技術總結
本發(fā)明提供了一種全封閉式SMIF系統，因為前進板上設置有第一氣嘴孔，承載平臺上安裝有氣嘴，容器底部設置有進氣孔和壓力排氣閥，能夠將容器內的氣體置換；安裝板與盒體側面之間設置有第一密封圈，增加了系統的密封性；安裝板的操作口的四邊設置有第二密封圈，當前進板帶動容器移動到操作位置時，容器與第二密封圈接觸，增加了容器與安裝板從操作口之間的密封性；開盒板朝向容器一面設置有第三密封圈，增加了開盒板與安裝板的操作口之間的密封性；開盒部、升降部、檢測部均設置在盒體內，方便維修，因此，本發(fā)明的全封閉式SMIF系統密封性能好，能夠較好的避免盒體內的環(huán)境和盒體外的環(huán)境之間粉塵、氣體、水蒸氣等的交換。

技術研發(fā)人員：吳功
受保護的技術使用者：大族激光科技產業(yè)集團股份有限公司上海分公司
文檔號碼：201710192002
技術研發(fā)日：2017.03.28
技術公布日：2017.05.17