本發(fā)明有關(guān)變壓器及電感，尤指一種螺旋狀堆疊式積體變壓器及螺旋狀堆疊式積體電感。

背景技術(shù)：

電感以及變壓器為射頻集成電路中用來實現(xiàn)單端至差動訊號轉(zhuǎn)換、訊號耦合、阻抗匹配等功能的重要組件，隨著集成電路往系統(tǒng)單芯片(System on Chip，SoC)發(fā)展，積體電感(integrated inductor)及積體變壓器(integrated transformer)已逐漸取代傳統(tǒng)的分離式組件，而被廣泛地使用在射頻集成電路中。然而，集成電路中的電感及變壓器往往會占用大量的芯片面積，因此，如何縮小集成電路中的電感及變壓器的面積，并同時維持組件的特性，例如電感值、質(zhì)量因子(quality factor，Q)及耦合系數(shù)(coupling coefficient，K)等等，成為一個重要的課題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

鑒于先前技術(shù)的不足，本發(fā)明的一目的在于提供一種螺旋狀堆疊式積體變壓器及螺旋狀堆疊式積體電感，以縮小組件面積及提高組件效能，進而改善其組件的對稱性。

本發(fā)明公開一種螺旋狀堆疊式積體變壓器，由一第一電感及一第二電感所組成，包含：一第一螺旋狀線圈，實質(zhì)上位于一第一平面，具有一第一外部線圈及一第一內(nèi)部線圈，該第一內(nèi)部線圈位于該第一外部線圈之 內(nèi)，其中該第一螺旋狀線圈構(gòu)成該第一電感的一部分及該第二電感的一部分；以及一第二螺旋狀線圈，實質(zhì)上位于相異于該第一平面的一第二平面，與該第一螺旋狀線圈具有一重疊范圍，其中該第二螺旋狀線圈構(gòu)成該第一電感的一部分及該第二電感的一部分。該第一外部線圈的至少一邊在一方向上對應(yīng)該第二螺旋狀線圈的金屬線段，而且該第一內(nèi)部線圈的至少一邊在該方向上不對應(yīng)該第二螺旋狀線圈的金屬線段，該方向為垂直于該第一平面或該第二平面的方向。

本發(fā)明另公開一種螺旋狀堆疊式積體電感，由一第一感應(yīng)單元及一第二感應(yīng)單元所組成，包含：一第一螺旋狀線圈，實質(zhì)上位于一第一平面，具有一第一外部線圈及一第一內(nèi)部線圈，該第一內(nèi)部線圈位于該第一外部線圈之內(nèi)，其中該第一螺旋狀線圈構(gòu)成該第一感應(yīng)單元的一部分及該第二感應(yīng)單元的一部分；以及一第二螺旋狀線圈，實質(zhì)上位于相異于該第一平面的一第二平面，與該第一螺旋狀線圈具有一重疊范圍，其中該第二螺旋狀線圈構(gòu)成該第一感應(yīng)單元的一部分及該第二感應(yīng)單元的一部分。該第一外部線圈的至少一邊在一方向上對應(yīng)該第二螺旋狀線圈的金屬線段，而且該第一內(nèi)部線圈的至少一邊在該方向上不對應(yīng)該第二螺旋狀線圈的金屬線段，該方向為垂直于該第一平面或該第二平面的方向。

本發(fā)明的螺旋狀堆疊式積體變壓器及螺旋狀堆疊式積體電感具有積體化的對稱結(jié)構(gòu)，提供高對稱性的兩個電感或感應(yīng)單元。藉由將兩個螺旋狀線圈參差排列，本發(fā)明的積體變壓器及積體電感的端點位于螺旋狀線圈的最外圈，可降低螺旋狀線圈的繞線復(fù)雜度。且相較于已知具有相同感值及質(zhì)量因素Q的單層式積體電感，本發(fā)明可大幅節(jié)省組件面積。

有關(guān)本發(fā)明的特征、實作與功效，茲配合圖式作實施例詳細(xì)說明如下。

附圖說明

圖1為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體電感的一實施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖2為圖1的螺旋狀堆疊式積體電感100的橫截面圖；

圖3為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體電感的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖4為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體電感的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖5為圖4的螺旋狀堆疊式積體電感400的橫截面圖；

圖6為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體電感的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖7A至圖7C為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體電感的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖及其橫截面圖；

圖8為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體變壓器的一實施例的結(jié)構(gòu)圖；以及

