技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種改進(jìn)的8寸平板外延爐溫場(chǎng)的調(diào)節(jié)方法，用離子注入法注入N型雜質(zhì)離子制備成注入片，該注入片中的N型雜質(zhì)離子在高溫下被激活，從而表面形成P?N結(jié)。時(shí)間一定時(shí)，N型雜質(zhì)離子被激活的量是與溫度成正比，通過(guò)測(cè)試不同溫度下烘烤后的注入片的方塊電阻，得到溫度和方塊電阻的線性關(guān)系，以此為基礎(chǔ)，通過(guò)量測(cè)烘烤后的注入片片內(nèi)多點(diǎn)的方塊電阻，得到溫場(chǎng)分布情況，指導(dǎo)溫場(chǎng)調(diào)節(jié)，能夠快速地得到外延爐腔體內(nèi)的溫場(chǎng)分布情況。

技術(shù)研發(fā)人員：劉勇;金龍;譚衛(wèi)東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京國(guó)盛電子有限公司
文檔號(hào)碼：201611216992
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.26
技術(shù)公布日：2017.05.31