技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明描述了定向自組裝(DSA)材料或二嵌段共聚物，其可能基于一次光刻操作來對最終限定垂直納米線晶體管的溝道區(qū)和柵極電極的特征進行圖案化。在實施例中，DSA材料被約束在使用常規(guī)光刻技術(shù)進行圖案化的引導(dǎo)開口內(nèi)。在實施例中，溝道區(qū)和柵極電極材料對準(zhǔn)到DSA材料內(nèi)的分離的區(qū)域的邊緣。

技術(shù)研發(fā)人員：P·A·尼許斯;S·希瓦庫馬
受保護的技術(shù)使用者：英特爾公司
技術(shù)研發(fā)日：2013.06.20
技術(shù)公布日：2017.11.07