本實(shí)用新型涉及一種基片轉(zhuǎn)移裝置，具體涉及一種自動轉(zhuǎn)移藍(lán)寶石基片的裝置，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

PSS(Patterned Sapphire Substrate，圖形化藍(lán)寶石襯底)是在藍(lán)寶石襯底表面形成具有微觀圖形的藍(lán)寶石襯底。圖形化襯底一方面能夠有效降低外延結(jié)構(gòu)層的位錯(cuò)密度，提高外延材料的晶體質(zhì)量和均勻性，進(jìn)而提高發(fā)光二極管的內(nèi)部量子效率；另一方面，由于圖形結(jié)構(gòu)增加了光的散射，改變了發(fā)光二極管的光學(xué)線路，提升出光幾率。

PSS工藝包括清洗、甩干、涂膠、光刻、刻蝕、清洗、甩干等，由于不同工序的工裝夾具的材質(zhì)及基片數(shù)量不同，需要將PSS基片在不同工序的工裝夾具之間進(jìn)行轉(zhuǎn)移。人工轉(zhuǎn)移過程容易造成PSS基片劃傷、破片等，降低生產(chǎn)良率；并且人員操作的速度慢，生產(chǎn)效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型提供一種自動轉(zhuǎn)移藍(lán)寶石基片的裝置，可有效提藍(lán)寶石基片轉(zhuǎn)移速度及成品良率。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的一種自動轉(zhuǎn)移藍(lán)寶石基片的裝置，包括機(jī)架，機(jī)架上分別安裝有導(dǎo)軌、上料單元、轉(zhuǎn)移單元和控制單元，所述上料單元和控制單元連接，所述轉(zhuǎn)移單元和控制單元連接；

所述上料單元用于承載基片，所述轉(zhuǎn)移單元用于轉(zhuǎn)移基片，所述控制單元分別用于控制上料單元承載基片、及控制轉(zhuǎn)移單元轉(zhuǎn)移基片；

所述上料單元包括后道基片承載盒、與后道基片承載盒配合的前道基片承載盒，所述后道基片承載盒用于承載轉(zhuǎn)移后的基片，且所述后道基片承載盒沿導(dǎo)軌移動，所述前道基片承載盒用于承載待轉(zhuǎn)移的基片；

所述轉(zhuǎn)移單元包括機(jī)械手、用于驅(qū)動機(jī)械手的轉(zhuǎn)移控制裝置，所述轉(zhuǎn)移控制裝置控制機(jī) 械手做水平位移，將基片由前道基片承載盒推送至后道基片承載盒內(nèi)，基片轉(zhuǎn)移后，機(jī)械手水平退出前道基片承載盒至等待位；

所述控制單元控制后道基片承載盒沿導(dǎo)軌水平位移至升降支撐座，位于升降支撐座上的后道基片承載盒沿Z軸方向下降至與前道基片承載盒對應(yīng)位置，在轉(zhuǎn)移單元中機(jī)械手和轉(zhuǎn)移控制裝置的作用下完成基片轉(zhuǎn)移后，沿升降支撐架下降至機(jī)架底端，后沿導(dǎo)軌水平傳送至下料位。

作為改進(jìn)，所述控制單元中包括控制器、與控制器連接的信號發(fā)射器，所述后道基片承載盒、轉(zhuǎn)移控制裝置中分別設(shè)有信號接收器。

作為改進(jìn)，所述機(jī)械手的下端設(shè)有短軌，所述轉(zhuǎn)移控制裝置接收到控制單元發(fā)生的移動命令信號后，轉(zhuǎn)移控制裝置控制機(jī)械手在短軌上水平移動。

作為改進(jìn)，所述導(dǎo)軌包括水平軌一和水平軌二，水平軌一位于機(jī)架頂端，水平軌二位于機(jī)架底端。

作為改進(jìn)，所述控制單元設(shè)置在下料位的一側(cè)。

作為改進(jìn)，所述升降支撐架的一側(cè)設(shè)有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置與控制單元連接，控制單元控制驅(qū)動裝置驅(qū)動升降支撐座沿Z軸方向下降。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，當(dāng)需要轉(zhuǎn)移基片時(shí)，通過控制單元控制后道基片承載盒沿導(dǎo)軌水平位移至升降支撐座，位于升降支撐座上的后道基片承載盒沿Z軸方向下降至與前道基片承載盒對應(yīng)位置，控制單元通過轉(zhuǎn)移控制裝置控制機(jī)械手做水平位移，將基片由前道基片承載盒推送至后道基片承載盒內(nèi)，在轉(zhuǎn)移單元中機(jī)械手和轉(zhuǎn)移控制裝置的作用下完成基片轉(zhuǎn)移后，后道基片承載盒沿升降支撐架下降至機(jī)架底端，后沿水平導(dǎo)軌水平傳送至下料位。該自動轉(zhuǎn)移藍(lán)寶石基片的裝置，可有效替代人工，提高生產(chǎn)效率及成品良率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1、后道基片承載盒，2、前道基片承載盒，3、機(jī)械手，4、轉(zhuǎn)移控制裝置，5、機(jī)架，6、升降支撐座，7、控制單元，8、導(dǎo)軌，9、等待位，10、下料位，11、升降支撐架。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明了，下面通過附圖及實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。但是應(yīng)該理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限制本實(shí)用新型的范圍。

除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)術(shù)語和科學(xué)術(shù)語與屬于本實(shí)用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同，本文中在本實(shí)用新型的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本實(shí)用新型。

