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半導(dǎo)體裝置和半導(dǎo)體封裝件的制作方法

文檔序號(hào):12680359閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:

基底;

去耦電容器,設(shè)置在基底上;

第一連接焊盤(pán),與去耦電容器豎直地疊置;

鈍化層,暴露第一連接焊盤(pán)的一部分;以及

第一焊料凸塊,設(shè)置在第一連接焊盤(pán)上并覆蓋鈍化層的頂表面的一部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置還包括:

電路,形成在基底上;

其中,第一焊料凸塊和第一連接焊盤(pán)是電連接到電路的接地路徑或電源路徑的部分。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中:

鈍化層具有暴露第一連接焊盤(pán)的頂表面的一部分的第一開(kāi)口;

第一焊料凸塊完全覆蓋第一連接焊盤(pán)的頂表面的暴露部分。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

第一焊料凸塊填充第一開(kāi)口并且從第一連接焊盤(pán)延伸到鈍化層的頂表面上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其中:

第一開(kāi)口具有沿一個(gè)方向的第一寬度;

第一焊料凸塊沿所述方向的寬度大于第一寬度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置還包括:

第二連接焊盤(pán),從去耦電容器橫向偏移;以及

第二焊料凸塊,設(shè)置在第二連接焊盤(pán)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置,其中,第一焊料凸塊的寬度大于第二焊料凸塊的寬度。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置,其中,第二焊料凸塊從形成在基底上的任何去耦電容器橫向偏移。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,第一連接焊盤(pán)電連接到去耦電容器。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中:

第一焊料凸塊包括支柱和焊料;

支柱接觸鈍化層的頂表面。

11.一種半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:

基底;

去耦電容器,設(shè)置在基底上;

第一焊料凸塊,與去耦電容器豎直地疊置;以及

第二焊料凸塊,從去耦電容器橫向偏移,

其中,第一焊料凸塊的寬度大于第二焊料凸塊的寬度。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置還包括:

電路,設(shè)置在基底上;

其中:第一焊料凸塊是電連接到電路的接地路徑或電源路徑的部分;并且第二焊料凸塊是電連接到電路的信號(hào)路徑的部分。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其中:

基底包括單元區(qū)和外圍電路區(qū);

去耦電容器形成在外圍電路區(qū)中;

半導(dǎo)體裝置還包括在單元區(qū)中設(shè)置在基底上的存儲(chǔ)元件。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置還包括:

鈍化層,具有暴露第一連接焊盤(pán)的第一開(kāi)口;

其中,第一焊料凸塊填充第一開(kāi)口并且與鈍化層接觸。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體裝置,其中:

第一開(kāi)口具有沿一個(gè)方向的第一寬度;

第一焊料凸塊從第一連接焊盤(pán)延伸到鈍化層的頂表面上方;

第一焊料凸塊沿所述方向的寬度大于第一寬度。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體裝置,其中:

鈍化層包括暴露第二連接焊盤(pán)的第二開(kāi)口;

第二焊料凸塊設(shè)置在第二連接焊盤(pán)上的第二開(kāi)口中并與鈍化層分隔開(kāi)。

17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其中,第一焊料凸塊和去耦電容器通過(guò)金屬互連彼此電連接。

18.一種半導(dǎo)體封裝件,所述半導(dǎo)體封裝件包括:

封裝基底;

半導(dǎo)體芯片,包括去耦電容器和鈍化層;

多個(gè)焊料凸塊,將半導(dǎo)體芯片電連接到封裝基底,

其中:焊料凸塊中的第一焊料凸塊與去耦電容器豎直地對(duì)齊并延伸到鈍化層上方;焊料凸塊中的第二焊料凸塊與鈍化層分隔開(kāi)。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的半導(dǎo)體封裝件,其中,第二焊料凸塊從半導(dǎo)體芯片的任何去耦電容器橫向偏移。

20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的半導(dǎo)體封裝件,其中,第一焊料凸塊的寬度大于第二焊料凸塊的寬度。

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