機(jī)、主動(dòng)輪、從動(dòng)輪和皮帶，步進(jìn)電機(jī)固定在安裝架上，步進(jìn)電機(jī)的輸出軸水平設(shè)置，主動(dòng)輪固定在步進(jìn)電機(jī)的輸出軸端部，從動(dòng)輪固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端，皮帶套設(shè)在主動(dòng)輪與從動(dòng)輪之間。

當(dāng)需要使轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，控制步進(jìn)電機(jī)的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)，步進(jìn)電機(jī)的輸出軸帶動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)輪通過(guò)皮帶帶動(dòng)從動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，從動(dòng)輪帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可使轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

作為另一種情況，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括步進(jìn)電機(jī)和減速器，步進(jìn)電機(jī)固定在安裝架上，步進(jìn)電機(jī)的輸出軸水平設(shè)置，步進(jìn)電機(jī)的輸出軸和減速器的輸入端相連，減速器的輸出端和轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端相連。

當(dāng)需要使轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，控制步進(jìn)電機(jī)的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)，步進(jìn)電機(jī)的輸出軸帶動(dòng)減速器的輸入端轉(zhuǎn)動(dòng)，減速器的輸出端帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可使轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

所述可拆卸結(jié)構(gòu)包括鐵片和電磁鐵，定位板上開(kāi)設(shè)有定位槽，鐵片設(shè)置在定位槽內(nèi)，電磁鐵固定在基板上，且電磁鐵能與鐵片相接觸。

采用以上結(jié)構(gòu)，將基板放入定位槽中，通過(guò)電磁鐵和鐵片相接觸，從而將基板固定在定位板上。

所述取放裝置包括取放吸盤(pán)、第二氣泵、電磁閥和開(kāi)關(guān)，取放吸盤(pán)通過(guò)彈性的繩子連接在機(jī)架上部，第二氣泵固定在機(jī)架上部，第二氣泵通過(guò)連接管和取放吸盤(pán)相連通，電磁閥設(shè)置在連接管上，取放吸盤(pán)上還固定有操作桿，開(kāi)關(guān)固定在操作桿上，開(kāi)關(guān)通過(guò)線路與電磁閥相連。

當(dāng)需要對(duì)硅片進(jìn)行取放時(shí)，通過(guò)操作桿帶動(dòng)取放吸盤(pán)上下移動(dòng)，取放吸盤(pán)將儲(chǔ)存部中的硅片取下，并將硅片放入到石墨舟中，取放方便。

所述機(jī)架下部還固定有底板，底板上設(shè)置有能對(duì)石墨舟進(jìn)行冷卻的冷卻裝置，冷卻裝置包括冷卻箱、輸送帶和風(fēng)機(jī)，冷卻箱通過(guò)連接架固定在底座上，冷卻箱一端具有輸入口，冷卻箱另一端具有輸出口，冷卻箱上部和排氣管一端相連通，排氣管另一端能與外界相連通，輸送帶設(shè)置在連接架上，且輸送帶從輸入口穿入并從輸出口穿出，風(fēng)機(jī)通過(guò)連接桿固定在冷卻箱內(nèi)，風(fēng)機(jī)位于輸送帶下方，風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口朝上。

當(dāng)需要對(duì)石墨舟進(jìn)行冷卻時(shí)，通過(guò)輸送帶將石墨舟輸送到冷卻箱中，通過(guò)風(fēng)機(jī)對(duì)石墨舟進(jìn)行冷卻，產(chǎn)生的熱量從排氣管排到外界，冷卻效果好。

