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一種薄膜晶體管的制備方法、薄膜晶體管以及顯示器件與流程

文檔序號(hào):11925503閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種薄膜晶體管,包括:柵電極、電極絕緣層、有源層、源電極和漏電極,其特征在于,所述薄膜晶體管還包括設(shè)置在所述有源層和所述源電極、漏電極之間的碳膜層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,還包括:在所述電極絕緣層上與所述碳膜層同一次構(gòu)圖工藝制作的碳膜觸控電極。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述有源層的材料為銦鎵鋅氧化物。

4.一種薄膜晶體管的制備方法,其特征在于,所述方法包括:

在襯底基板上通過(guò)構(gòu)圖工藝依次形成柵電極,電極絕緣層,有源層;

形成碳膜層,所述碳膜層覆蓋在所述有源層和所述電極絕緣層上;

形成金屬膜層,所述金屬膜層覆蓋在所述碳膜層上;

通過(guò)構(gòu)圖工藝形成源電極和漏電極。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述通過(guò)構(gòu)圖工藝形成源電極和漏電極之后還包括:

去除未被所述源電極、漏電極覆蓋的碳膜層。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述通過(guò)構(gòu)圖工藝形成源電極和漏電極之后還包括:

在所述碳膜層上覆蓋光刻保護(hù)膠層;

通過(guò)構(gòu)圖工藝形成光刻膠保護(hù)圖案;

去除未被所述源電極、漏電極以及所述光刻膠保護(hù)圖案覆蓋的碳膜層;

剝離所述光刻膠保護(hù)圖案,在所述光刻膠保護(hù)圖案位置形成碳膜觸控電極。

7.根據(jù)權(quán)利要求4或5或6所述的方法,其特征在于,所述形成碳膜層,所述碳膜層覆蓋在所述有源層和所述電極絕緣層上的步驟包括:

氣體粒子高速轟擊石墨靶材,使石墨靶材發(fā)生濺射;

濺射出的碳原子沉積在有源層和所述電極絕緣層上形成碳膜層。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法,其特征在于,所述去除未被所述源電極、漏電極覆蓋的碳膜層的步驟包括:

采用氧氣等離子蝕刻未被所述源電極、漏電極覆蓋的碳膜層,生成揮發(fā)性CO2和/或CO氣體以便于排出。

9.一種顯示器件,包括薄膜晶體管,所述薄膜晶體管包括柵電極、電極絕緣層、有源層、源電極和漏電極,其特征在于,所述薄膜晶體管還包括設(shè)置在所述有源層和所述源電極、漏電極之間的碳膜層。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的顯示器件,其特征在于,所述薄膜晶體管還包括在所述電極絕緣層上與所述碳膜層同一次構(gòu)圖工藝制作的碳膜觸控電極。

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