本申請涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種柔性襯底、顯示裝置、柔性顯示面板及其制備方法。
背景技術(shù):
隨著顯示技術(shù)的不斷發(fā)展,顯示面板的應(yīng)用越來越廣泛,用戶對于顯示面板的功能和外觀的要求也越來越多樣化。為了滿足用戶的這一需求,可變形彎曲的柔性顯示面板應(yīng)運(yùn)而生。
在柔性顯示面板的制備過程中,通常需要將柔性襯底附著在載體基板上,以給柔性顯示面板的顯示器件的制備提供平穩(wěn)的制備平臺,提高所述顯示器件的制備良率,同時(shí)降低所述顯示器件的制備難度。在所述顯示器件制備完成后,需要將所述柔性襯底與所述載體基板進(jìn)行剝離操作,現(xiàn)有技術(shù)中通常采用激光剝離工藝(Laser Lift Off,LLO)使所述柔性襯底與所述載體基板進(jìn)行分離,具體流程包括:利用激光或紫外線透過所述載體基板照射柔性襯底與所述載體基板的附著位置,使所述載體基板與所述柔性襯底之間附著性較低而便于進(jìn)行所述載體基板與所述柔性襯底的剝離。
但是由于在所述顯示器件的制備過程中不可避免的需要接觸載體基板,使接觸部分有可能會(huì)出現(xiàn)附著雜質(zhì)或出現(xiàn)劃傷的情況,雖然在進(jìn)行激光剝離工藝之前會(huì)對所述載體基板進(jìn)行清洗處理,但清洗過程無法清除劃傷并且在清洗處理之后的夾持過程中仍然有附著雜質(zhì)的可能,這些劃傷或附著雜質(zhì)的區(qū)域會(huì)降低激光或紫外線的透過能量,從而使得這些區(qū)域?qū)?yīng)的所述柔性襯底接收的曝光能量低于臨界閾值,進(jìn)而造成當(dāng)所述載體基板與所述柔性襯底進(jìn)行分離時(shí)對所述柔性襯底造成撕扯而使所述柔性顯示面板的顯示器件受損的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種柔性顯示裝置、柔性顯示面板及其制備方法,以實(shí)現(xiàn)降低由于在載體基板與所述柔性襯底進(jìn)行剝離過程中對柔性襯底造成撕扯而使所述柔性顯示面板的顯示器件受損的概率,從而提升所述柔性顯示面板的生產(chǎn)良率的目的。
為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的,本發(fā)明實(shí)施例提供了如下技術(shù)方案:
一種柔性顯示面板,包括:
柔性襯底,所述柔性襯底具有至少一個(gè)位于邊緣的犧牲缺口;位于所述柔性襯底表面除所述犧牲缺口以外區(qū)域的顯示器件。
可選的,所述犧牲缺口為多邊形或圓形。
可選的,所述犧牲缺口的數(shù)量大于或等于3個(gè)。
可選的,所述犧牲缺口的數(shù)量為3個(gè),其中兩個(gè)所述犧牲缺口位于所述柔性襯底底邊的2個(gè)角落區(qū)域,另一個(gè)所述犧牲缺口位于所述柔性襯底的頂邊中央?yún)^(qū)域。
可選的,所述犧牲缺口的數(shù)量為4個(gè),且4個(gè)所述犧牲缺口分別位于所述柔性襯底的4個(gè)角落區(qū)域。
可選的,各所述犧牲缺口的面積大于或等于0.5mm2。
一種柔性顯示裝置,包括至少一個(gè)如上述任一項(xiàng)所述的柔性顯示面板。
一種柔性顯示面板的制備方法,包括:提供載體基板,所述載體基板表面附著有柔性襯底,所述柔性襯底背離所述載體基板一側(cè)具有多個(gè)犧牲區(qū)域;所述載體基板背離所述柔性襯底一側(cè)表面具有多個(gè)與所述柔性襯底的多個(gè)犧牲區(qū)域一一對應(yīng)的夾持區(qū)域,各所述夾持區(qū)域和與其對應(yīng)的所述犧牲區(qū)域相對,所述夾持區(qū)域和所述犧牲區(qū)域用于提供可夾持部位;在所述柔性襯底表面除所述犧牲區(qū)域以外的區(qū)域形成至少一個(gè)顯示器件;對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理,獲得至少一個(gè)所述柔性顯示面板;所述對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理包括:對所述柔性襯底進(jìn)行切割處理,獲得至少一個(gè)未剝離柔性顯示面板,各所述未剝離柔性顯示面板包括多個(gè)所述犧牲區(qū)域,并分別對所述未剝離柔性顯示面板的柔性襯底進(jìn)行剝離操作,以使所述未剝離柔性顯示面板的柔性襯底與所述載體基板分離;或,對所述柔性襯底進(jìn)行剝離處理,以使所述至少一個(gè)柔性顯示面板的柔性襯底與所述載體基板分離,并對剝離處理后的柔性襯底進(jìn)行切割處理,獲得至少一個(gè)所述柔性顯示面板。
可選的,所述對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理,獲得至少一個(gè)柔性顯示面板之前還包括:對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割,使所述柔性襯底的犧牲區(qū)域處形成犧牲缺口。
