1.一種碳化鎢鍍膜的鎢制離子植入機(jī)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碳化鎢鍍膜的鎢制離子植入機(jī)結(jié)構(gòu)包括：
一主體層，所述主體層為含鎢金屬的化合物或純鎢金屬；以及
一碳化鎢鍍膜層，所述碳化鎢鍍膜層是設(shè)在所述主體層之上。
2.一種使用如權(quán)利要求1所述的碳化鎢鍍膜的鎢制離子植入機(jī)結(jié)構(gòu)的離子植入機(jī)，其特征在于，其中包含：
一主機(jī)部，是為提供電壓；以及
一離子腔，所述離子腔與所述主機(jī)部連接，并保持真空，其中所述離子腔還包含：
一底板，與所述主機(jī)部連接；
四個(gè)隔板，其中各所述隔板具有底邊與所述底板連接，各所述隔板的兩側(cè)邊分別與相鄰的所述隔板連接；
一離子腔出口，其中所述離子腔出口與各所述隔板的頂邊連接；以及
四個(gè)側(cè)板，其中各所述側(cè)板分別與對(duì)應(yīng)各所述隔板連接；
其中所述底板、各所述隔板、所述離子腔出口的其中之一或任二者以上為所述主體層。
3.一種使用如權(quán)利要求1所述的碳化鎢鍍膜的鎢制離子植入機(jī)結(jié)構(gòu)的離子植入機(jī)，其特征在于，其中包含：
一主機(jī)部，是為提供電壓；以及
一離子腔，所述離子腔與所述主機(jī)部連接，并保持真空，其中所述離子腔還包含：
一底板，與所述主機(jī)部連接；
四個(gè)隔板，其中各所述隔板具有底邊與所述底板連接，各所述隔板的兩側(cè)邊分別與相鄰的所述隔板連接；
一第一離子腔出口，其中所述離子腔出口與各所述隔板的頂邊連接；
一第二離子腔出口，其中所述第二離子腔出口設(shè)在所述第一離子腔出口之上；以及
四個(gè)側(cè)板，其中各所述側(cè)板分別與對(duì)應(yīng)各所述隔板連接；
其中所述底板、各所述隔板、所述第一離子腔出口、所述第二離子腔出口的其中之一或任二者以上為所述主體層。