如圖1所示，一種自動轉(zhuǎn)移藍(lán)寶石基片的裝置，包括機(jī)架5，機(jī)架5上分別安裝有導(dǎo)軌8、上料單元、轉(zhuǎn)移單元和控制單元，所述上料單元和控制單元連接，所述轉(zhuǎn)移單元和控制單元連接；

所述上料單元用于承載基片，所述轉(zhuǎn)移單元用于轉(zhuǎn)移基片，所述控制單元分別用于控制上料單元承載基片、及控制轉(zhuǎn)移單元轉(zhuǎn)移基片；

所述上料單元包括后道基片承載盒1、與后道基片承載盒1配合的前道基片承載盒2，所述后道基片承載盒1用于承載轉(zhuǎn)移后的基片，且所述后道基片承載盒1沿導(dǎo)軌8移動，所述前道基片承載盒2用于承載待轉(zhuǎn)移的基片；

所述轉(zhuǎn)移單元包括機(jī)械手3、用于驅(qū)動機(jī)械手3的轉(zhuǎn)移控制裝置4，所述轉(zhuǎn)移控制裝置4控制機(jī)械手3做水平位移，將基片由前道基片承載盒2推送至后道基片承載盒1內(nèi)，基片轉(zhuǎn)移后，機(jī)械手3水平退出前道基片承載盒2至等待位9；

所述控制單元控制后道基片承載盒1沿導(dǎo)軌8水平位移至升降支撐座6，位于升降支撐座6上的后道基片承載盒1沿Z軸方向下降至與前道基片承載盒2對應(yīng)位置，在轉(zhuǎn)移單元中機(jī)械手3和轉(zhuǎn)移控制裝置4的作用下完成基片轉(zhuǎn)移后，沿升降支撐架11下降至機(jī)架5底端，后沿導(dǎo)軌8水平傳送至下料位10。

作為實(shí)施例的改進(jìn)，所述控制單元中包括控制器、與控制器連接的信號發(fā)射器，所述后道基片承載盒1、轉(zhuǎn)移控制裝置4中分別設(shè)有信號接收器，所述控制器通過信號發(fā)射器向后道基片承載盒1中的信號接收器發(fā)出命令信號，使后道基片承載盒1在導(dǎo)軌8上移動，當(dāng)后道基片承載盒1移動至與前道基片承載盒2對應(yīng)位置時(shí)，控制器通過信號發(fā)射器向轉(zhuǎn)移控制裝置4的信號接收器發(fā)出命令，使轉(zhuǎn)移控制裝置4控制機(jī)械手3做水平位移，將基片由前道基片承載盒2推送至后道基片承載盒內(nèi)1內(nèi)，然后控制器再發(fā)出命令，控制后道基片承載盒1沿導(dǎo)軌8下降至機(jī)架5底端，后沿水平導(dǎo)軌水平傳送至下料位10。

作為實(shí)施例的改進(jìn)，所述機(jī)械手3的下端設(shè)有短軌，所述轉(zhuǎn)移控制裝置4接收到控制單元發(fā)生的移動命令信號后，轉(zhuǎn)移控制裝置4控制機(jī)械手3在短軌上水平移動。采用短軌設(shè)計(jì)，使轉(zhuǎn)移控制裝置4驅(qū)動機(jī)械手3移動更方便、快捷。

作為實(shí)施例的改進(jìn)，所述導(dǎo)軌8包括水平軌一和水平軌二，水平軌一位于機(jī)架5頂端，水平軌二位于機(jī)架5底端，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，安裝使用方便，確保后道基片承載盒1在導(dǎo)軌8上移動更便捷。

作為實(shí)施例的改進(jìn)，所述控制單元7設(shè)置在下料位10的一側(cè)，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，安裝使用方便。

作為實(shí)施例的改進(jìn)，所述升降支撐架11的一側(cè)設(shè)有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置與控制單元7連接，控制單元7控制驅(qū)動裝置驅(qū)動升降支撐座6沿Z軸方向下降，當(dāng)升降支撐座6沿升降支撐架11下降至與前道基片承載盒2同水平面時(shí)，驅(qū)動裝置控制升降支撐座6停止移動，此時(shí)位于升降支撐座6上的后道基片承載盒1與前道基片承載盒2配合完成基片轉(zhuǎn)移，待基片由前道基片承載盒2轉(zhuǎn)移至后道基片承載盒1后，控制單元7繼續(xù)控制驅(qū)動裝置驅(qū)動升降支撐座6下降，至升降支撐座6處于水平軌二同平面時(shí)，升降支撐座6沿水平導(dǎo)軌水平傳送至下料位10。

當(dāng)需要轉(zhuǎn)移基片時(shí)，通過控制單元7控制后道基片承載盒1沿導(dǎo)軌8中水平軌一水平位移至升降支撐座6，然后后道基片承載盒1在升降支撐座6的作用下，沿Z軸方向下降至與前道基片承載盒2對應(yīng)位置，控制單元7通過轉(zhuǎn)移控制裝置4控制機(jī)械手3做水平位移，將基片由前道基片承載盒2推送至后道基片承載盒1內(nèi)，在轉(zhuǎn)移單元中機(jī)械手3和轉(zhuǎn)移控制裝置4的作用下完成基片轉(zhuǎn)移后，后道基片承載盒1沿升降支撐架11下降至機(jī)架5底端，后沿水平軌二水平傳送至下料位。該自動轉(zhuǎn)移藍(lán)寶石基片的裝置，可有效替代人工，提高生產(chǎn)效率及成品良率。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換或改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。