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一種發(fā)光二極管的制作方法

文檔序號:11762565閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種發(fā)光二極管,其特征在于,包括:

襯底;

第一類型半導(dǎo)體層,所述第一類型半導(dǎo)體層設(shè)置在所述襯底上,所述第一類型半導(dǎo)體層具有臺階,所述臺階以外區(qū)域設(shè)置有第一類型電極;

多量子阱發(fā)光層,所述多量子阱發(fā)光層設(shè)置在所述臺階上;

第二類型半導(dǎo)體層,所述第二類型半導(dǎo)體層設(shè)置在所述多量子阱發(fā)光層上,所述第二類型半導(dǎo)體層上設(shè)置有第二類型電極;

第二類型接觸層,所述第二類型接觸層設(shè)置在所述第二類型半導(dǎo)體層的上表面上;

超晶格反射層,所述超晶格反射層設(shè)置在所述第二類型半導(dǎo)體層以及所述第二類型接觸層之間,或者設(shè)置在所述第二類型接觸層上表面上;以及

基板,所述第一類型電極以及所述第二類型電極倒裝在所述基板上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述超晶格反射層為AlGaN/GaN超晶格結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)光二極管,其特征在于,,所述AlGaN/GaN超晶格結(jié)構(gòu)的周期數(shù)為20~50。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的發(fā)光二極管,其特征在于,周期厚度為2~4nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述第一類型半導(dǎo)體層是由N型氮化鎵形成的,所述第二類型半導(dǎo)體層是由P型氮化鎵形成的。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述第二類型接觸層為InGaN。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述襯底以及所述第一類型半導(dǎo)體層之間進(jìn)一步包括:

第一類型半導(dǎo)體成核層,所述第一類型半導(dǎo)體成核層設(shè)置在所述襯底上;以及

第一類型半導(dǎo)體層緩沖層,所述第一類型半導(dǎo)體層緩沖層設(shè)置在所述第一類型半導(dǎo)體成核層以及所述第一類型半導(dǎo)體層之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管,其特征在于,進(jìn)一步包括:應(yīng)力釋放層,所述應(yīng)力釋放層設(shè)置在所述第一類型半導(dǎo)體層以及所述多量子阱發(fā)光層之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述應(yīng)力釋放層由多個依次層疊的InGaN亞層以及GaN亞層形成,或者所述應(yīng)力釋放層為InGaN/GaN超晶格結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管,其特征在于,進(jìn)一步包括:電子阻擋層,所述電子阻擋層設(shè)置在所述多量子阱發(fā)光層以及所述第二類型半導(dǎo)體層之間。

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