技術編號：12820469
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。射頻返回路徑的阻抗的控制本申請是申請日為2014年9月24日、中國專利申請?zhí)枮?01410494730.1、發(fā)明名稱為“射頻返回路徑的阻抗的控制”的發(fā)明專利申請的分案申請。技術領域本發(fā)明的實施方式涉及控制射頻(RF)返回路徑的阻抗。背景技術基于等離子體的系統(tǒng)包括用于產(chǎn)生信號的供應源?；诘入x子體的系統(tǒng)進一步包括接收信號以產(chǎn)生等離子體的室。等離子體用于多種操作，包括清潔晶片，在晶片上沉積氧化物和薄膜，以及蝕刻除去一部分晶片或一部分氧化物和薄膜。等離子體的一些性能，例如等離子體中的駐波等，難以控制以...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
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