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電感器及其形成方法與流程

文檔序號(hào):12736858閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種電感器,其特征在于,包括:

基底,所述基底上具有介電層;

呈條形狀的鐵磁芯,位于所述介電層內(nèi);

呈螺線管狀的金屬層,位于所述介電層內(nèi),所述金屬層沿所述鐵磁芯的延伸方向環(huán)繞所述鐵磁芯,且所述金屬層和所述鐵磁芯之間具有所述介電層。

2.如權(quán)利要求1所述的電感器,其特征在于,所述鐵磁芯的材料為Ni、Fe或Co。

3.如權(quán)利要求1所述的電感器,其特征在于,所述鐵磁芯的形狀是條形環(huán)狀體。

4.如權(quán)利要求3所述的電感器,其特征在于,在垂直于所述鐵磁芯的延伸方向上,所述鐵磁芯的剖面形狀為六邊環(huán)形或方環(huán)形。

5.如權(quán)利要求1所述的電感器,其特征在于,所述金屬層包括:多個(gè)分立的底層金屬條,所述底層金屬條位于所述鐵磁芯的一側(cè)且環(huán)繞部分所述鐵磁芯,沿所述鐵磁芯延伸方向上,所述多個(gè)底層金屬條平行排列,每一個(gè)所述底層金屬條具有第一端部和第二端部;

多個(gè)分立的頂層金屬條,所述頂層金屬條位于所述鐵磁芯的另一側(cè)且環(huán)繞部分所述鐵磁芯,沿所述鐵磁芯延伸方向上,所述多個(gè)頂層金屬條平行排列,每一個(gè)所述頂層金屬條具有兩端,且每一個(gè)頂層金屬條的一端與相鄰一個(gè)底層金屬條的第一端部相連接,另一端與另一個(gè)相鄰底層金屬條的第二端部相連接。

6.一種電感器的形成方法,其特征在于,包括:

提供基底,所述基底上形成有第一底層介電層;

刻蝕部分厚度的所述第一底層介電層,在所述第一底層介電層內(nèi)形成第一凹槽;

在所述第一凹槽的底部和側(cè)壁形成多個(gè)分立的底層金屬條,沿所述第一凹槽延伸方向上,所述多個(gè)底層金屬條平行排列,且每一個(gè)所述底層金屬條具有第一端部和第二端部;

形成所述底層金屬條后,形成填充滿所述第一凹槽的第一介電材料層;

刻蝕部分厚度的所述第一介電材料層,在所述第一介電材料層內(nèi)形成第二凹槽,且剩余所述第一介電材料層作為第二底層介電層;

在所述第二凹槽中形成鐵磁芯,所述鐵磁芯凸出于所述第二凹槽;

形成保形覆蓋所述鐵磁芯的第一頂層介電層,所述第一頂層介電層與所述第二底層介電層相連接;

形成保形覆蓋所述第一頂層介電層的多個(gè)分立的頂層金屬條,沿所述鐵磁芯延伸方向上,所述多個(gè)頂層金屬條平行排列,每一個(gè)所述頂層金屬條具有兩端,且每一個(gè)頂層金屬條的一端與相鄰一個(gè)底層金屬條的第一端部相連接,另一端與另一個(gè)相鄰底層金屬條的第二端部相連接;其中,所述頂層金屬條和底層金屬條構(gòu)成金屬層,且所述金屬層呈螺線管狀,所述金屬層沿所述鐵磁芯的延伸方向環(huán)繞所述鐵磁芯;

形成覆蓋所述頂層金屬條、第一頂層介電層和第一底層介電層的第二頂層介電層;其中,所述第二頂層介電層與所述第一頂層介電層、中心介電層、第二底層介電層、以及第一底層介電層構(gòu)成介電層。

7.如權(quán)利要求6所述的電感器的形成方法,其特征在于,所述鐵磁芯的材料為Ni、Fe或Co。

8.如權(quán)利要求6所述的電感器的形成方法,其特征在于,所述鐵磁芯的形狀是條形環(huán)狀體;

在所述第二凹槽中形成鐵磁芯的步驟包括:在所述第二凹槽的底部和側(cè)壁形成底層鐵磁材料層,所述底層鐵磁材料層具有第三端部和第四端部;形成所述底層鐵磁材料層后,形成填充滿第二凹槽的第二介電材料層;刻蝕所述第二介電材料層,形成中心介電層,所述中心介電層凸出于所述第二凹槽;形成保形覆蓋所述中心介電層表面的頂層鐵磁材料層,所述頂層鐵磁材料層具有兩端,且所述頂層鐵磁材料層的一端與所述底層鐵磁材料層的第三端部相連接,所述頂層鐵磁材料層的另一端與所述底層鐵磁材料層的第四端部相連接;其中,所述頂層鐵磁材料層和所述底層鐵磁材料層構(gòu)成鐵磁芯;

形成保形覆蓋所述鐵磁芯的第一頂層介電層的步驟中,所述第一頂層介電層保形覆蓋所述頂層鐵磁材料層。

9.如權(quán)利要求8所述的電感器的形成方法,其特征在于,在垂直于所述第二凹槽延伸方向上,所述第二凹槽的剖面形狀為倒梯形;在垂直于所述鐵磁芯的延伸方向上,所述鐵磁芯的剖面形狀為六邊環(huán)形;

或者,

在垂直于所述第二凹槽延伸方向上,所述第二凹槽的剖面形狀為方形;在垂直于所述鐵磁芯的延伸方向上,所述鐵磁芯的剖面形狀為方環(huán)形。

10.如權(quán)利要求8所述的電感器的形成方法,其特征在于,沿所述鐵磁芯中心指向外圍的方向上,所述鐵磁芯的厚度為0.5微米至1微米。

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