圖9為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

以下說明內(nèi)容的技術(shù)用語參照本技術(shù)領(lǐng)域的習(xí)慣用語，如本說明書對部分用語有加以說明或定義，該部分用語的解釋以本說明書的說明或定義為準(zhǔn)。

圖1為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體電感的一實施例的結(jié)構(gòu)圖。螺旋狀堆疊式積體電感100由螺旋狀線圈110及螺旋狀線圈120所組成，螺旋狀線圈110的大多數(shù)金屬線段位于半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的第一金屬層，螺旋狀線圈120的大多數(shù)金屬線段位于半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的第二金屬層，也就是說，螺旋狀線圈110實質(zhì)上位于第一金屬層所在的平面，螺旋狀線圈120實質(zhì)上位于第二金屬層所在的平面。螺旋狀線圈110具有端點111-a及端點111-b，并且包含金屬線段112、113、114以及131。除了金屬線段131位于有別 于第一金屬層及第二金屬層的第三金屬層之外，其它的金屬線段及端點位于第一金屬層。金屬線段131分別透過位于貫穿位置110-c與110-d上的導(dǎo)孔(via)結(jié)構(gòu)或是導(dǎo)孔數(shù)組(via array)與金屬線段113與金屬線段114相連接。螺旋狀線圈120具有端點121，并且包含金屬線段122及123。端點121、金屬線段122及123皆位于第二金屬層。

螺旋狀堆疊式積體電感100包含兩個感應(yīng)單元，分別為第一感應(yīng)單元(由淺灰色線段所組成)以及第二感應(yīng)單元(由深灰色線段所組成)。電流由第一感應(yīng)單元的端點111-b流入，流過金屬線段112后，透過貫穿位置110-a及貫穿位置120-a上的導(dǎo)孔結(jié)構(gòu)或是導(dǎo)孔數(shù)組流至金屬線段122，最后由端點121流出。類似地，對第二感應(yīng)單元來說，電流由端點111-a流入，流過金屬線段113、131及114之后，透過貫穿位置110-b及貫穿位置120-b上的導(dǎo)孔結(jié)構(gòu)或是導(dǎo)孔數(shù)組流至金屬線段123，最后由端點121流出。事實上，端點121即為螺旋狀堆疊式積體電感100的中央抽頭，可以連接至采用該螺旋狀堆疊式積體電感100的電路的電壓源或接地。明顯地，第一感應(yīng)單元主要包含螺旋狀線圈110的外部線圈的一半(即金屬線段112位于外圈的部分)及內(nèi)部線圈的一半(即金屬線段112位于內(nèi)圈的部分)，以及螺旋狀線圈120的一半(即金屬線段122)；第二感應(yīng)單元主要包含螺旋狀線圈110的外部線圈的另一半(即金屬線段113)及內(nèi)部線圈的另一半(即金屬線段114)，以及螺旋狀線圈120的另一半(即金屬線段123)。換句話說，螺旋狀堆疊式積體電感100的兩個感應(yīng)單元的大部分金屬線段平均分布于兩層金屬層，因此兩個感應(yīng)單元有極佳的對稱性，即兩者具有近似的質(zhì)量因子Q及電感值。若一個感應(yīng)單元的大部分金屬線段位于第一金屬層，另一個感應(yīng)單元的大部分金屬線段位于第二金屬層，則兩個感應(yīng)單元很可能因為兩層金屬層的特性不同(例如金屬層厚度、與基板的距離等)，而導(dǎo)致其質(zhì)量因子Q及電感值有較大的差異。