可選的,所述對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割包括:對所述柔性襯底的犧牲區(qū)域進(jìn)行切割;或,對所述柔性襯底的犧牲區(qū)域及所述載體基板與所述犧牲區(qū)域的對應(yīng)位置進(jìn)行切割。
可選的,所述對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理之前還包括:在所述犧牲區(qū)域背離所述載體基板一側(cè)表面形成防滑膜層。
可選的,所述防滑膜層為表面具有紋理結(jié)構(gòu)的二氧化硅層或氮化硅層或光敏材料層。
從上述技術(shù)方案可以看出,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種柔性顯示裝置、柔性顯示面板及其制備方法,其中,所述柔性顯示面板的柔性襯底具有至少一個(gè)位于邊緣的犧牲缺口,所述犧牲缺口為對犧牲區(qū)域切割后形成的缺口,所述犧牲區(qū)域用于在所述柔性顯示面板的制備過程中提供可夾持部位,并且由于所述顯示器件分布于所述柔性襯底表面除所述犧牲缺口以外的區(qū)域,避免了由于在夾持過程中對所述犧牲區(qū)域或所述犧牲區(qū)域相對的載體基板造成劃傷或附著雜質(zhì),而導(dǎo)致的在對所述柔性襯底與所述載體基板分離時(shí)所述犧牲區(qū)域與所述載體基板之間仍存在粘性,而使得所述犧牲區(qū)域的顯示器件被撕扯而損毀的情況出現(xiàn),從而實(shí)現(xiàn)了降低所述柔性顯示面板的顯示器件在所述柔性襯底與所述載體基板剝離過程中受損的概率的目的,提升了所述柔性顯示面板的制備良率。
附圖說明
為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
圖1為本申請的一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為沿圖1中所示柔性顯示面板沿AA’線進(jìn)行剖面的截面結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為本申請的一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性襯底的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為本申請的另一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性襯底的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5為本申請的又一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性襯底的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖6為本申請的再一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性襯底的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖7為本申請的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例提供的一種柔性襯底的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖8為本申請的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例提供的一種柔性襯底的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖9為本申請的另一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的截面結(jié)構(gòu)示意圖;
圖10為本申請的一個(gè)實(shí)施例提供的一種像素驅(qū)動(dòng)膜層、顯示功能層和外圍驅(qū)動(dòng)電路的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖11為本申請的一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的制備方法的流程示意圖;
圖12為本申請的另一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的制備方法的流程示意圖;
圖13-圖22為本申請的一個(gè)實(shí)施例提供的一種載體基板制備流程示意圖;
圖23為本申請的又一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的制備方法的流程示意圖;
