技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及射頻返回路徑的阻抗的控制。具體而言，一種用于控制射頻(RF)返回路徑的阻抗的系統(tǒng)包括匹配盒，該匹配盒進(jìn)一步包括匹配電路。該系統(tǒng)進(jìn)一步包括射頻發(fā)生器，該射頻發(fā)生器與匹配盒聯(lián)接上以經(jīng)由射頻供應(yīng)路徑的第一部分供應(yīng)射頻供應(yīng)信號到匹配盒。射頻發(fā)生器聯(lián)接到匹配盒以經(jīng)由射頻返回路徑的第一部分接收射頻返回信號。該系統(tǒng)還包括開關(guān)電路以及經(jīng)由射頻返回路徑的第二部分與該開關(guān)電路聯(lián)接上的等離子體反應(yīng)器。等離子體反應(yīng)器經(jīng)由射頻供應(yīng)路徑的第二部分聯(lián)接到匹配電路。該系統(tǒng)包括聯(lián)接到所述開關(guān)電路上的控制器，所述控制器被配置成基于調(diào)節(jié)配方控制所述開關(guān)電路以改變所述射頻返回路徑的阻抗。

技術(shù)研發(fā)人員：阿列克謝·馬拉霍塔諾夫;拉金德爾·迪恩賽;肯·盧徹斯;盧克·奧巴倫德
受保護(hù)的技術(shù)使用者：朗姆研究公司
技術(shù)研發(fā)日：2014.09.24
技術(shù)公布日：2017.07.11