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質(zhì)譜儀用極桿及質(zhì)譜儀的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11064216

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本發(fā)明涉及一種檢測分析設(shè)備,尤其涉及一種質(zhì)譜儀用極桿及質(zhì)譜儀。背景技術(shù)四極桿質(zhì)譜儀做為真空測量和檢漏中的重要氣體分析儀器,具有能同時分析空間內(nèi)多種殘余氣體成分的功能。因此在真空檢漏中,四極桿質(zhì)譜儀既可以做到對充有不同示漏介質(zhì)的密封系統(tǒng)進行單點檢漏,又能實現(xiàn)對各密封系統(tǒng)進行總漏率的測試,最大限度的縮短檢漏周期。四極桿質(zhì)譜儀主要由三部分組成:離子源、分析器和收集器。離子源的作用是將氣體分子離化,產(chǎn)生正離子并送入分析器,分析器對進入的離子進行篩選,將特定的離子送入收集器,收集器根據(jù)收集的離子含量,判斷...
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