圖24為本申請的另一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖25為本申請的又一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖26為本申請的再一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖27為本申請的再一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的制備方法的流程示意圖;
圖28為本申請的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的制備方法的流程示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
本申請實(shí)施例提供了一種柔性顯示面板,參考圖1和圖2,圖1為所述柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖,圖2為圖1中所示柔性顯示面板沿AA’線進(jìn)行剖面的截面結(jié)構(gòu)示意圖,所述柔性顯示面板包括:
柔性襯底100,所述柔性襯底100具有至少一個(gè)位于邊緣的犧牲缺口101,所述犧牲缺口101為對犧牲區(qū)域切割后形成的缺口,所述犧牲區(qū)域用于在所述柔性顯示面板的制備過程中提供可夾持部位;
位于所述柔性襯底100表面除所述犧牲缺口101以外區(qū)域的顯示器件200。
需要說明的是,所述顯示器件200是指包括為了實(shí)現(xiàn)所述柔性顯示面板的顯示功能而設(shè)置的器件結(jié)構(gòu),包括但不限于多個(gè)薄膜晶體管、走線、陽極、顯示功能材料和陰極。
所述柔性襯底100優(yōu)選為聚酰亞胺。但本申請對所述柔性襯底100的具體材料并不做限定,具體視實(shí)際情況而定。
還需要說明的是,在所述柔性顯示面板的制備過程中,通常地,所述柔性襯底100需要通過涂布在載體基板表面,以給所述顯示器件200的制備提供一個(gè)平穩(wěn)的平臺,提升所述顯示器件200的制備良率,降低所述顯示器件200的制備難度;在所述顯示器件200的制備過程中,所述犧牲區(qū)域以及載體基板背離所述柔性襯底100一側(cè),且與所述犧牲區(qū)域相對的夾持區(qū)域用于提供可夾持部位,并且由于所述顯示器件200分布于所述柔性襯底100表面除所述犧牲缺口101以外的區(qū)域,避免了由于在夾持過程中對所述犧牲區(qū)域或所述夾持區(qū)域造成劃傷或附著雜質(zhì),而導(dǎo)致的在對所述柔性襯底100與所述載體基板分離時(shí)所述犧牲區(qū)域與所述載體基板之間仍存在粘性,而使得所述犧牲區(qū)域的顯示器件200被撕扯而損毀的情況出現(xiàn),從而實(shí)現(xiàn)了降低所述柔性顯示面板的顯示器件200在所述柔性襯底100與所述載體基板剝離過程中受損的概率,提升了所述柔性顯示面板的制備良率。
參考圖3和圖4,圖3和圖4為本申請的一個(gè)實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖,在圖3中,所述柔性顯示面板僅包括一個(gè)位于所述柔性襯底100邊緣的所述犧牲缺口101,在圖4中,所述柔性顯示面板包括兩個(gè)位于所述柔性襯底100邊緣的所述犧牲缺口101。本申請對所述柔性顯示面板的柔性襯底100具有的犧牲缺口101的數(shù)量以及位置并不做限定,具體視實(shí)際情況而定。
在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本申請的一個(gè)實(shí)施例中,參考圖5和圖6,圖5和圖6為所述柔性襯底100的俯視結(jié)構(gòu)示意圖,所述犧牲缺口101為多邊形或圓形。
在附圖5中示出了所述犧牲缺口101為圓形的情況;附圖6中示出了所述犧牲缺口101為多邊形的情況,另外所述多邊形可以是矩形或正五邊形或正六邊形。在本申請的其他實(shí)施例中,所述犧牲缺口101還可以是橢圓形。本申請對所述犧牲缺口101的具體設(shè)置形狀并不做限定,具體視實(shí)際情況而定。
在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本申請的另一個(gè)實(shí)施例中,所述犧牲缺口101的數(shù)量大于或等于3個(gè)。
需要說明的是,由于所述犧牲缺口101是由所述犧牲區(qū)域切割后形成的,因此所述犧牲缺口101的數(shù)量即對應(yīng)于所述犧牲區(qū)域的數(shù)量。一般情況下,當(dāng)可夾持部位超過兩個(gè)時(shí),即可較為穩(wěn)定的夾持所述載體基板進(jìn)行響應(yīng)操作。因此所述犧牲缺口101的數(shù)量大于或等于3個(gè)即可,當(dāng)然,所述犧牲缺口101的數(shù)量越多,在所述顯示器件200的制備過程中提供的可夾持部位的選擇就會(huì)越多。具體地,在本申請的一個(gè)實(shí)施例中,所述犧牲缺口101的數(shù)量為3個(gè),那么相應(yīng)的,所述犧牲區(qū)域和在所述載體基板背離所述柔性襯底100一側(cè)表面就會(huì)存在于這3個(gè)所述犧牲區(qū)域相對的夾持區(qū)域。在本申請的另一個(gè)實(shí)施例中,所述犧牲區(qū)域的數(shù)量還可以為4個(gè)5個(gè)或6個(gè)或10個(gè)。本申請對所述犧牲缺口101的具體數(shù)量并不做限定,具體視實(shí)際情況而定。
