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一種薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板、顯示裝置與流程

文檔序號(hào):12737378閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種薄膜晶體管,其特征在于,該薄膜晶體管包括:源極金屬層,位于所述源極金屬層之上的第一歐姆接觸層,位于所述第一歐姆接觸層之上的第一絕緣層,位于所述第一絕緣層之上且與所述第一歐姆接觸層接觸的有源層,位于所述有源層之上的第二歐姆接觸層;位于所述第二歐姆接觸層之上的漏極金屬層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述有源層完全覆蓋所述第一絕緣層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述有源層在所述第一絕緣層兩側(cè)分別與所述第一歐姆接觸層接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述有源層包括非晶硅。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一歐姆接觸層和所述第二歐姆接觸層包括電子型摻雜非晶硅。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述薄膜晶體管還包括:

位于所述漏極金屬層之上的第二絕緣層;

位于所述第二絕緣層之上的柵極金屬層。

7.一種陣列基板,其特征在于,包括權(quán)利要求1~6任一權(quán)利要求所述的薄膜晶體管。

8.一種顯示面板,其特征在于,包括權(quán)利要求7所述的陣列基板。

9.一種顯示裝置,其特征在于,包括權(quán)利要求8所述的顯示面板。

10.一種薄膜晶體管制備方法,其特征在于,該方法包括:

在源極金屬層之上設(shè)置第一歐姆接觸層;

在所述第一歐姆接觸層之上設(shè)置第一絕緣層;

在所述第一絕緣層之上設(shè)置與所述第一歐姆接觸層接觸的有源層;

在所述有源層之上設(shè)置第二歐姆接觸層。

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