所述底板上還設(shè)置有輔助機(jī)構(gòu)，輔助機(jī)構(gòu)包括空壓機(jī)、推送板和進(jìn)氣管，冷卻箱下端開(kāi)設(shè)有導(dǎo)流口，推送板通過(guò)彈性的連接片將導(dǎo)流口封閉住，且推送板與一能帶動(dòng)其上下移動(dòng)的升降結(jié)構(gòu)相連，空壓機(jī)固定在底板上，進(jìn)氣管一端和空壓機(jī)相連通，進(jìn)氣管另一端伸入到冷卻箱內(nèi)，且進(jìn)氣管另一端朝向推送板；升降結(jié)構(gòu)包括第一氣缸和真空吸盤(pán)，第一氣缸豎直固定在底座上，第一氣缸的活塞桿豎直向上，真空吸盤(pán)固定在第一氣缸的活塞桿端部，且真空吸盤(pán)能與推送塊相接觸；冷卻箱上部還固定有第二氣缸，第二氣缸的活塞桿豎直向下，第二氣缸的活塞桿端部伸入到冷卻箱內(nèi)和升降板相連，升降板上開(kāi)設(shè)有若干通氣孔，升降板下端豎直設(shè)置有若干導(dǎo)熱桿，導(dǎo)熱桿位于輸送帶上方，且導(dǎo)熱桿能與輸送帶相抵靠。

采用以上結(jié)構(gòu)，控制第二氣缸的活塞桿向下移動(dòng)，第二氣缸的活塞桿帶動(dòng)升降板向下移動(dòng)，升降板帶動(dòng)導(dǎo)熱桿向下移動(dòng)，導(dǎo)熱桿和石墨舟接觸，對(duì)其進(jìn)行導(dǎo)熱；通過(guò)真空吸盤(pán)將推送板吸住，控制第一氣缸的活塞桿向下移動(dòng)，第一氣缸的活塞桿帶動(dòng)推送板向下移動(dòng)，通過(guò)空壓機(jī)將外界空氣從進(jìn)氣管輸送到導(dǎo)流口處，控制真空吸盤(pán)和推送板脫離，在連接片的彈力作用下，推送板將空氣快速向上推送，重復(fù)上述步驟，可使冷卻箱中的熱量快速排出，輔助效果好。

作為另一種情況，所述底板上還設(shè)置有輔助機(jī)構(gòu)，輔助機(jī)構(gòu)包括輸氣泵、封閉板和進(jìn)氣管，進(jìn)氣管一端和冷卻箱下部相連通，進(jìn)氣管另一端和輸氣泵相連通，封閉板設(shè)置在冷卻箱內(nèi)，封閉板上開(kāi)設(shè)有通氣槽，封閉板上還設(shè)置有能將通氣槽封閉住的密封彈片，密封彈片一端和封閉板相連，密封彈片另一端與一能帶動(dòng)其來(lái)回移動(dòng)的第一氣缸相連，封閉板還與一能帶動(dòng)其上下升降的第二氣缸相連。

采用以上結(jié)構(gòu)，通過(guò)第一氣缸的活塞桿帶動(dòng)密封彈片另一端移動(dòng)，使密封彈片將通氣槽封閉住，通過(guò)第二氣缸帶動(dòng)封閉板向上移動(dòng)，將冷卻箱內(nèi)的熱量向上排出，重復(fù)上述步驟，可使冷卻箱中的熱量快速排出，輔助效果好；封閉板復(fù)位時(shí)，封閉板的通氣槽為打開(kāi)狀態(tài)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本適用于多晶太陽(yáng)電池三層減反射膜的鍍膜工藝具有該優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明中通過(guò)管式pecvd沉積高中低折射率組成的三層二氧化硅減反射膜，較常規(guī)折射率在2.02—2.08的低折射率減反射膜而言，在既能滿足電池的轉(zhuǎn)換效率不受影響的同時(shí)又能達(dá)到組件抗pid的效果以及保證了電池片的可靠性，更可以使得鍍膜顏色變得更加均勻，有效的減少和降低了返工率；還可以在不影響電池性能及組件制作工藝和系統(tǒng)架構(gòu)工藝的情況下，有效的改善光伏系統(tǒng)的衰減趨勢(shì)，延長(zhǎng)組件的壽命；與傳統(tǒng)高折射率減反射膜工藝相比，成品轉(zhuǎn)換率提升0.05％以上，成品開(kāi)路電壓提升0.5mv，短路電流提升15ma左右；即使是在雙85(溫度85度，相對(duì)濕度85％)測(cè)試條件下進(jìn)行抗pid測(cè)試，其組件衰減功率也得到了大幅度的下降，僅為0.7％—0.9％，延長(zhǎng)了組件的使用壽命，產(chǎn)品性能高。