實際上，螺旋狀線圈110與螺旋狀線圈120為堆棧的結(jié)構(gòu)，金屬線段112位于外圈的部分與金屬線段122大部分重疊但不接觸，以及金屬線段 113與金屬線段123大部分重疊但不接觸。圖2為螺旋狀堆疊式積體電感100的橫截面圖(沿圖1的橫截面A-A’繪制)，圖2以第一金屬層(即螺旋狀線圈110所在的金屬層)位于第二金屬層(即螺旋狀線圈120所在的金屬層)的下方為例(例如第一金屬層為半導(dǎo)體制程中的超厚金屬(Ultra-Thick Metal，UTM)層，而第二金屬層為半導(dǎo)體制程中的重布層(redistribution layer，RDL))，但兩者亦可交換。在其它實施例中，也可使用底層凸塊金屬化層(Under Bump Metallization,UBM)、堆棧金屬間層(stacked inter-metal layers)、第二層RDL或是其它的類似的金屬層。如圖所示，螺旋狀線圈110比螺旋狀線圈120多一圈，螺旋狀線圈110的外圈在垂直于螺旋狀線圈110及/或螺旋狀線圈120所在的平面的方向上與螺旋狀線圈120重疊但不接觸(中間例如間隔半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的氧化層)，而螺旋狀線圈110的內(nèi)圈則在同一垂直方向上不對應(yīng)螺旋狀線圈120的任何金屬線段。藉由此參差排列(即螺旋狀堆疊式積體電感100所包含的兩個螺旋狀線圈圈數(shù)不同，且較多圈的螺旋狀線圈的部分金屬線段(此實施例為內(nèi)圈的金屬線段)不與另一螺旋狀線圈的金屬線段相對應(yīng))，螺旋狀堆疊式積體電感100除了具有上述對稱性佳的優(yōu)點之外，還可以令其中央抽頭(即端點121)位于螺旋狀線圈的外側(cè)，因此不需要藉由第一及第二金屬層之外的另一金屬線段來實作中央抽頭。

本發(fā)明的螺旋狀堆疊式積體電感不限于圖1所示的二圈與一圈的組合。如圖3所示，螺旋狀堆疊式積體電感300由螺旋狀線圈310及320構(gòu)成，兩者分別為四圈與三圈的結(jié)構(gòu)。螺旋狀線圈310的大部分金屬線段位于第一金屬層，而螺旋狀線圈320的大部分金屬線段位于第二金屬層。螺旋狀線圈310的某些金屬線段經(jīng)由第三金屬層連接(為求圖式簡潔，圖中未繪示位于第三金屬層的金屬線段)，例如透過設(shè)為一對的貫穿結(jié)構(gòu)310-a與310-b，金屬線段312及314可以藉由位于第三金屬層的金屬線段互相連接；同理，貫穿結(jié)構(gòu)310-c與310-d為一對貫穿結(jié)構(gòu)，以及貫穿結(jié)構(gòu)310-e與310-f為一對貫穿結(jié)構(gòu)。類似的，在螺旋狀線圈320中，貫穿結(jié)構(gòu)320-a與320-b為一對貫穿結(jié)構(gòu)，兩者分別對應(yīng)螺旋狀線圈310的金屬線段315 兩端的貫穿結(jié)構(gòu)，以及貫穿結(jié)構(gòu)320-c與320-d為一對貫穿結(jié)構(gòu)，兩者分別對應(yīng)螺旋狀線圈310的金屬線段316兩端的貫穿結(jié)構(gòu)。第一感應(yīng)單元(由淺灰色線段所組成)位于螺旋狀線圈310及螺旋狀線圈320的部分透過相對應(yīng)的貫穿結(jié)構(gòu)310-g及320-e相連接，以及第二感應(yīng)單元(由深灰色線段所組成)位于螺旋狀線圈310及螺旋狀線圈320的部分透過相對應(yīng)的貫穿結(jié)構(gòu)310-h及320-f相連接。由圖可見，螺旋狀線圈310及螺旋狀線圈320各包含復(fù)數(shù)層線圈，每一層線圈約一半長度的金屬線段屬于第一感應(yīng)單元，另外的約一半長度屬于第二感應(yīng)單元，因此螺旋狀堆疊式積體電感300具有極佳的對稱性；此外，雖然為多層線圈的結(jié)構(gòu)，螺旋狀堆疊式積體電感300的中央抽頭(即端點321)仍可制作于螺旋狀線圈320的最外圈，以減少繞線的復(fù)雜度。此實施例中，螺旋狀線圈310及320的線圈數(shù)相差一圈，兩者重疊時，螺旋狀線圈310最內(nèi)圈的金屬線段在垂直螺旋狀線圈310及/或螺旋狀線圈320所在的平面的方向上未對應(yīng)螺旋狀線圈320的任何金屬線段。

