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一種石墨烯?黑磷異質(zhì)結(jié)光電探測(cè)器的制作方法

文檔序號(hào):12196659閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種石墨烯-黑磷異質(zhì)結(jié)光電探測(cè)器,其特征在于包括自下而上依次層疊設(shè)置的硅襯底(1)、二氧化硅層(2)、若干平行布置的黑磷層(3)以及覆蓋在各黑磷層(3)上的石墨烯層(4);各黑磷層(3)中的黑磷與石墨烯層(4)中的石墨烯構(gòu)成異質(zhì)結(jié);石墨烯層(4)將黑磷層(3)完全覆蓋;石墨烯層邊緣上方設(shè)置有源/漏電極(5),源/漏電極(5)延伸到黑磷層與石墨烯層重疊區(qū)域上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯-黑磷異質(zhì)結(jié)光電探測(cè)器,其特征在于上述硅襯底(1)上朝向二氧化硅層(2)的一側(cè)涂覆有作為源/漏電極(5)的導(dǎo)電層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯-黑磷異質(zhì)結(jié)光電探測(cè)器,其特征在于上述源/漏電極(5)是透明電極,或者是金、鈦、鋁、鉻、鎢、鎳中單種金屬電極或兩種或多種金屬?gòu)?fù)合電極。

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