技術(shù)編號(hào):12643118
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種鎖眼鑰匙用定位工具。背景技術(shù)半導(dǎo)體行業(yè)中,在其制造工藝生產(chǎn)線上,每個(gè)機(jī)臺(tái)的裝載臺(tái)上都有兩個(gè)鎖眼鑰匙,其作用是開(kāi)關(guān)晶圓盒盒蓋上的鎖眼。目前,在機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的過(guò)程中,常常遇到鎖眼鑰匙卡在晶圓盒盒蓋上的鎖眼里的問(wèn)題,從而導(dǎo)致晶圓盒開(kāi)啟失敗。究其原因,是因?yàn)殒i眼鑰匙和晶圓盒盒蓋上的鎖眼沒(méi)有校準(zhǔn)定位好,鎖眼鑰匙沒(méi)有順利插入晶圓盒盒蓋的鎖眼而造成的。這樣不僅會(huì)損壞晶圓盒,還會(huì)使機(jī)臺(tái)停機(jī),從而影響生產(chǎn)。然而,由于沒(méi)有專用工具,目前只能靠目測(cè)和反復(fù)測(cè)試來(lái)完成鎖眼鑰...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。