附圖說(shuō)明

圖1是裝卸片系統(tǒng)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是裝卸片系統(tǒng)中升降機(jī)構(gòu)的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是裝卸片系統(tǒng)中儲(chǔ)料件的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是裝卸片系統(tǒng)中儲(chǔ)料件的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是裝卸片系統(tǒng)中動(dòng)力機(jī)構(gòu)的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是裝卸片系統(tǒng)中動(dòng)力機(jī)構(gòu)另一實(shí)施例的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是裝卸片系統(tǒng)中取放裝置的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是裝卸片系統(tǒng)中輔助機(jī)構(gòu)的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖9是裝卸片系統(tǒng)中輔助機(jī)構(gòu)另一實(shí)施例的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1、機(jī)架；2、安裝板；3、放置板；4、轉(zhuǎn)動(dòng)軸；5、安裝架；6、定位板；6a、定位槽；7、鐵片；8、轉(zhuǎn)盤(pán)；9、推桿電機(jī)；11、推塊；12、排氣管；13、輸送帶；14、連接架；15、底板；16、冷卻箱；16a、導(dǎo)流口；17、螺桿；18、手輪；19、滑塊；21、導(dǎo)軌；22、齒條；23、伺服電機(jī)；24、齒輪；25、支架；26、基板；27、左側(cè)板；28、右側(cè)板；29、轉(zhuǎn)軸；31、限位板；32、彈簧；33、連接繩；34、安裝塊；35、驅(qū)動(dòng)電機(jī)；36、連管；37、第一氣泵；38、第一氣囊；39、輸氣管；41、分隔片；42、第二氣囊；43、步進(jìn)電機(jī)；44、皮帶；45、從動(dòng)輪；46、主動(dòng)輪；47、減速器；48、開(kāi)關(guān)；49、操作桿；51、電磁閥；52、連接管；53、第二氣泵；54、繩子；55、取放吸盤(pán)；56、空壓機(jī)；57、進(jìn)氣管；58、第二氣缸；59、升降板；61、導(dǎo)熱桿；62、風(fēng)機(jī)；63、連接片；64、推送板；65、第一氣缸；66、真空吸盤(pán)；67、輸氣泵；68、封閉板；68a、通氣槽；69、密封彈片。

具體實(shí)施方式

以下是本發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述，但本發(fā)明并不限于這些實(shí)施例。

本適用于多晶太陽(yáng)電池三層減反射膜的鍍膜工藝，包括如下步驟：

a、對(duì)晶體硅片進(jìn)行清洗制絨、擴(kuò)散和刻蝕，通過(guò)臭氧發(fā)生裝置在晶體硅片表面生成一層1-2nm的sio2氧化膜；在本實(shí)施例中，對(duì)晶體硅片進(jìn)行清洗制絨、擴(kuò)散和刻蝕，通過(guò)臭氧發(fā)生裝置在晶體硅片表面生成一層1.5nm的sio2氧化膜，可增加其抗鈉離子滲透能力,阻止離子和水汽進(jìn)入電池片內(nèi)部，對(duì)電池片的性能產(chǎn)生破壞；

b、將步驟a中完成的晶體硅片通過(guò)裝卸片系統(tǒng)裝到石墨舟上，將其放入管式pecvd進(jìn)行預(yù)沉積和清洗，通過(guò)nh3電離的h+轟擊硅片對(duì)其表面進(jìn)行清洗；可去除晶體硅片表面的臟污和手指印，避免氫離子對(duì)二氧化硅氧化層的損傷，而使得鈉離子在電勢(shì)差的作用下進(jìn)入電池片表層并向其表面遷移并富集而形成電離層，降低電池片激發(fā)活性，造成電池片功率下降；