在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本申請的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,參考圖7,圖7為所述柔性襯底100的俯視結(jié)構(gòu)示意圖,所述犧牲缺口101的數(shù)量為3個(gè),其中兩個(gè)所述犧牲缺口101位于所述柔性襯底100底邊的2個(gè)角落區(qū)域,另一個(gè)所述犧牲缺口101位于所述柔性襯底100的頂邊中央?yún)^(qū)域。
在本實(shí)施例中,將兩個(gè)所述犧牲缺口101設(shè)置于所述柔性襯底100底邊的2個(gè)角落區(qū)域的原因是:一般情況下所述柔性襯底100底邊附近區(qū)域?yàn)樗鋈嵝燥@示面板的綁定區(qū)域,其中央?yún)^(qū)域的走線設(shè)置較密集,在底邊的中央?yún)^(qū)域很難找到不設(shè)置所述顯示器件200的區(qū)域,但所述柔性襯底100底邊的兩個(gè)角落區(qū)域的走線設(shè)置相對稀疏,便于找到不設(shè)置所述顯示器件200的區(qū)域用以設(shè)置所述犧牲缺口101或所述犧牲區(qū)域。
還需要說明的是,所述角落區(qū)域是指包括所述柔性襯底100的一個(gè)底邊頂點(diǎn),且邊界位于該頂點(diǎn)附近的區(qū)域,例如圖7中所示的標(biāo)號A10區(qū)域,但所述犧牲缺口101或所述犧牲區(qū)域的設(shè)置可以覆蓋所述角落區(qū)域包括的所述柔性襯底100的頂點(diǎn),也可以不覆蓋所述角落區(qū)域包括的所述柔性襯底100的頂點(diǎn)。本申請對此并不做限定,具體視實(shí)際情況而定。
在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本申請的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,參考圖8,圖8為所述柔性襯底100的俯視結(jié)構(gòu)示意圖,所述犧牲缺口101的數(shù)量為4個(gè),且4個(gè)所述犧牲缺口101分別位于所述柔性襯底100的4個(gè)角落區(qū)域。
需要說明的是,將4個(gè)所述犧牲缺口101或所述犧牲區(qū)域設(shè)置于所述柔性襯底100的4個(gè)角落區(qū)域的設(shè)置方式可以在所述柔性顯示面板的制備過程中提供較為容易尋找的可夾持部位。
在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本申請的另一個(gè)實(shí)施例中,各所述犧牲缺口的面積大于或等于0.5mm2。
需要說明的是,所述犧牲缺口的面積即對應(yīng)于所述犧牲區(qū)域的面積。
發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn),當(dāng)所述犧牲區(qū)域的面積大于或等于0.5mm2時(shí),即可提供能夠穩(wěn)定夾持的可夾持部位,但同時(shí)為了盡量遠(yuǎn)離所述顯示器件,所述犧牲區(qū)域的面積又不可以過大,在本申請的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,所述犧牲區(qū)域的面積為1mm2,在本申請的其他實(shí)施例中,所述犧牲區(qū)域的面積還可以為0.5mm2或0.8mm2或1.2mm2,本申請對所述犧牲區(qū)域的面積的具體取值并不做限定,具體視實(shí)際情況而定。
還需要說明的是,各所述犧牲區(qū)域的面積可以相同,也可以不同。
下面對所述顯示器件的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明,參考圖9,圖9為所述柔性顯示面板沿BB’線進(jìn)行剖面的截面結(jié)構(gòu)示意圖,所述柔性顯示面板包括:
位于所述柔性襯底100表面的像素驅(qū)動(dòng)膜層210和外圍驅(qū)動(dòng)電路(圖9中未示出);
位于所述像素驅(qū)動(dòng)膜層210背離所述柔性襯底一側(cè)表面的顯示功能層220;
位于所述柔性襯底100表面,將所述像素驅(qū)動(dòng)膜層210、外圍驅(qū)動(dòng)電路和所述顯示功能層220封裝在一起的封裝結(jié)構(gòu)230。
圖9中未示出所述柔性襯底的犧牲缺口。
具體地,參考圖10,圖10為所述像素驅(qū)動(dòng)膜層、顯示功能層和外圍驅(qū)動(dòng)電路的結(jié)構(gòu)示意圖,包括:
像素電路、數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)電路213以及第一柵極驅(qū)動(dòng)電路214和第二柵極驅(qū)動(dòng)電路215,其中,像素電路通過多條數(shù)據(jù)線211從所述數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)電路213接收數(shù)據(jù)信號,并且通過多條柵極線212從所述第一柵極驅(qū)動(dòng)電路214和第二柵極驅(qū)動(dòng)電路215接收掃描信號。所述像素電路包括多個(gè)置于所述數(shù)據(jù)線211和柵極線212的交叉點(diǎn)處的有機(jī)發(fā)光像素216,所述有機(jī)發(fā)光像素216根據(jù)所述數(shù)據(jù)信號和掃描信號發(fā)光。
相應(yīng)的,本申請實(shí)施例還提供了一種柔性顯示裝置,包括至少一個(gè)如上述任一實(shí)施例所述的柔性顯示面板。
相應(yīng)的,本申請實(shí)施例還提供了一種柔性顯示面板的制備方法,參考圖11和圖12,圖11和圖12為柔性顯示面板的制備方法的流程示意圖,包括:
S101:提供載體基板,所述載體基板表面附著有柔性襯底,所述柔性襯底背離所述載體基板一側(cè)具有多個(gè)犧牲區(qū)域;所述載體基板背離所述柔性襯底一側(cè)表面具有多個(gè)與所述柔性襯底的多個(gè)犧牲區(qū)域一一對應(yīng)的夾持區(qū)域,各所述夾持區(qū)域和與其對應(yīng)的所述犧牲區(qū)域相對,所述夾持區(qū)域和所述犧牲區(qū)域用于提供可夾持部位;參考圖13、圖14和圖15,圖13、圖14和圖15為所述載體基板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖,所述載體基板300表面附著有柔性襯底100,所述柔性襯底100具有多個(gè)犧牲區(qū)域102,所述載體基板300可以是玻璃基板,還可以是石英基板,本申請對此并不做限定,具體視實(shí)際情況而定。在圖13、14和15中所述柔性襯底100表面的虛線限定區(qū)域中用于形成顯示器件,并且在后續(xù)工藝中沿虛線切割,并對柔性襯底與所述載體基板剝離后形成所述至少一個(gè)所述柔性顯示面板。所述顯示器件是指包括為了實(shí)現(xiàn)所述柔性顯示面板的顯示功能而設(shè)置的器件結(jié)構(gòu),包括但不限于多個(gè)薄膜晶體管、走線、像素電極、顯示功能材料和公共電極。
S102:在所述柔性襯底表面除所述犧牲區(qū)域以外的區(qū)域形成至少一個(gè)顯示器件;參考圖16、圖17和圖18,圖16、圖17和圖18為經(jīng)過步驟S102之后的載體基板及其上結(jié)構(gòu)的俯視示意圖,所述顯示器件200形成于所述柔性襯底100除所述犧牲區(qū)域102以外的區(qū)域。
對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理,獲得多個(gè)所述柔性顯示面板;
所述對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理包括:
S1031:對所述柔性襯底進(jìn)行切割處理,獲得至少一個(gè)未剝離柔性顯示面板,各所述未剝離柔性顯示面板包括多個(gè)所述犧牲區(qū)域,并分別對所述未剝離柔性顯示面板的柔性襯底進(jìn)行剝離操作,以使所述未剝離柔性顯示面板的柔性襯底與所述載體基板分離;參考圖19,圖19為圖17所示的結(jié)構(gòu)經(jīng)過步驟S1031后的未剝離柔性顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖,所述未剝離柔性顯示面板包括柔性襯底100和位于所述柔性襯底100表面除所述犧牲區(qū)域102以外區(qū)域的顯示器件200,經(jīng)過步驟S1031獲得的所述柔性顯示面板均包括多個(gè)犧牲區(qū)域102。需要說明書的是,經(jīng)過步驟S1031獲得的所述柔性顯示面板均包括多個(gè)犧牲區(qū)域102,即對圖17所示的結(jié)構(gòu)進(jìn)行步驟S1031獲得;也可以均包括一個(gè)犧牲區(qū)域,即對圖16所示的結(jié)構(gòu)進(jìn)行步驟S1031獲得;也可以包括具有兩個(gè)犧牲區(qū)域或沒有犧牲區(qū)域,即對圖18所示的結(jié)構(gòu)進(jìn)行步驟S1031獲得。經(jīng)過步驟S1031獲得的所述柔性顯示面板有多少具有犧牲區(qū)域、犧牲區(qū)域的數(shù)量為多少需要視大張基板上設(shè)置有多少個(gè)顯示器件200、大張基板上有多少個(gè)犧牲區(qū)域以及大張基板上犧牲區(qū)域的位置而定,本發(fā)明實(shí)施例對此不作限定。
或
