技術(shù)編號：11214242
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基板處理裝置。背景技術(shù)以往公知有一種包括以下工序的半導(dǎo)體裝置的制造方法：向設(shè)置在反應(yīng)管的內(nèi)部的處理室搬入在與基板處理面垂直的方向上配置有多張的基板，該反應(yīng)管以被加熱裝置包圍外周的方式設(shè)置；向以至少到達(dá)加熱裝置的外側(cè)的方式設(shè)置在反應(yīng)管的內(nèi)部且設(shè)置在反應(yīng)管的側(cè)面的位于處理基板的區(qū)域的部分的氣體導(dǎo)入管導(dǎo)入氣體，從以在與基板處理面垂直的方向上跨著至少兩張以上基板的大小設(shè)置成狹縫狀的噴出口向處理室噴出氣體，處理基板。在該半導(dǎo)體裝置的制造方法中，在基板處理工序中，向后述的多個氣體導(dǎo)入劃分部導(dǎo)入...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。