c、將步驟b中完成的晶體硅片用管式pecvd沉積，得到第一層折射率為2.35-2.50的高折射率氮化硅減反射膜，其中，pecvd參數(shù)設(shè)置為：氨氣流量4.0-4.5slm，硅烷流量1050-1150sccm，壓強(qiáng)1650-1750mtor，射頻功率6500-7500wart，占空比50：500ms，鍍膜時(shí)間100-120s；在本實(shí)施例中，將步驟b中完成的晶體硅片用管式pecvd沉積，得到第一層折射率為2.4的高折射率氮化硅減反射膜，其中，pecvd參數(shù)設(shè)置為：氨氣流量4.2slm，硅烷流量1100sccm，壓強(qiáng)1700mtor，射頻功率7000wart，占空比50：500ms，鍍膜時(shí)間110s；

d、將步驟c中完成的晶體硅片用管式pecvd再次沉積，得到第二層折射率為2.08-2.13的中折射率氮化硅減反射膜，其中，pecvd參數(shù)設(shè)置為：氨氣流量4.5-5.0slm，硅烷流量950-1050sccm，壓強(qiáng)1650-1750mtor，射頻功率7000-8000wart，占空比50：500ms，鍍膜時(shí)間150-180s；在本實(shí)施例中，將步驟c中完成的晶體硅片用管式pecvd再次沉積，得到第二層折射率為2.11的中折射率氮化硅減反射膜，其中，pecvd參數(shù)設(shè)置為：氨氣流量4.8slm，硅烷流量1000sccm，壓強(qiáng)1700mtor，射頻功率7500wart，占空比50：500ms，鍍膜時(shí)間160s；

e、將步驟d中完成的晶體硅片用管式pecvd再次沉積，得到第三層折射率為1.98-2.03的低折射率氮化硅減反射膜，其中，pecvd參數(shù)設(shè)置為：氨氣流量5.0-6.0slm，硅烷流量750-850sccm，壓強(qiáng)1650-1750mtor，射頻功率8000-9000wart，占空比50：500ms，鍍膜時(shí)間280-330s；在本實(shí)施例中，將步驟d中完成的晶體硅片用管式pecvd再次沉積，得到第三層折射率為2.01的低折射率氮化硅減反射膜，其中，pecvd參數(shù)設(shè)置為：氨氣流量5.5slm，硅烷流量800sccm，壓強(qiáng)1700mtor，射頻功率8500wart，占空比50：500ms，鍍膜時(shí)間300s；

f、通過(guò)裝卸片系統(tǒng)對(duì)石墨舟的晶體硅片進(jìn)行冷卻，并將其取下。

下表為列出了本發(fā)明實(shí)施例的太陽(yáng)能電池片與常規(guī)太陽(yáng)能電池片的電性能數(shù)據(jù)：

下表列出了本發(fā)明實(shí)施例中的鍍膜工藝與常規(guī)鍍膜工藝的膜厚折射率數(shù)據(jù)和返工率對(duì)比數(shù)據(jù)：

采用該工藝，通過(guò)管式pecvd沉積高中低折射率組成的三層二氧化硅減反射膜，較常規(guī)折射率在2.02—2.08的低折射率減反射膜而言，在既能滿足電池的轉(zhuǎn)換效率不受影響的同時(shí)又能達(dá)到組件抗pid的效果以及保證了電池片的可靠性，更可以使得鍍膜顏色變得更加均勻，有效的減少和降低了返工率；還可以在不影響電池性能及組件制作工藝和系統(tǒng)架構(gòu)工藝的情況下，有效的改善光伏系統(tǒng)的衰減趨勢(shì)，延長(zhǎng)組件的壽命；與傳統(tǒng)高折射率減反射膜工藝相比，成品轉(zhuǎn)換率提升0.05％以上，成品開(kāi)路電壓提升0.5mv，短路電流提升15ma左右；即使是在雙85(溫度85度，相對(duì)濕度85％)測(cè)試條件下進(jìn)行抗pid測(cè)試，其組件衰減功率也得到了大幅度的下降，僅為0.7％—0.9％，延長(zhǎng)了組件的使用壽命，產(chǎn)品性能高。

