本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種鎖眼鑰匙用定位工具。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體行業(yè)中，在其制造工藝生產(chǎn)線上，每個(gè)機(jī)臺的裝載臺上都有兩個(gè)鎖眼鑰匙，其作用是開關(guān)晶圓盒盒蓋上的鎖眼。

目前，在機(jī)臺生產(chǎn)的過程中，常常遇到鎖眼鑰匙卡在晶圓盒盒蓋上的鎖眼里的問題，從而導(dǎo)致晶圓盒開啟失敗。究其原因，是因?yàn)殒i眼鑰匙和晶圓盒盒蓋上的鎖眼沒有校準(zhǔn)定位好，鎖眼鑰匙沒有順利插入晶圓盒盒蓋的鎖眼而造成的。這樣不僅會損壞晶圓盒，還會使機(jī)臺停機(jī)，從而影響生產(chǎn)。

然而，由于沒有專用工具，目前只能靠目測和反復(fù)測試來完成鎖眼鑰匙的校準(zhǔn)定位，但這樣難免會有誤差，也不能滿足生產(chǎn)專業(yè)化和精細(xì)化的要求，所以設(shè)計(jì)一種鎖眼鑰匙定位用的專用工具，就變得非常重要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種鎖眼鑰匙用定位工具，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中在進(jìn)行鎖眼鑰匙校準(zhǔn)定位時(shí)，只能依靠目測和反復(fù)測試完成，從而導(dǎo)致的定位不準(zhǔn)確，不能滿足生產(chǎn)專業(yè)化和精細(xì)化的要求，并且會損傷晶圓盒以及影響生產(chǎn)效率的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種鎖眼鑰匙用定位工具，所述鎖眼鑰匙用定位工具包括：

底座，所述底座與裝載臺底座相連接；

水平部分，固定于所述底座表面，且與所述底座的表面相平行；

垂直部分，所述垂直部分與所述水平部分垂直連接；

支撐架，所述支撐架與所述垂直部分垂直連接，且可沿所述垂直部分的長度方向滑動；

通孔，所述通孔設(shè)于所述支撐架內(nèi)，并與所述支撐架和所述垂直部分都垂直；

定位組件，所述定位組件包括旋鈕、定位塊以及連桿，且所述旋鈕、定位塊、連桿依次連接，其中，至少所述連桿可穿過所述通孔；

彈性組件，所述彈性組件套置于所述連桿外圍；

套筒，所述套筒與所述連桿遠(yuǎn)離所述定位塊的一端連接，其中，所述套筒的開口方向平行且背對于所述定位塊，且所述套筒的深度大于或者等于所述鎖眼鑰匙的長度。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述鎖眼鑰匙用定位工具還包括開設(shè)于所述支撐架上的基準(zhǔn)槽，

其中，所述基準(zhǔn)槽開口端面與所述垂直部分和所述水平部分形成的面相平行，并與所述通孔相連通，所述基準(zhǔn)槽與所述定位塊配合，且所述基準(zhǔn)槽的深度大于或者等于所述鎖眼鑰匙的長度。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述定位塊的最長尺寸大于所述基準(zhǔn)槽的最短尺寸，且小于所述基準(zhǔn)槽的最長尺寸。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述定位塊的形狀為長方體形。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述套筒開口的尺寸與所述鎖眼鑰匙的尺寸相同。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述水平部分為水平滑軌，所述垂直部分為垂直滑軌。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述底座的底面的形狀為六邊形。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述底座上具有定位孔，所述裝載臺底座上具有支撐鍵，其中，所述底座與所述裝載臺底座通過所述定位孔與所述支撐鍵相連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述套筒與所述連桿的連接方式為螺紋連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述底座的底部至所述垂直部分的頂部的距離為400mm～500mm；定位完成狀態(tài)下，所述套筒自由端至所述底座遠(yuǎn)離所述套筒自由端一側(cè)的水平距離為400mm～600mm。

