技術(shù)編號：12888821
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。利用定向自組裝的垂直納米線晶體管溝道和柵極的圖案化本申請為分案申請，其原申請是于2015年5月18日(國際申請日為2013年6月20日)向中國專利局提交的專利申請，申請?zhí)枮?01380060134.6，發(fā)明名稱為“利用定向自組裝的垂直納米線晶體管溝道和柵極的圖案化”。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明的實(shí)施例總體上涉及微電子器件的晶體管制造，并且更具體地涉及使用定向自組裝(DSA)的垂直納米線晶體管的圖案化。背景技術(shù)在垂直取向的晶體管中，良好控制的材料層厚度限定了諸如柵極長度(Lg)的功能長度，并且可以有利地定制材...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。