S1032:對所述柔性襯底進(jìn)行剝離處理,以使所述至少一個(gè)柔性顯示面板的柔性襯底與所述載體基板分離,并對剝離處理后的柔性襯底進(jìn)行切割處理,獲得至少一個(gè)所述柔性顯示面板。參考圖20,圖20為圖16所示的結(jié)構(gòu)經(jīng)過步驟S1032獲得的柔性顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖,所述柔性顯示面板包括柔性襯底100和位于所述柔性襯底100表面除所述犧牲區(qū)域102以外區(qū)域的顯示器件200,經(jīng)過步驟S1032獲得的所述柔性顯示面板的柔性襯底100可能只包括一個(gè)所述犧牲區(qū)域102(參考圖20),也可能不包括所述犧牲區(qū)域102(參考圖21,圖21為圖18所示的結(jié)構(gòu)經(jīng)過步驟S1032獲得的柔性顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖),還可能包括兩個(gè)所述犧牲區(qū)域102(參考圖22,圖22為圖18所示的結(jié)構(gòu)經(jīng)過步驟S1032獲得的柔性顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖)。需要說明書的是,經(jīng)過步驟S1032獲得的所述柔性顯示面板均包括多個(gè)犧牲區(qū)域102,即對圖17所示的結(jié)構(gòu)進(jìn)行步驟S1032獲得;也可以均包括一個(gè)犧牲區(qū)域,即對圖16所示的結(jié)構(gòu)進(jìn)行步驟S1032獲得;也可以包括具有兩個(gè)犧牲區(qū)域或沒有犧牲區(qū)域,即對圖18所示的結(jié)構(gòu)進(jìn)行步驟S1032獲得。經(jīng)過步驟S1032獲得的所述柔性顯示面板有多少具有犧牲區(qū)域、犧牲區(qū)域的數(shù)量為多少需要視大張基板上設(shè)置有多少個(gè)顯示器件200、大張基板上有多少個(gè)犧牲區(qū)域以及大張基板上犧牲區(qū)域的位置而定,本發(fā)明實(shí)施例對此不作限定。
需要說明的是,在所述顯示器件的制備過程中,所述犧牲區(qū)域102以及載體基板300背離所述柔性襯底100一側(cè),且與所述犧牲區(qū)域102相對的夾持區(qū)域用于提供可夾持部位,并且由于所述顯示器件200分布于所述柔性襯底101表面除所述犧牲區(qū)域102以外的區(qū)域,避免了由于在夾持過程中對所述犧牲區(qū)域102或所述夾持區(qū)域造成劃傷或附著雜質(zhì),而導(dǎo)致的在對所述柔性襯底100與所述載體基板300分離時(shí)所述犧牲區(qū)域100與所述載體基板之間仍存在粘性,而使得所述犧牲區(qū)域100的顯示器件200被撕扯而損毀的情況出現(xiàn),從而實(shí)現(xiàn)了降低所述柔性顯示面板的顯示器件200在所述柔性襯底100與所述載體基板300剝離過程中受損的概率的目的,提升了所述柔性顯示面板的制備良率。
還需要說明的是,對所述柔性襯底100進(jìn)行剝離處理的工藝一般采用激光剝離工藝。
在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本申請的一個(gè)實(shí)施例中,參考圖23,圖23為所述柔性顯示面板的制備方法的流程示意圖,所述對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理,獲得至少一個(gè)柔性顯示面板之前還包括:
S1023:對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割,使所述柔性襯底的犧牲區(qū)域處形成犧牲缺口。
需要說明的是,在利用激光剝離工藝將所述柔性襯底與所述載體基板剝離之前對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割,使所述柔性襯底的犧牲區(qū)域處形成犧牲缺口的目的是避免在所述柔性襯底與所述載體基板的剝離過程中因所述犧牲區(qū)域與所述載體基板仍存在粘性導(dǎo)致撕扯時(shí)造成所述犧牲區(qū)域周邊區(qū)域損壞的情況出現(xiàn),完全避免了在所述柔性襯底與所述載體基板的剝離過程中對顯示器件造成損壞的情況出現(xiàn),大大提升了所述柔性顯示面板的制備良率。
還需要說明的是,當(dāng)所述對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理為步驟S1031時(shí),所述對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割這一步驟可以與對所述柔性襯底進(jìn)行切割處理同時(shí)進(jìn)行;也可以先執(zhí)行步驟S1031,再對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割;還可以先對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割,再執(zhí)行步驟S1031。