如圖1-圖9所示，步驟b和f中的裝卸片系統(tǒng)包括機(jī)架1，機(jī)架1中部設(shè)置有安裝板2，安裝板2與一能帶動(dòng)其上下移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)相連，安裝板2上固定有能使石墨舟傾斜放置的放置板3，在本實(shí)施例中，安裝板2上通過(guò)螺栓連接的方式固定有放置板3；機(jī)架1上部依次設(shè)置有供料裝置和取放裝置。

升降機(jī)構(gòu)包括支架25、導(dǎo)軌21、滑塊19、齒條22、齒輪24和伺服電機(jī)23，支架25固定在機(jī)架1中部，在本實(shí)施例中，支架25通過(guò)焊接的方式固定在機(jī)架1中部；導(dǎo)軌21豎直固定在支架25上，在本實(shí)施例中，導(dǎo)軌21通過(guò)螺栓連接的方式固定在支架25上；滑塊19設(shè)置在導(dǎo)軌21上，滑塊19上螺紋連接有螺桿17，螺桿17一端能與導(dǎo)軌21相抵靠，螺桿17另一端和手輪18相連，齒條22豎直固定在支架25上，在本實(shí)施例中，齒條22通過(guò)螺栓連接的方式固定在支架25上；伺服電機(jī)23固定在滑塊19上，伺服電機(jī)23的輸出軸水平設(shè)置，齒輪24固定在伺服電機(jī)23的輸出軸端部，且齒輪24與齒條22相嚙合，安裝板2固定在滑塊19上；導(dǎo)軌21上還具有刻度線。

供料裝置包括安裝架5、轉(zhuǎn)動(dòng)軸4和轉(zhuǎn)盤(pán)8，安裝架5固定在機(jī)架1上部，在本實(shí)施例中，安裝架5通過(guò)焊接的方式固定在機(jī)架1上部；轉(zhuǎn)動(dòng)軸4水平設(shè)置在安裝架5上，轉(zhuǎn)動(dòng)軸4一端與一能帶動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力機(jī)構(gòu)相連，轉(zhuǎn)動(dòng)軸4另一端和轉(zhuǎn)盤(pán)8相連，轉(zhuǎn)盤(pán)8上固定有若干定位板6，在本實(shí)施例中，定位板6的數(shù)量為三塊；定位板6上通過(guò)可拆卸結(jié)構(gòu)設(shè)置有用于儲(chǔ)存硅片的儲(chǔ)料件，儲(chǔ)料件包括基板26、左側(cè)板27和右側(cè)板28，左側(cè)板27固定在基板26上，右側(cè)板28通過(guò)連桿固定在左側(cè)板27上，左側(cè)板27與右側(cè)板28之間水平設(shè)置有若干轉(zhuǎn)軸29，在本實(shí)施例中，轉(zhuǎn)軸29的數(shù)量為十個(gè)；轉(zhuǎn)軸29一端和左側(cè)板27上部相連，轉(zhuǎn)軸29另一端和右側(cè)板28上部相連，轉(zhuǎn)軸29中部和分隔片41上部相連，分隔片41下部為活動(dòng)端，相鄰兩活動(dòng)端之間通過(guò)彈性的連接條相連，相鄰兩分隔片41之間形成用于儲(chǔ)存硅片的儲(chǔ)存部；基板26上設(shè)置有能使活動(dòng)端展開(kāi)的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括第一氣囊38、第二氣囊42、輸氣管39和第一氣泵37，第一氣囊38固定在分隔片41上端，且分隔片41上端的兩側(cè)均分布有第一氣囊38，第二氣囊42固定在分隔片41下端，且分隔片41下端的兩側(cè)均分布有第二氣囊42，第一氣囊38的容積小于第二氣囊42的容積，第一氣囊38和第二氣囊42均能與硅片相接觸，輸氣管39一端和第一氣囊38相連通，輸氣管39另一端和第二氣囊42相連通，輸氣管39中部通過(guò)連管36和第一氣泵37相連通；基板26上還設(shè)有限位結(jié)構(gòu)，限位結(jié)構(gòu)包括安裝塊34、驅(qū)動(dòng)電機(jī)35、連接繩33、彈簧32和限位板31，安裝塊34固定在基板26下部，在本實(shí)施例中，安裝塊34通過(guò)螺栓連接的方式固定在基板26下部；彈簧32一端和安裝塊34相連，彈簧32另一端和限位板31相連，且限位板31能與最外側(cè)的分隔片41相抵靠，驅(qū)動(dòng)電機(jī)35固定在安裝塊34上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)35的輸出軸水平設(shè)置，連接繩33一端和驅(qū)動(dòng)電機(jī)35的輸出軸端部相連，連接繩33另一端和限位板31相連；采用該結(jié)構(gòu)，當(dāng)分隔片41收攏時(shí)，通過(guò)彈簧32的彈力使限位板31和最外側(cè)的分隔片41將抵靠；當(dāng)分隔片41展開(kāi)時(shí)，控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)35的輸出軸使連接繩33變短，連接繩33使限位板31失效。

