技術特征：

技術總結
本申請涉及用于基底的氣相羥基自由基加工的系統(tǒng)和方法。用于加工基底的裝置和方法。該方法包括將基底設置在基底加工系統(tǒng)的加工室內(nèi)。所述基底包括在基底的工作表面上的含碳材料的層。該方法還包括在基底加工系統(tǒng)的蒸氣處理區(qū)中接收過氧化氫蒸氣，通過在蒸氣處理區(qū)中處理過氧化氫蒸氣來產(chǎn)生羥基自由基蒸氣，以及將羥基自由基蒸氣和剩余的過氧化氫蒸氣引導至基底的工作表面，使含碳材料被化學改性。

技術研發(fā)人員：伊安·J·布朗;華萊士·P·普林茨
受保護的技術使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
技術研發(fā)日：2017.03.09
技術公布日：2017.09.19