當(dāng)所述對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理為步驟S1032時(shí),所述對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割這一步驟優(yōu)選放在步驟S1032之前,這是因?yàn)槿绻趯λ鋈嵝砸r底進(jìn)行剝離處理之后再對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割形成所述犧牲缺口,就失去了對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割的目的:即在剝離過程中由于犧牲區(qū)域較難剝離,容易引對犧牲區(qū)域以外的區(qū)域造成損傷。
參考圖24-26,圖24-26為本實(shí)施例中制備的柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖24中示出了包括4個(gè)所述犧牲缺口101的柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu),圖25中示出了包括1個(gè)所述犧牲缺口101的柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu);圖26中示出了包括2個(gè)所述犧牲缺口101的柔性顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)。本申請對所述柔性顯示面板的柔性襯底100包括的犧牲缺口101的數(shù)量并不做限定,具體視實(shí)際制作工藝而定。
在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本申請的又一個(gè)實(shí)施例中,參考圖27和圖28,圖27和圖28為所述柔性顯示面板的制備方法的流程示意圖,所述對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割,使所述柔性襯底的犧牲區(qū)域處形成犧牲缺口包括:
S10231:對所述柔性襯底的犧牲區(qū)域進(jìn)行切割,使所述柔性襯底的犧牲區(qū)域處形成犧牲缺口;
或
S10232:對所述柔性襯底的犧牲區(qū)域及所述載體基板與所述犧牲區(qū)域的對應(yīng)位置進(jìn)行切割,使所述柔性襯底的犧牲區(qū)域處形成犧牲缺口。
在本實(shí)施例中提出了兩種對所述犧牲區(qū)域進(jìn)行切割的方式,本申請對切割采用的具體方式并不做限定,具體視實(shí)際情況而定。
在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本申請的一個(gè)實(shí)施例中,所述對所述柔性襯底進(jìn)行切割及剝離處理之前還包括:
在所述犧牲區(qū)域背離所述載體基板一側(cè)表面形成防滑膜層。
在本實(shí)施例中,所述犧牲區(qū)域表面的防滑膜層用于提升所述犧牲區(qū)域表面的粗糙程度,以實(shí)現(xiàn)在夾持過程中與夾持器械之間更好的咬合。
所述防滑膜層可以利用所述顯示器件制程過程中的某道工序形成,例如在形成所述顯示器件中的薄膜晶體管時(shí),可利用形成薄膜晶體管的各層結(jié)構(gòu)的無機(jī)材料或有機(jī)材料在所述犧牲區(qū)域表面形成所述防滑膜層。
具體地,所述防滑膜層可以是表面具有紋理結(jié)構(gòu)的二氧化硅層或氮化硅層,還可以是表面具有紋理結(jié)構(gòu)的光敏材料層。本申請對所述防滑膜層的具體形成材料并不做限定,具體視實(shí)際情況而定。
綜上所述,本申請實(shí)施例提供了一種柔性顯示裝置、柔性顯示面板及其制備方法,其中,所述柔性顯示面板的柔性襯底具有至少一個(gè)位于邊緣的犧牲缺口,所述犧牲缺口為對犧牲區(qū)域切割后形成的缺口,所述犧牲區(qū)域用于在所述柔性顯示面板的制備過程中提供可夾持部位,并且由于所述顯示器件分布于所述柔性襯底表面除所述犧牲缺口以外的區(qū)域,避免了由于在夾持過程中對所述犧牲區(qū)域或所述犧牲區(qū)域相對的載體基板造成劃傷或附著雜質(zhì),而導(dǎo)致的在對所述柔性襯底與所述載體基板分離時(shí)所述犧牲區(qū)域與所述載體基板之間的仍存在粘性,而使得所述犧牲區(qū)域的顯示器件被撕扯而損毀的情況出現(xiàn),從而實(shí)現(xiàn)了降低所述柔性顯示面板的顯示器件在所述柔性襯底與所述載體基板剝離過程中受損的概率的目的,提升了所述柔性顯示面板的制備良率。
本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。
對所公開的實(shí)施例的上述說明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此,本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。