技術(shù)編號：11925503
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及TFT-LCD技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種薄膜晶體管的制備方法、薄膜晶體管以及顯示器件。背景技術(shù)TFT-LCD(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay)是目前的主流顯示產(chǎn)品，近年來各大面板廠商都在不斷擴大生產(chǎn)規(guī)模，市場需求近幾年隨著智能手機，電視的普及越來越大，提高生產(chǎn)效率和生產(chǎn)高質(zhì)量的背板是占領(lǐng)市場的關(guān)鍵。但TFT技術(shù)中銦鎵鋅氧化物IGZO(IndiumGalliumZincOxide)、a-Si等有源層在制程中的穩(wěn)定性問題一直是困擾其量產(chǎn)的關(guān)鍵因...
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