本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓固定裝置及晶圓清洗系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體晶圓對微污染物的存在非常敏感，為了達(dá)成晶圓表面無污染的目標(biāo)，必須移除表面的污染物并避免在制程前讓污染物重新殘余在晶圓表面，因此半導(dǎo)體晶圓在制造過程中，需要經(jīng)過多次的表面清洗步驟，以去除表面附著的金屬離子、原子、有機(jī)物及微粒。

目前晶圓清洗技術(shù)大致可分為濕式與干式兩大類，但仍以濕式清洗法為主流。所謂濕式化學(xué)清洗技術(shù)，是以液狀酸堿溶劑與去離子水之混合物清洗晶圓表面，隨后加以潤濕再干燥的程序。

在對晶圓進(jìn)行濕法清洗時，一般需要通過固定裝置對晶圓進(jìn)行固定，但由于與固定裝置接觸的晶圓邊緣沒有空隙，因此清洗液無法對晶圓邊緣進(jìn)行有效清潔。

鑒于此，有必要設(shè)計一種新的晶圓固定裝置及晶圓清洗系統(tǒng)用以解決上述技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實用新型的目的在于提供一種晶圓固定裝置及晶圓清洗系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有固定裝置對晶圓進(jìn)行固定時，無法對晶圓邊緣進(jìn)行有效清潔的問題。

為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種晶圓固定裝置，所述晶圓固定裝置包括：

導(dǎo)板；

位于所述導(dǎo)板上表面的至少兩個固定結(jié)構(gòu)，以及

位于所述導(dǎo)板內(nèi)、并在相鄰兩個固定結(jié)構(gòu)之間設(shè)有出液口的液體管路。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)板包括主導(dǎo)板，與所述主導(dǎo)板連接的多條分支導(dǎo)板，其中，所述多條分支導(dǎo)板相互平行。

優(yōu)選地，所述分支導(dǎo)板的數(shù)量為3～4條。

優(yōu)選地，所述分支導(dǎo)板的厚度為1～2cm。

優(yōu)選地，所述固定結(jié)構(gòu)包括多個位于所述分支導(dǎo)板上的固定部，其中，所述固定部與所述分支導(dǎo)板一一對應(yīng)，并且所述任一條分支導(dǎo)板上的固定部位置相同。

優(yōu)選地，所述固定部為梯形結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述固定部的高度為1～2cm。

優(yōu)選地，所述出液口位于同一分支導(dǎo)板上相鄰兩個固定部之間。

優(yōu)選地，所述液體管路的直徑為3～10mm。

本實用新型還提供一種晶圓清洗系統(tǒng)，所述晶圓清洗系統(tǒng)包括：

晶圓清洗裝置；

位于所述晶圓清洗裝置內(nèi)、如權(quán)利要求1～9任一項所述的晶圓固定裝置；以及

固定在所述晶圓固定裝置上的晶圓。

如上所述，本實用新型的晶圓固定裝置及晶圓清洗系統(tǒng)，具有以下有益效率：

1.本實用新型所述晶圓固定裝置通過導(dǎo)板內(nèi)設(shè)置液體管路，并在相鄰兩個固定結(jié)構(gòu)之間設(shè)置出液口，使得晶圓固定裝置固定晶圓的同時，可以通過液體管路將清洗液從出液口流出，實現(xiàn)對晶圓邊緣的清洗，提高清洗效率。

2.本實用新型所述的晶圓清洗系統(tǒng)，在空閑時，還可以通過液體管路對晶圓固定裝置進(jìn)行自我清潔，避免有雜質(zhì)留在所述晶圓固定裝置上，污染晶圓。

附圖說明

圖1顯示為本實用新型所述晶圓固定裝置的俯視圖。

圖2顯示為本實用新型所述晶圓固定裝置的正視圖。

圖3顯示為本實用新型所述晶圓固定裝置的側(cè)視圖。

圖4顯示為本實用新型所述晶圓固定裝置裝載晶圓后的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，圖4a為俯視圖，圖4b為正視圖，圖4c為側(cè)視圖。

元件標(biāo)號說明

1 導(dǎo)板

11 主導(dǎo)板

12 分支導(dǎo)板

2 固定結(jié)構(gòu)

21 固定部

3 液體管路

31 出液口

4 晶圓

具體實施方式

以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實用新型還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本實用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。

請參閱圖1和圖4c。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實用新型可實施的范疇。

實施例一

如圖1至圖3所示，本實施例提供一種晶圓固定裝置，所述晶圓固定裝置包括：

導(dǎo)板1；

位于所述導(dǎo)板1上表面的至少兩個固定結(jié)構(gòu)2，以及

位于所述導(dǎo)板1內(nèi)、并在相鄰兩個固定結(jié)構(gòu)2之間設(shè)有出液口31的液體管路3。

具體的，所述導(dǎo)板1包括主導(dǎo)板11，與所述主導(dǎo)板11連接的多條分支導(dǎo)板12，其中，所述多條分支導(dǎo)板12相互平行。

優(yōu)選地，所述分支導(dǎo)板12的厚度為1～2cm。

優(yōu)選地，所述分支導(dǎo)板12的數(shù)量為3～4條；進(jìn)一步優(yōu)選地，在本實施例中，所述分支導(dǎo)板12的數(shù)量為3條。

