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一種薄膜晶體管及顯示器面板的制作方法

文檔序號:12643213閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種薄膜晶體管及顯示器面板,其中薄膜晶體管,包括襯底和設(shè)置在所述襯底上的由金屬氧化物構(gòu)成的有源層,所述有源層與柵極疊層相毗鄰;所述有源層部分區(qū)域上覆蓋有電極;所述電極與所述有源層之間還包括第一絕緣層;所述電極上覆蓋有第二絕緣層;所述有源層在所述第二絕緣層覆蓋下的區(qū)域分別形成源區(qū)和漏區(qū),在非所述第二絕緣層覆蓋下的區(qū)域形成溝道區(qū)。本實(shí)用新型還涉及具有上述薄膜晶體管的顯示器面板。上述薄膜晶體管既具有傳統(tǒng)背溝道刻蝕結(jié)構(gòu)晶體管的小尺寸,又具有比傳統(tǒng)刻蝕阻擋層結(jié)構(gòu)晶體管更優(yōu)越的性能,包括低的源漏寄生電阻、更好的開態(tài)和關(guān)態(tài)性能、增強(qiáng)的可靠性。具有上述薄膜晶體管的顯示器面板兼具高性能、高可靠性、低成本等優(yōu)點(diǎn),更符合顯示器面板的發(fā)展趨勢。

技術(shù)研發(fā)人員:陸磊;王文;郭海成
受保護(hù)的技術(shù)使用者:陸磊;王文;郭海成
文檔號碼:201621190870
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.28
技術(shù)公布日:2017.06.16

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