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用于精密集成電路的低功率、溫度調(diào)節(jié)電路的制作方法

文檔序號:12307789閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
各種實施例提供了一種溫度調(diào)節(jié)電路。所述溫度調(diào)節(jié)電路包括定位在框架的開口中的懸掛塊。所述懸掛塊通過可由熱絕緣材料制成的多個支撐梁懸掛于所述框架。所述懸掛塊提供用于集成電路的熱隔離襯底。所述懸掛塊還包括被配置為測量所述集成電路的溫度的溫度傳感器,和被配置為加熱所述集成電路的加熱器??刂破鞫ㄎ辉谒隹蚣苌?,并且被配置為從所述溫度傳感器接收溫度測量值,并且基于所述溫度測量值控制所述加熱器。

技術(shù)研發(fā)人員:W.J.布里茨
受保護的技術(shù)使用者:弗蘭克公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.14
技術(shù)公布日:2017.10.27
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