技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基板處理裝置。該基板處理裝置包括：基板保持工具，其能夠?qū)⒍鄠€基板在鉛垂方向上具有間隔地堆疊為多層，具有在鉛垂方向上分隔所述多個基板所堆疊的區(qū)域的多個分隔板；處理容器，其能夠收容該基板保持工具；突出部，其以從該處理容器內(nèi)的與所述分隔板的外周側(cè)面相對的內(nèi)周壁面朝向所述分隔板的外周側(cè)面向內(nèi)側(cè)突出的方式延伸，在形成于突出了的頂端的內(nèi)周側(cè)面和所述分隔板的外周側(cè)面之間形成有間隙；以及氣體供給部件，其能夠向形成在該突出部的所述內(nèi)周側(cè)面和所述分隔板的外周側(cè)面之間的所述間隙供給非活性氣體而形成壓力比周圍的壓力高的正壓部。

技術(shù)研發(fā)人員：似鳥弘彌;小池悟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.28
技術(shù)公布日：2017.10.10