需要說明的是，本實施例中所述3條分支導(dǎo)板12的排列呈V型結(jié)構(gòu)，即中間的分支導(dǎo)板低于其兩側(cè)的分支導(dǎo)板，其中，所述V型結(jié)構(gòu)的夾具與晶圓4的大小相關(guān)；本實施例中通過將3條分支導(dǎo)板12設(shè)置成V型結(jié)構(gòu)，從而使位于其上的晶圓4更穩(wěn)固。

具體的，所述固定結(jié)構(gòu)2包括多個位于所述分支導(dǎo)板12上的固定部21，其中，所述固定部21與所述分支導(dǎo)板12一一對應(yīng)，并且所述任一條分支導(dǎo)板12上的固定部21位置相同。

需要說明的是，通過固定結(jié)構(gòu)2對所述晶圓4進(jìn)行固定時，將晶圓4插入相鄰兩個固定結(jié)構(gòu)2之間，并通過固定部21實現(xiàn)晶圓4的固定。

優(yōu)選地，所述固定部的高度為1～2cm。

優(yōu)選地，所述固定部21為梯形結(jié)構(gòu)。

需要說明的是，所述固定部21為上窄下寬的梯形結(jié)構(gòu)，當(dāng)晶圓插入相鄰兩個固定部21之間時，上窄下寬的梯形結(jié)構(gòu)能夠更好地固定晶圓4。優(yōu)選地，在本實施例中，所述梯形結(jié)構(gòu)的上邊寬為5mm，下邊寬為1cm。

需要說明的是，所述導(dǎo)板1和所述固定結(jié)構(gòu)2可通過一體成型工藝制得，其中，所述導(dǎo)板1與所述固定結(jié)構(gòu)2的材質(zhì)相同，為石英，聚全氟烷氧基樹脂(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)或聚醚醚酮(PEEK)等。

具體的，所述液體管路3是通過在導(dǎo)板1中鉆孔形成；其中，所述出液口31位于同一分支導(dǎo)板12上相鄰兩個固定部21之間。

優(yōu)選地，所述液體管路3的直徑為3～10mm。

優(yōu)選地，所述液體管路3內(nèi)液體的流速約為1～30L/min，其中，液體的流向如圖1中的箭頭所示。

實施例二

本實施例提供一種晶圓清洗系統(tǒng)，所述晶圓清洗系統(tǒng)包括：

晶圓清洗裝置；

位于所述晶圓清洗裝置內(nèi)、如實施例一所述的晶圓固定裝置；以及

固定在所述晶圓固定裝置上的晶圓。

具體的，所述晶圓清洗裝置為任意一種能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓清洗的設(shè)備。

具體的，通過實施例一所述晶圓固定裝置對晶圓4進(jìn)行固定時，如圖4所示，其中，圖4a為所述晶圓固定裝置裝載晶圓后的俯視圖，圖4b為所述晶圓固定裝置裝載晶圓后的正視圖，圖4c為所述晶圓固定裝置裝載晶圓后的側(cè)視圖。

具體的，通過所述晶圓清洗系統(tǒng)對所述晶圓4進(jìn)行清洗時，所述晶圓固定裝置中的液體管路3也會接入清洗液，清洗液在對晶圓4進(jìn)行清洗的同時，也會流入液體管路3內(nèi)，并從出液口31流出，實現(xiàn)清洗與所述晶圓固定裝置接觸的晶圓邊緣，提高晶圓的清洗效率。當(dāng)所述晶圓清洗系統(tǒng)空閑時，所述晶圓固定裝置也可通過液體管路3進(jìn)行自我清潔，清除殘留在晶圓固定裝置上的雜質(zhì)，避免其污染晶圓。

綜上所述，本實用新型的晶圓固定裝置及晶圓清洗系統(tǒng)，具有以下有益效率：

1.本實用新型所述晶圓固定裝置通過導(dǎo)板內(nèi)設(shè)置液體管路，并在相鄰兩個固定結(jié)構(gòu)之間設(shè)置出液口，使得晶圓固定裝置固定晶圓的同時，可以通過液體管路將清洗液從出液口流出，實現(xiàn)對晶圓邊緣的清洗，提高清洗效率。

2.本實用新型所述的晶圓清洗系統(tǒng)，在空閑時，還可以通過液體管路對晶圓固定裝置進(jìn)行自我清潔，避免有雜質(zhì)留在所述晶圓固定裝置上，污染晶圓。

上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。