本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)硅材料清洗領(lǐng)域，具體地指一種多功能硅料清洗機(jī)。

背景技術(shù)：

隨著鑄錠技術(shù)的發(fā)展，回收硅料表面致密度由全部致密向部分致密轉(zhuǎn)變，所需硅料清洗工藝類型由單一向復(fù)合轉(zhuǎn)變?，F(xiàn)有市場和各用戶使用的硅料清洗機(jī)多為單種工藝類型，單體堿洗機(jī)或者酸洗機(jī)。要實(shí)現(xiàn)清洗場所同時具備的酸洗和堿洗工藝，必須購買2臺及以上的不同種類清洗設(shè)備。以現(xiàn)有市場11槽酸洗或堿洗硅料清洗設(shè)備計(jì)算，若同時配置1臺酸洗機(jī)和1臺堿洗機(jī)，綜合售價約在200萬左右。

鑄錠回收硅料清洗一般采用混酸清洗或者堿腐蝕辦法進(jìn)行，一臺設(shè)備只滿足一種工藝條件，由于硅料表面潔凈度和致密程度不同，不同種類回收硅料需采用不同清洗工藝。以半熔硅錠尾部硅料為例，由于在切割過程種滲入大量切割液和沉積硅粉。在選擇酸洗設(shè)備進(jìn)行清洗時，硅料按酸腐蝕、漂洗沖淋、潛送 、超聲 、切水、烘干流程進(jìn)行清洗，使用氫氟酸和硝酸混合溶液清洗效果不理想。其切割液不與混酸溶液發(fā)生反應(yīng)，無去除效果；混酸溶液受溫度限制，硅料浸泡時間一般在10-30秒之間，沉積硅粉無法完全反應(yīng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種多功能硅料清洗機(jī)，合理布局硅料清洗機(jī)槽體布局，優(yōu)化機(jī)械手臂運(yùn)行流程，滿足硅料清洗中酸洗和堿洗工藝的集成。

本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題，所采用的技術(shù)方案是：一種多功能硅料清洗機(jī)，它從進(jìn)料口方向往出料口方向依次設(shè)置有第一堿槽、第二堿槽、沖淋漂洗槽、酸洗槽、純水潛送槽、第一超聲清洗槽、第二超聲清洗槽、氮?dú)馇兴酆偷谝缓娓刹郏?/p>

所述酸洗槽上設(shè)置有第一機(jī)械臂，所述第二超聲清洗槽上設(shè)置有第二機(jī)械臂。

進(jìn)一步地，所述第二堿槽相對一側(cè)設(shè)有堿液排放口，所述酸洗槽相對一側(cè)設(shè)有強(qiáng)酸排放口，所述純水潛送槽相對一側(cè)設(shè)有第一廢水排放口，所述氮?dú)馇兴巯鄬σ粋?cè)設(shè)有第二廢水排放口。

進(jìn)一步地，第一烘干槽往出料口位置方向還設(shè)置有第二烘干槽和第三烘干槽。

進(jìn)一步地，所述第一堿槽相對一側(cè)設(shè)有第一漏液排放口，所述氮?dú)馇兴酆偷谝缓娓刹巯噜徫恢靡粋?cè)設(shè)有第二漏液排放口。

進(jìn)一步地，所述多功能硅料清洗機(jī)進(jìn)料口一側(cè)還設(shè)置有控制系統(tǒng)運(yùn)行的觸摸板操作面板。

本實(shí)用新型通過合理布局硅料清洗機(jī)槽體布局，優(yōu)化了機(jī)械手臂運(yùn)行流程，滿足了硅料清洗中酸洗和堿洗工藝的集成，大大節(jié)約了購買不同種類清洗設(shè)備的成本。

附圖說明

圖1 為一種多功能硅料清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，第一堿槽1、第一漏液排放口1a、第二堿槽2、堿液排放口2a、沖淋漂洗槽3、第一機(jī)械臂4、酸洗槽5、強(qiáng)酸排放口5a、純水潛送槽6、第一廢水排放口6a、第一超聲清洗槽7、第二機(jī)械臂8、第二超聲清洗槽9、氮?dú)馇兴?0、第二廢水排放口10a、第一烘干槽11、第二漏液排放口11a、第二烘干槽12、第三烘干槽13、觸摸板操作面板14。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