安裝架5上還設(shè)置推送機(jī)構(gòu)，推送機(jī)構(gòu)包括推桿電機(jī)9和推塊11，推桿電機(jī)9固定在安裝架5上，在本實(shí)施例中，推桿電機(jī)9通過(guò)螺栓連接的方式固定在安裝架5上；推桿電機(jī)9的推桿傾斜向下，推塊11固定在推桿電機(jī)9的推桿端部，推塊11能伸入到儲(chǔ)存部中。

動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括步進(jìn)電機(jī)43、主動(dòng)輪46、從動(dòng)輪45和皮帶44，步進(jìn)電機(jī)43固定在安裝架5上，步進(jìn)電機(jī)43的輸出軸水平設(shè)置，主動(dòng)輪46固定在步進(jìn)電機(jī)43的輸出軸端部，從動(dòng)輪45固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸4一端，皮帶44套設(shè)在主動(dòng)輪46與從動(dòng)輪45之間。

當(dāng)然，根據(jù)實(shí)際情況，也可以采用該種方案，動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括步進(jìn)電機(jī)43和減速器47，步進(jìn)電機(jī)43固定在安裝架5上，步進(jìn)電機(jī)43的輸出軸水平設(shè)置，步進(jìn)電機(jī)43的輸出軸和減速器47的輸入端相連，減速器47的輸出端和轉(zhuǎn)動(dòng)軸4一端相連；采用該結(jié)構(gòu)，當(dāng)需要使轉(zhuǎn)動(dòng)軸4轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，控制步進(jìn)電機(jī)43的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)，步進(jìn)電機(jī)43的輸出軸帶動(dòng)減速器47的輸入端轉(zhuǎn)動(dòng)，減速器47的輸出端帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸4轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可使轉(zhuǎn)動(dòng)軸4轉(zhuǎn)動(dòng)。

可拆卸結(jié)構(gòu)包括鐵片7和電磁鐵，定位板6上開(kāi)設(shè)有定位槽6a，鐵片7設(shè)置在定位槽6a內(nèi)，電磁鐵固定在基板26上，且電磁鐵能與鐵片7相接觸。

