技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種鎖眼鑰匙用定位工具，底座，與裝載臺(tái)底座相連接；水平部分，固定于底座表面，且與底座的表面相平行；垂直部分，與水平部分垂直連接；支撐架，與垂直部分垂直連接，且可沿垂直部分的長度方向滑動(dòng)；通孔，設(shè)于支撐架內(nèi)，并與支撐架和垂直部分都垂直；定位組件，包括旋鈕、定位塊以及連桿，且依次連接；彈性組件，套置于連桿外圍；套筒，與連桿遠(yuǎn)離定位塊的一端連接，其中，其開口方向平行且背對(duì)于定位塊。通過上述方案的實(shí)施，克服了在進(jìn)行鎖眼鑰匙校準(zhǔn)定位時(shí)，只能依靠目測(cè)和反復(fù)測(cè)試完成，從而導(dǎo)致的定位不準(zhǔn)確，不能滿足生產(chǎn)專業(yè)化和精細(xì)化的要求，并且會(huì)損傷晶圓盒以及影響生產(chǎn)效率的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：胡文祥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造（北京）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
文檔號(hào)碼：201621392338
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.16
技術(shù)公布日：2017.06.16