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晶體管的制作方法

文檔序號(hào):12191528閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種晶體管,其特征在于,所述晶體管包括柵極(5)、源極(3)、漏極(4)、絕緣層(1)和溝道層(2);

所述柵極(5)和所述溝道層(2)分別位于所述絕緣層(1)的兩側(cè),所述溝道層(2)僅為一個(gè)過渡金屬硫族化合物層;

所述源極(3)和所述漏極(4)分別位于所述溝道層(2)表面上的兩端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體管,其特征在于,所述源極(3)與所述漏極(4)的距離為20nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體管,其特征在于,所述過渡金屬硫族化合物層為WSe2。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體管,其特征在于,所述過渡金屬硫族化合物層為MoS2

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體管,其特征在于,所述絕緣層(1)為SiO2。

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