如上所述，本實(shí)用新型提供的鎖眼鑰匙用定位工具，在具體操作過程中，具有如下有益效果：

在進(jìn)行鎖眼鑰匙校準(zhǔn)定位時(shí)，提高其定位的準(zhǔn)確，以滿足生產(chǎn)專業(yè)化和精細(xì)化的要求，并且防止損傷晶圓盒，減少機(jī)臺停機(jī)次數(shù)，提高生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一和實(shí)施例二中提供的定位工具的正視圖。

圖2a-2b顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一中提供的定位工具的俯視圖。

圖3a-3b顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例二中提供的定位工具的俯視圖。

圖4a-4b顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例二中提供的定位工具的側(cè)視圖。

元件標(biāo)號說明

11 加載臺面板

12 鎖眼鑰匙

13 加載臺底座

14 支撐鍵

21 底座

211 定位孔

22 水平部分

23 垂直部分

24 支撐架

241 旋鈕

242 定位塊

243 基準(zhǔn)槽

244 通孔

245 連桿

246 套筒

247 彈性組件

具體實(shí)施方式

以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外不同的具體實(shí)施方式加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。

請參閱圖1至圖4b。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，雖圖示中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。

實(shí)施例一

如圖1至圖2b所示，本實(shí)施例提供一種鎖眼鑰匙12用定位工具，所述鎖眼鑰匙12用定位工具包括：底座21，所述底座21與裝載臺底座13相連接；水平部分22，固定于所述底座21表面，且與所述底座21的表面相平行；垂直部分23，所述垂直部分23與所述水平部分22垂直連接；支撐架24，所述支撐架24與所述垂直部分23垂直連接，且可沿所述垂直部分23的長度方向滑動；通孔244，所述通孔244設(shè)于所述支撐架24內(nèi)，并與所述支撐架24和所述垂直部分23都垂直；定位組件，所述定位組件包括旋鈕241、定位塊242以及連桿245，且所述旋鈕241、定位塊242、連桿245依次連接，其中，至少所述連桿245可穿過所述通孔244；彈性組件247，所述彈性組件247套置于所述連桿245外圍；套筒246，所述套筒246與所述連桿245遠(yuǎn)離所述定位塊242的一端連接，其中，所述套筒246的開口方向平行且背對于所述定位塊242，且所述套筒246的深度大于或者等于所述鎖眼鑰匙12的長度。

具體地，所述水平部分22、所述垂直部分23以及所述底座21的連接方式，可以保證所述支撐架24的整體與所述裝載臺底座13的面垂直。另外，所述支撐架24可以沿所述垂直部分23的長度方向滑動，使操作可以很靈活，保證了定位的準(zhǔn)確性。在本實(shí)施例中，還包括定位組件，其中，所述旋鈕241、定位塊242以及連桿245可以是一體成型的，如圓柱體或矩形柱體等，或者是相互連接，所述旋鈕241、定位塊242以及連桿245一體轉(zhuǎn)動，其連接方式不限，并且至少所述連桿245可穿過所述通孔244，從而保證在定位過程中，所述彈性組件247有足夠的運(yùn)動空間，所述通孔244用于支撐起所述的定位組件以及所述套筒246和所述彈性組件247。

在本實(shí)施例中，所述鎖眼鑰匙12的長度即為所述鎖眼鑰匙12垂直于所述加載臺面板11并露于其外部的部分，再具體實(shí)踐中，所述套筒246的深度大于或者等于所述鎖眼鑰匙12的長度，從而保證所述套筒246可以完全套置與所述鎖眼鑰匙12上，精確地完成定位。

作為示例，所述套筒246開口的尺寸與所述鎖眼鑰匙12的尺寸相同。在本實(shí)施例中，優(yōu)選地，使二者尺寸相同以保證所述鎖眼鑰匙12的準(zhǔn)確定位，并不限于可以完成所述鎖眼鑰匙12定位的其他尺寸。

作為示例，所述水平部分22為水平滑軌，所述垂直部分23為垂直滑軌。在本實(shí)施例中，優(yōu)選地，所述水平部分22和所述垂直部分23為滑軌，從而保證了操作的靈活性以及定位的準(zhǔn)確性。