如圖1所示，一種多功能硅料清洗機(jī)，它從進(jìn)料口方向往出料口方向依次設(shè)置有第一堿槽1、第二堿槽2、沖淋漂洗槽3、酸洗槽5、純水潛送槽6、第一超聲清洗槽7、第二超聲清洗槽9、氮?dú)馇兴?0和第一烘干槽11、第二烘干槽12和第三烘干槽13；所述多功能硅料清洗機(jī)進(jìn)料口一側(cè)還設(shè)置有控制系統(tǒng)運(yùn)行的觸摸板操作面板14，這樣工作人員可以很方便地直接通過觸摸板操作面板14來控制第一機(jī)械臂4和第二機(jī)械臂8的搬運(yùn)過程，并且控制各物料的添加與排放；

所述酸洗槽5上設(shè)置有第一機(jī)械臂4，所述第二超聲清洗槽9上設(shè)置有第二機(jī)械臂8。

所述第二堿槽2相對一側(cè)設(shè)有堿液排放口2a，所述酸洗槽5相對一側(cè)設(shè)有強(qiáng)酸排放口5a，所述純水潛送槽6相對一側(cè)設(shè)有第一廢水排放口6a，所述氮?dú)馇兴?0相對一側(cè)設(shè)有第二廢水排放口10a。這樣使用過的堿液或強(qiáng)酸可以很快的進(jìn)行排放以回收利用。

所述第一堿槽1相對一側(cè)設(shè)有第一漏液排放口1a，所述氮?dú)馇兴?0和第一烘干槽11相鄰位置一側(cè)設(shè)有第二漏液排放口11a。整個清洗機(jī)系統(tǒng)中存在的漏液可以通過這些排放口排出收集，以回收利用。

本實(shí)施例工作過程如下：

本實(shí)施例的堿洗工藝流程為：硅料由花籃裝料后由進(jìn)料口進(jìn)料，通過第一機(jī)械手臂4提拉放第一堿槽1或第二堿槽2中，第一堿槽1或第二堿槽2為并行排列，持續(xù)進(jìn)料時，第一機(jī)械手臂4放籃按待料槽位順序放籃，腐蝕完成后按工藝完成時間優(yōu)先順序提籃；堿腐蝕完成后，料籃按工藝時間順序放入沖淋漂洗槽3，沖淋結(jié)束后料籃進(jìn)酸洗槽5，沖淋漂洗槽3排空沖淋后廢水，重新加高純水；料籃進(jìn)酸洗槽5后，完成硅表面酸中和，由第一機(jī)械手臂4提料放入沖淋漂洗槽3，進(jìn)行沖淋漂洗；漂洗結(jié)束第一機(jī)械手臂4提拉放入純水潛送槽6，漂洗結(jié)束沖淋漂洗槽3不排水，第一機(jī)械手臂4完成前段行程。第二機(jī)械臂8待料籃由純水潛送槽6一側(cè)移動至另一側(cè)限位后，提拉放入第一超聲清洗槽7，工藝時間完成后入第二超聲清洗槽9，第二級超聲結(jié)束后放入氮?dú)馇兴?0，切水完成后按待料優(yōu)先原則放入第一烘干槽11、第二烘干槽12和第三烘干槽13，烘干結(jié)束后提料下料。

本實(shí)施例酸洗工藝流程為：硅料由花籃裝料后由進(jìn)料口進(jìn)料，第一機(jī)械手臂4提拉放入酸洗槽5，第一堿槽1、第二堿槽2為屏蔽狀態(tài)，混合酸洗完成后，由第一機(jī)械手臂4提料放入沖淋漂洗槽3，漂洗結(jié)束后沖淋漂洗槽3排水，重新加高純水；第一機(jī)械手臂4提拉放入純水潛送槽6，第一機(jī)械手臂4完成前段行程。第二機(jī)械臂8待料籃由純水潛送槽6一側(cè)移動至另一側(cè)限位后，提拉放入第一超聲清洗槽7，工藝時間完成后入第二超聲清洗槽9，第二級超聲結(jié)束后放入氮?dú)馇兴?0，切水完成后按待料優(yōu)先原則放入第一烘干槽11、第二烘干槽12和第三烘干槽13，烘干結(jié)束后提料下料。

在上述第一堿槽1或第二堿槽2中，配比體積比為1:12堿水溶液；酸洗槽5中，配比體積比為1:5的氫氟酸和硝酸溶液。

本實(shí)施例通過合理布局硅料清洗機(jī)槽體布局，通過兩個機(jī)械手臂完成硅料的搬運(yùn)，優(yōu)化了機(jī)械手臂運(yùn)行流程，同時增加的氮?dú)馇兴?0可以有效將硅料上的水吹掃干凈，有利于后續(xù)烘干步驟，最終本實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)硅料清洗中酸洗和堿洗工藝的集成。