取放裝置包括取放吸盤(pán)55、第二氣泵53、電磁閥51和開(kāi)關(guān)48，取放吸盤(pán)55通過(guò)彈性的繩子54連接在機(jī)架1上部，第二氣泵53固定在機(jī)架1上部，第二氣泵53通過(guò)連接管52和取放吸盤(pán)55相連通，電磁閥51設(shè)置在連接管52上，取放吸盤(pán)55上還固定有操作桿49，開(kāi)關(guān)48固定在操作桿49上，開(kāi)關(guān)48通過(guò)線路與電磁閥51相連，在本實(shí)施例中，開(kāi)關(guān)48與電磁閥51相連的技術(shù)為現(xiàn)有。

機(jī)架1下部還固定有底板15，底板15上設(shè)置有能對(duì)石墨舟進(jìn)行冷卻的冷卻裝置，冷卻裝置包括冷卻箱16、輸送帶13和風(fēng)機(jī)62，冷卻箱16通過(guò)連接架14固定在底座上，在本實(shí)施例中，連接架14固定在底座上，冷卻箱16固定在連接架14上；冷卻箱16一端具有輸入口，冷卻箱16另一端具有輸出口，冷卻箱16上部和排氣管12一端相連通，排氣管12另一端能與外界相連通，輸送帶13設(shè)置在連接架14上，且輸送帶13從輸入口穿入并從輸出口穿出，風(fēng)機(jī)62通過(guò)連接桿固定在冷卻箱16內(nèi)，風(fēng)機(jī)62位于輸送帶13下方，風(fēng)機(jī)62的出風(fēng)口朝上。

底板15上還設(shè)置有輔助機(jī)構(gòu)，輔助機(jī)構(gòu)包括空壓機(jī)56、推送板64和進(jìn)氣管57，冷卻箱16下端開(kāi)設(shè)有導(dǎo)流口16a，推送板64通過(guò)彈性的連接片63將導(dǎo)流口16a封閉住，且推送板64與一能帶動(dòng)其上下移動(dòng)的升降結(jié)構(gòu)相連，空壓機(jī)56固定在底板15上，進(jìn)氣管57一端和空壓機(jī)56相連通，進(jìn)氣管57另一端伸入到冷卻箱16內(nèi)，且進(jìn)氣管57另一端朝向推送板64；升降結(jié)構(gòu)包括第一氣缸65和真空吸盤(pán)66，第一氣缸65豎直固定在底座上，第一氣缸65的活塞桿豎直向上，真空吸盤(pán)66固定在第一氣缸65的活塞桿端部，且真空吸盤(pán)66能與推送塊相接觸；冷卻箱16上部還固定有第二氣缸58，第二氣缸58的活塞桿豎直向下，第二氣缸58的活塞桿端部伸入到冷卻箱16內(nèi)和升降板59相連，升降板59上開(kāi)設(shè)有若干通氣孔，在本實(shí)施例中，通氣孔的數(shù)量為三十個(gè)；升降板59下端豎直設(shè)置有若干導(dǎo)熱桿61，在本實(shí)施例中，導(dǎo)熱桿61的數(shù)量為五十個(gè)；導(dǎo)熱桿61位于輸送帶13上方，且導(dǎo)熱桿61能與輸送帶13相抵靠。