作為示例，所述底座21的底面的形狀為六邊形。

作為示例，所述底座上具有定位孔211，所述裝載臺底座13上具有支撐鍵14，其中，所述底座21與所述裝載臺底座13通過所述定位孔211與所述支撐鍵14相連接。

具體地，通過此連接，可以保證所述支撐鍵14形成的面與所述支撐架24的整體，特別是所述支撐架24內(nèi)的所述通孔244的開口平面相垂直。

作為示例，所述套筒246與所述連桿245的連接方式為螺紋連接。當(dāng)然，所述連接方式可以為任意將所述套筒246與所述連桿245固定的連接方式，此處優(yōu)選為螺紋連接。

作為示例，所述底座21的底部至所述垂直部分23的頂部的距離為400mm～500mm；定位完成狀態(tài)下，所述套筒246自由端至所述底座21遠(yuǎn)離所述套筒自由端一側(cè)的水平距離為400mm～600mm。

依據(jù)上述實(shí)施例，在所述鎖眼鑰匙12用定位工具的具體操作過正中，首先拔出所述旋鈕241及所述定位塊242，移動所述定位工具，在本實(shí)施例中，優(yōu)選為通過所述水平滑軌和所述垂直滑軌完成，并拉住所述旋鈕241及所述定位塊242，將所述套筒246對準(zhǔn)所述鎖眼鑰匙12并套住，如圖2a所示；當(dāng)所述定位組件對正所述通孔244時(shí)，放松所述彈性組件247，所述彈性組件247推動所述套筒246、所述連桿245、所述定位塊242、所述旋鈕241一起向所述套筒246自由端的方向運(yùn)動，完成所述鎖眼鑰匙12的定位，如圖2b所示。

實(shí)施例二

如圖3a至圖4b所示，本實(shí)施例提供一種鎖眼鑰匙用定位工具，所述鎖眼鑰匙12用定位工具包括水平部分22、垂直部分23和底座21，其中，所述底座21與裝載臺底座13連接，所述水平部分22固定于所述底座21，所述垂直部分23垂直連接于所述水平部分22，所述鎖眼鑰匙12用定位工具至少還包括：

支撐架24，所述支撐架與所述垂直部分23垂直連接，且可沿所述垂直部分的長度方向滑動；通孔244，所述通孔設(shè)于所述支撐架24內(nèi)，并與所述支撐架24和所述垂直部分23都垂直；定位組件，所述定位組件包括旋鈕241、定位塊242以及連桿245，且所述旋鈕241、定位塊242、連桿245依次連接，其中，至少所述連桿245可穿過所述通孔244；彈性組件247，所述彈性組件247套置于所述連桿245外圍；套筒246，所述套筒246與所述連桿245遠(yuǎn)離所述定位塊242的一端連接，其中，所述套筒246的開口方向平行且背對于所述定位塊242，且所述套筒246的深度大于或者等于所述鎖眼鑰匙12的長度。

本實(shí)施例中所述的鎖眼鑰匙用定位工具的上述結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一中所述上述結(jié)構(gòu)大致相同，二者的區(qū)別在于：本實(shí)施例二中，所述鎖眼鑰匙12用定位工具還包括開設(shè)于所述支撐架24上的基準(zhǔn)槽243，其中，所述基準(zhǔn)槽243開口端面與所述垂直部分23和所述水平部分22形成的面相平行，并與所述通孔244相連通，所述基準(zhǔn)槽243與所述定位塊242配合，且所述基準(zhǔn)槽243的深度大于或者等于所述鎖眼鑰匙12的長度。優(yōu)選地，所述定位塊242的最長尺寸大于所述基準(zhǔn)槽243的最短尺寸，且小于所述基準(zhǔn)槽243的最長尺寸。更進(jìn)一步優(yōu)選地，所述定位塊242的形狀為長方體形。