在圖1及圖3的實施例中，螺旋狀堆疊式積體電感的輸入端與中央抽頭位于螺旋狀堆疊式積體電感的不同側(cè)，在其它實施例中，兩者可位于同一側(cè)，其結(jié)構(gòu)如圖4所示。螺旋狀堆疊式積體電感400由螺旋狀線圈410及螺旋狀線圈420所組成，螺旋狀線圈410的大多數(shù)金屬線段位于半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的第一金屬層，螺旋狀線圈420的大多數(shù)金屬線段位于半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的第二金屬層。螺旋狀線圈410具有端點411-a及端點411-b，并且包含金屬線段412、413、414、415以及431。除了金屬線段431位于有別于第一金屬層及第二金屬層的第三金屬層之外，其它金屬線段及端點位于第二金屬層。金屬線段431分別透過位于貫穿位置410-a與410-b上的導(dǎo)孔結(jié)構(gòu)或是導(dǎo)孔數(shù)組與金屬線段412與金屬線段413相連接。螺旋狀線圈420具有端點421，并且包含金屬線段422、423及424。端點421與金屬線段422、423及424皆位于第二金屬層。

螺旋狀堆疊式積體電感400包含兩個感應(yīng)單元，分別為第一感應(yīng)單元(由淺灰色線段所組成)以及第二感應(yīng)單元(由深灰色線段所組成)。電流由第一感應(yīng)單元的端點411-a流入，流過金屬線段412、431及413后，經(jīng)由相對應(yīng)的貫穿位置410-d及420-d上的導(dǎo)孔結(jié)構(gòu)或是導(dǎo)孔數(shù)組，再流至螺旋狀線圈420。在螺旋狀線圈420中，貫穿位置420-a及420-b分別與螺旋狀線圈410的金屬線段415兩端的貫穿位置相對應(yīng)，因此流入螺旋狀線圈420的電流，在流出螺旋狀堆疊式積體電感400的中央抽頭(即端點421)之前，流經(jīng)金屬線段422及423。類似地，對第二感應(yīng)單元來說，電流由端點411-b流入，流過金屬線段414之后，透過貫穿位置410-c及貫穿位置420-c上的導(dǎo)孔結(jié)構(gòu)或是導(dǎo)孔數(shù)組流至螺旋狀線圈420的金屬線段424，最后由端點421流出。明顯可見，第一感應(yīng)單元主要包含螺旋狀線圈410的外部線圈的一半(即金屬線段412)及內(nèi)部線圈的一半(即金屬線段413)，以及螺旋狀線圈420的外部線圈的一半(即金屬線段423)及內(nèi)部線圈的一半(即金屬線段422)；第二感應(yīng)單元主要包含螺旋狀線圈410的外部線圈的另一半(即金屬線段414位于外圈的部分)及內(nèi)部線圈的另一半(即金屬線段414位于內(nèi)圈的部分)，以及螺旋狀線圈420的外部線圈的另一半(即金屬線段424位于外圈的部分)及內(nèi)部線圈的另一半(即金屬線段424位于內(nèi)圈的部分)。換句話說，螺旋狀堆疊式積體電感400的兩個感應(yīng)單元的大部分金屬線段平均分布于兩層金屬層，因此兩個感應(yīng)單元有極佳的對稱性，即兩者具有近似的質(zhì)量因子Q及電感值。

實際上，螺旋狀線圈410與螺旋狀線圈420為堆棧的結(jié)構(gòu)，螺旋狀線圈410的外圈與螺旋狀線圈420的內(nèi)圈互相重疊但不接觸。圖5為螺旋狀堆疊式積體電感400的橫截面圖(沿圖4的橫截面A-A’繪制)，圖5以第一金屬層(即螺旋狀線圈410所在的金屬層)位于第二金屬層(即螺旋狀線圈420所在的金屬層)的下方為例，但兩者亦可交換。如圖所示，螺旋狀線圈410與螺旋狀線圈420雖然同為兩圈的結(jié)構(gòu)，但螺旋狀線圈420的分布范圍較螺旋狀線圈410的分布范圍來得大；更詳細(xì)地說，螺旋狀線圈410的外圈在垂直螺旋狀線圈410及/或螺旋狀線圈420所在的平面的方向 上與螺旋狀線圈420的內(nèi)圈重疊但不接觸，而螺旋狀線圈410的內(nèi)圈則在同一垂直方向上不對應(yīng)螺旋狀線圈420的任何金屬線段，且螺旋狀線圈420的外圈則在同一垂直方向上不對應(yīng)螺旋狀線圈410的任何金屬線段。藉由此參差排列(即螺旋狀堆疊式積體電感400所包含的兩個螺旋狀線圈圈數(shù)相同，但涵蓋范圍不同，涵蓋范圍較小的螺旋狀線圈的最內(nèi)圈，以及涵蓋范圍較大的螺旋狀線圈的最外圈，在另一個螺旋狀線圈中沒有相對應(yīng)的金屬線段)，螺旋狀堆疊式積體電感400除了具有上述對稱性佳的優(yōu)點之外，還可以令其中央抽頭(即端點421)位于螺旋狀線圈的外側(cè)，而不需要藉由第一及第二金屬層之外的另一金屬線段來實作中央抽頭。

