技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種檢測分析設(shè)備，尤其涉及一種質(zhì)譜儀用極桿及質(zhì)譜儀。上述極桿包括極桿本體和膜層，膜層采用真空鍍膜工藝形成在極桿本體上。真空鍍膜工藝相對(duì)于現(xiàn)有復(fù)雜加工工藝成本更低；通過對(duì)極桿本體表面進(jìn)行鍍膜處理，可彌補(bǔ)極桿本體的加工缺陷，改善極桿尺寸精度，使其滿足圓柱度、表面粗糙度等加工精度要求，同時(shí)使極桿獲得良好的導(dǎo)電性、耐腐蝕性和熱穩(wěn)定性、較少的真空釋氣、較低的二次離子效應(yīng)、表面粒子不易釋放、耐污染等特點(diǎn)，進(jìn)而使用該極桿的質(zhì)譜儀可產(chǎn)生理想電場，并且完成檢測工作的同時(shí)延長極桿的使用壽命；對(duì)極桿本體材料類型的要求降低，可選用價(jià)格低的材料。質(zhì)譜儀包括上述極桿，成本低、能夠保證理想電場的產(chǎn)生，使用壽命長。

技術(shù)研發(fā)人員：劉坤;孫飛;劉曉杰;姚文浩;鄧文宇;陳樹雷;杜廣煜;巴德純
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東北大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710042133
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.20
技術(shù)公布日：2017.05.03