具體地，本實(shí)施例中，所述基準(zhǔn)槽243開口的端面與所述垂直部分23和所述水平部分22形成的面相平行，也即其開口端面垂直于所述加載臺底座13所在的面，平行于加載臺面板11所在的面，以完成定位，并且，所述基準(zhǔn)槽243與所述定位塊242配合，另外，所述基準(zhǔn)槽243的深度大于或者等于所述鎖眼鑰匙12的長度，可以保證所述定位塊242在所述基準(zhǔn)槽243內(nèi)的移動空間大于所述套筒246向所述鎖眼鑰匙12移動的空間，以完成精確定位。在具體實(shí)踐中，實(shí)際上是，通過調(diào)整所述基準(zhǔn)槽243與所述定位塊242的相對位置而完成所述鎖眼鑰匙12的定位，即，在所述套筒246對準(zhǔn)所述鎖眼鑰匙12前，所述定位塊242的較長部分，此處優(yōu)選為最長尺寸部分，對準(zhǔn)所述基準(zhǔn)槽243較短部分，此處優(yōu)選為最短尺寸部分，以使所述定位塊242卡在所述基準(zhǔn)槽243遠(yuǎn)離所述通孔244的外側(cè)；在在所述套筒246對準(zhǔn)所述鎖眼鑰匙12后，旋轉(zhuǎn)所述旋鈕241，使所述定位塊242與所述基準(zhǔn)槽243重合時(shí)，即使所述定位塊242的最長尺寸部分對準(zhǔn)所述基準(zhǔn)槽243的最長尺寸部分，從而保證所述定位組價(jià)可以順利通過所述基準(zhǔn)槽243和所述通孔244，以完成定位。

此外，本實(shí)施例中的所述鎖眼鑰匙用定位工具的其他結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一中所述的鎖眼鑰匙用定位工具的其他結(jié)構(gòu)完全相同，具體請參閱實(shí)施例一，此處不再累述。

依據(jù)上述實(shí)施例，在所述鎖眼鑰匙12用定位工具的具體操作過正中，首先拔出所述旋鈕241及所述定位塊242，使所述定位塊242的最長尺寸部分，對準(zhǔn)所述基準(zhǔn)槽243最短尺寸部分，以使所述定位塊242卡在所述基準(zhǔn)槽243遠(yuǎn)離所述通孔244的外側(cè)，移動所述定位工具，在本實(shí)施例中，優(yōu)選為通過所述水平滑軌和所述垂直滑軌完成，將所述套筒246對準(zhǔn)所述鎖眼鑰匙12并套住，如圖4a所示；旋轉(zhuǎn)所述旋鈕241，使所述定位塊242的最長尺寸部分對準(zhǔn)所述基準(zhǔn)槽243的最長尺寸部分，當(dāng)所述定位塊242與所述基準(zhǔn)槽243重合時(shí)，所述彈性組件247推動所述套筒246、所述連桿245、所述定位塊242、所述旋鈕241一起向所述套筒246自由端的方向運(yùn)動，所述定位塊242在所述彈性組件247的作用下卡入所述基準(zhǔn)槽243，則完成所述鎖眼鑰匙12的定位，如圖4b所示。

綜上所述，本實(shí)用新型提供一種鎖眼鑰匙用定位工具，所述鎖眼鑰匙用定位工具包括水平部分、垂直部分和底座，其中，所述底座與裝載臺底座連接，所述水平部分固定于所述底座，所述垂直部分垂直連接于所述水平部分，所述鎖眼鑰匙用定位工具至少還包括：支撐架，所述支撐架與所述垂直部分垂直連接，且可沿所述垂直部分的長度方向滑動；通孔，所述通孔設(shè)于所述支撐架內(nèi)，并與所述支撐架和所述垂直部分都垂直；定位組件，所述定位組件包括旋鈕、定位塊以及連桿，且所述旋鈕、定位塊、連桿依次連接，其中，至少所述連桿可穿過所述通孔；彈性組件，所述彈性組件套置于所述連桿外圍；套筒，所述套筒與所述連桿遠(yuǎn)離所述定位塊的一端連接，其中，所述套筒的開口方向平行且背對于所述定位塊。通過上述方案的實(shí)施，克服了在進(jìn)行鎖眼鑰匙校準(zhǔn)定位時(shí)，只能依靠目測和反復(fù)測試完成，從而導(dǎo)致的定位不準(zhǔn)確，不能滿足生產(chǎn)專業(yè)化和精細(xì)化的要求，并且會損傷晶圓盒以及影響生產(chǎn)效率的問題。

上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。