本發(fā)明的螺旋狀堆疊式積體電感不限于圖4所示的二圈與二圈的組合，可以是更多圈的組合。如圖6所示，螺旋狀堆疊式積體電感600由螺旋狀線圈610及620組合而成，各為三圈的結(jié)構(gòu)。螺旋狀線圈610的大部分金屬線段位于第一金屬層，而螺旋狀線圈620的大部分金屬線段位于第二金屬層。螺旋狀線圈610的某些金屬線段經(jīng)由第三金屬層連接(為求圖式簡潔，圖中未繪示位于第三金屬層之金屬線段)，例如透過設(shè)為一對的貫穿結(jié)構(gòu)610-a與610-b，金屬線段612及614可以藉由位于第三金屬層的金屬線段而互相連接；同理，貫穿結(jié)構(gòu)610-c與610-d為一對貫穿結(jié)構(gòu)。類似的，在螺旋狀線圈620中，貫穿結(jié)構(gòu)620-a與620-b為一對貫穿結(jié)構(gòu)，兩者分別對應(yīng)螺旋狀線圈610之金屬線段615兩端的貫穿結(jié)構(gòu)，以及貫穿結(jié)構(gòu)620-c與620-d為一對貫穿結(jié)構(gòu)，兩者分別對應(yīng)螺旋狀線圈610之金屬線段616兩端的貫穿結(jié)構(gòu)。第一感應(yīng)單元(由淺灰色線段所組成)位于螺旋狀線圈610及螺旋狀線圈620的部分透過相對應(yīng)的貫穿結(jié)構(gòu)610-e及620-e相連接，以及第二感應(yīng)單元(由深灰色線段所組成)位于螺旋狀線圈610及螺旋狀線圈620的部分透過相對應(yīng)的貫穿結(jié)構(gòu)610-f及620-f相連接。由圖可見，螺旋狀線圈610及螺旋狀線圈620各包含復(fù)數(shù)層線圈，每一層線圈約一半長度的金屬線段屬于第一感應(yīng)單元，另外的約一半長度屬于第二感應(yīng)單元，因此螺旋狀堆疊式積體電感600具有極佳的對稱性；此外，雖然為多層線圈的結(jié)構(gòu)，螺旋狀堆疊式積體電感600的中央抽頭621 仍可制作于螺旋狀線圈620的最外圈，可減少繞線的復(fù)雜度。此實施例中，螺旋狀線圈610及620的線圈數(shù)相同，兩者重疊時，螺旋狀線圈610最內(nèi)圈的金屬線段與螺旋狀線圈620最外圈的金屬線段，在垂直螺旋狀線圈610及/或螺旋狀線圈620所在之平面的方向上未對應(yīng)另一螺旋狀線圈的任何金屬線段。

圖7A為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體電感的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖。螺旋狀堆疊式積體電感700與螺旋狀堆疊式積體電感400類似，輸入端與中央抽頭位于電感的同側(cè)，差異在于螺旋狀線圈710與螺旋狀線圈720在輸入端(或中央抽頭)所在的一側(cè)與對面?zhèn)?即與橫截面A-A’平行的兩邊)，金屬線段為參差排列(意即上下兩層的金屬線段不完全對應(yīng)排列)，而在另兩側(cè)(即與橫截面B-B’平行的兩邊)，金屬線段為對應(yīng)排列。上述的對應(yīng)排列與參差排列可由圖7B及圖7C的橫截面圖(分別對應(yīng)橫截面A-A’與橫截面B-B’)進一步了解。在圖7B所示的橫截面中，螺旋狀線圈710的內(nèi)圈與外圈的金屬線段分別與螺旋狀線圈720的內(nèi)圈與外圈的金屬線段在垂直于螺旋狀線圈710及/或螺旋狀線圈720所在之平面的方向上互相對應(yīng)；此即上述所稱之對應(yīng)排列。在圖7C所示的橫截面中，螺旋狀線圈710的外圈的金屬線段與螺旋狀線圈720的內(nèi)圈的金屬線段在垂直于螺旋狀線圈710及/或螺旋狀線圈720所在之平面的方向上互相對應(yīng)，但螺旋狀線圈710的內(nèi)圈及螺旋狀線圈720的外圈在對方的螺旋狀線圈沒有相對應(yīng)的金屬線段；此即上述所稱的參差排列。