當(dāng)然，根據(jù)實(shí)際情況，也可以采用該種方案，底板15上還設(shè)置有輔助機(jī)構(gòu)，輔助機(jī)構(gòu)包括輸氣泵67、封閉板68和進(jìn)氣管57，進(jìn)氣管57一端和冷卻箱16下部相連通，進(jìn)氣管57另一端和輸氣泵67相連通，封閉板68設(shè)置在冷卻箱16內(nèi)，封閉板68上開(kāi)設(shè)有通氣槽68a，封閉板68上還設(shè)置有能將通氣槽68a封閉住的密封彈片69，在本實(shí)施例中，密封彈片69采用市場(chǎng)上可以買(mǎi)到的現(xiàn)有產(chǎn)品；密封彈片69一端和封閉板68相連，密封彈片69另一端與一能帶動(dòng)其來(lái)回移動(dòng)的第一氣缸65相連，在本實(shí)施例中，第一氣缸65固定在封閉板68上，第一氣缸65的活塞桿端部和密封彈片69另一端相連；封閉板68還與一能帶動(dòng)其上下升降的第二氣缸58相連，在本實(shí)施例中，第二氣缸58固定在冷卻箱16上部，第二氣缸58的活塞桿豎直向下，第二氣缸58的活塞桿端部伸入到冷卻箱16內(nèi)和封閉板68相連；采用該結(jié)構(gòu)，通過(guò)第一氣缸65的活塞桿帶動(dòng)密封彈片69另一端移動(dòng)，使密封彈片69將通氣槽68a封閉住，通過(guò)第二氣缸58帶動(dòng)封閉板68向上移動(dòng)，將冷卻箱16內(nèi)的熱量向上排出，重復(fù)上述步驟，可使冷卻箱16中的熱量快速排出，輔助效果好；封閉板68復(fù)位時(shí)，封閉板68的通氣槽68a為打開(kāi)狀態(tài)。

裝卸片系統(tǒng)的工作原理如下：將石墨舟傾斜放在放置板3上，控制伺服電機(jī)23的輸出軸帶動(dòng)齒輪24轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪24與齒條22逐漸嚙合使滑塊19沿著導(dǎo)軌21上下移動(dòng)，滑塊19帶動(dòng)安裝板2上下移動(dòng)，安裝板2帶動(dòng)放置板3上下移動(dòng)，使其移動(dòng)到所需位置，轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿17將滑塊19固定在導(dǎo)軌21上；將基板26放入定位槽6a中，通過(guò)電磁鐵和鐵片7相接觸，將基板26固定在定位板6上，開(kāi)啟第一氣泵37，通過(guò)輸氣管39將空氣輸送到第一氣囊38和第二氣囊42中，第一氣囊38和第二氣囊42的變形驅(qū)動(dòng)活動(dòng)端展開(kāi)，使分隔片41展開(kāi)形成弧形，且第一氣囊38和第二氣囊42將硅片夾住，控制步進(jìn)電機(jī)43的輸出軸帶動(dòng)主動(dòng)輪46轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)輪46通過(guò)皮帶44帶動(dòng)從動(dòng)輪45轉(zhuǎn)動(dòng)，從動(dòng)輪45帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸4轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸4帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)8轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤(pán)8帶動(dòng)定位板6轉(zhuǎn)動(dòng)，定位板6帶動(dòng)基板26轉(zhuǎn)動(dòng)到所需位置，控制推桿電機(jī)9的推桿帶動(dòng)推塊11上下移動(dòng)，推塊11將儲(chǔ)存部中的硅片推送出，通過(guò)操作桿49帶動(dòng)取放吸盤(pán)55上下移動(dòng)，取放吸盤(pán)55將儲(chǔ)存部中的硅片取下，并將硅片放入到石墨舟中；

通過(guò)輸送帶13將石墨舟輸送到冷卻箱16中，通過(guò)風(fēng)機(jī)62對(duì)石墨舟進(jìn)行冷卻，產(chǎn)生的熱量從排氣管12排到外界，控制第二氣缸58的活塞桿帶動(dòng)升降板59向下移動(dòng)，升降板59帶動(dòng)導(dǎo)熱桿61向下移動(dòng)，導(dǎo)熱桿61和石墨舟接觸，對(duì)其進(jìn)行導(dǎo)熱，通過(guò)真空吸盤(pán)66將推送板64吸住，控制第一氣缸65的活塞桿帶動(dòng)推送板64向下移動(dòng)，通過(guò)空壓機(jī)56將外界空氣從進(jìn)氣管57輸送到導(dǎo)流口16a處，控制真空吸盤(pán)66和推送板64脫離，在連接片63的彈力作用下，推送板64將空氣快速向上推送，重復(fù)上述步驟，可使冷卻箱16中的熱量快速排出。