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一種深N阱隔離測試結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11990305閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種深N阱隔離測試結(jié)構(gòu),其特征在于,所述深N阱隔離測試結(jié)構(gòu)包括P型襯底及形成于所述P型襯底中的第一深N阱、第二深N阱、第一N阱、第二N阱、第一P阱、第二P阱;

其中:

所述第一P阱與第二P阱分離設(shè)置,所述第一N阱與第二N阱分離設(shè)置;且所述第一P阱、第二P阱的側(cè)面靠下部分分別被所述第一N阱、第二N阱所包圍;

所述第一深N阱、第二深N阱分別形成于所述第一P阱、第二P阱下方,且所述第一深N阱、第二深N阱的邊緣部分分別與所述第一N阱、第二N阱連接;

所述第一P阱、第二P阱分別通過相應(yīng)的引出部與第一測試焊盤、第二測試焊盤連接;

所述第一N阱、第二N阱分別通過相應(yīng)的引出部與第三測試焊盤、第四測試焊盤連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深N阱隔離測試結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一P阱、第二P阱、第一N阱、第二N阱的引出部分別包括形成于所述P型襯底上部的第一P型重摻雜層、第二P型重摻雜層、第一N型重摻雜層、第二N型重摻雜層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的深N阱隔離測試結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一P型重摻雜層、第二P型重摻雜層、第一N型重摻雜層、第二N型重摻雜層之間通過形成于所述P型襯底中的淺溝槽隔離結(jié)構(gòu)隔離。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的深N阱隔離測試結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一P型重摻雜層、第二P型重摻雜層、第一N型重摻雜層、第二N型重摻雜層分別通過第一導(dǎo)電線、第二導(dǎo)電線、第三導(dǎo)電線、第四導(dǎo)電線與所述第一測試焊盤、第二測試焊盤、第三測試焊盤、第四測試焊盤連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深N阱隔離測試結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一N阱、第二N阱之間形成有P型摻雜區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深N阱隔離測試結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一P阱、第二P阱、第一深N阱、第二深N阱的橫截面均為矩形,所述第一N阱、第二N阱的橫截面均為矩形環(huán)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深N阱隔離測試結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一測試焊盤、第二測試焊盤、第三測試焊盤、第四測試焊盤的橫截面為圓形或矩形。

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