本發(fā)明除了公開螺旋狀堆疊式積體電感之外，亦同時公開螺旋狀堆疊式積體變壓器。圖8為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體變壓器之一實施例的結(jié)構(gòu)圖，其結(jié)構(gòu)主要與圖1的螺旋狀堆疊式積體電感100相同，不同之處在于，螺旋狀堆疊式積體電感100的端點121在螺旋狀堆疊式積體變壓器800中由端點821-a及端點821-b取代；更詳細(xì)地說，原本螺旋狀堆疊式積體電感100的第一感應(yīng)單元在螺旋狀堆疊式積體變壓器800中形成第一電感(以端點811-a及821-a為電感的兩端)，以及原本螺旋狀堆疊式積體電感 100的第二感應(yīng)單元在螺旋狀堆疊式積體變壓器800中形成第二電感(以端點811-b及821-b為電感的兩端)。第一電感及第二電感構(gòu)成一個變壓器，端點811-a及821-a形成變壓器的其中一埠，端點811-b及821-b形成變壓器的另一埠。在此實施例中，螺旋狀線圈810的端點位置與螺旋狀線圈820的端點位置位于螺旋狀堆疊式積體變壓器800的不同側(cè)。

圖9為本發(fā)明螺旋狀堆疊式積體變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖，其結(jié)構(gòu)主要與圖4的螺旋狀堆疊式積體電感400相同，不同之處在于，螺旋狀堆疊式積體電感400的端點421在螺旋狀堆疊式積體變壓器900中由端點921-a及端點921-b取代。端點911-a與921-a構(gòu)成第一電感的兩端，端點911-b與921-b構(gòu)成第二電感的兩端。在此實施例中，螺旋狀線圈910的端點位置與螺旋狀線圈920的端點位置位于螺旋狀堆疊式積體變壓器900的同一側(cè)。類似地，也可以藉由將圖3及圖6之螺旋狀堆疊式積體電感300及600的中央抽頭改為兩個端點而產(chǎn)生相對應(yīng)的螺旋狀堆疊式積體變壓器。

請注意，前揭圖標(biāo)中，組件的形狀、尺寸、比例以及螺旋狀線圈的圈數(shù)等僅為示意，供本技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員了解本發(fā)明之用，非用以限制本發(fā)明。在前述的實施例中螺旋狀線圈雖以四邊形為例，然而亦可能為其它多邊形；再者，螺旋狀線圈的每一圈金屬線段的寬度不一定相同，例如內(nèi)圈金屬線段的寬度可設(shè)計為大于外圈金屬線段的寬度。當(dāng)線圈半徑越小時，電感的Q值就會越低；然而加大內(nèi)圈的金屬線段的寬度，可使Q值上升，其效果比加大外圈金屬線段的寬度來得顯著。

雖然本發(fā)明的實施例如上所述，然而該些實施例并非用來限定本發(fā)明，本技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員可依據(jù)本發(fā)明的明示或隱含的內(nèi)容對本發(fā)明的技術(shù)特征施以變化，凡此種種變化均可能屬于本發(fā)明所尋求的專利保護范疇，換言之，本發(fā)明的專利保護范圍須視本說明書的權(quán)利要求限定的范圍為準(zhǔn)。

[符號說明]

100、300、400、600、700 螺旋狀堆疊式積體電感

110、120、310、320、410、420、610、620、710、720、810、820、910、920 螺旋狀線圈

110-a～110-d、120-a～120-b、310-a～310-h、320-a～320-f、410-a～410-d、420-a～420-d、610-a～610-f、620-a～620-f 貫穿結(jié)構(gòu)

111-a、111-b、121、321、411-a、411-b、421、621、811-a、811-b、821-a、821-b、911-a、911-b、921-a、921-b 端點

112、113、114、122、123、312、314、315、316、412、413、414、422、423、424、612、614、615、616 金屬線段

800、900 螺旋狀堆疊式積體變壓器。