技術(shù)總結(jié)
一種切割金屬柵極的方法，包括在基板上形成第一鰭及第二鰭，在第一及第二柵極區(qū)域上形成第一金屬柵極接線，應(yīng)用第一線切割以將第一金屬柵極接線分離為第一子金屬柵極接線及第二子金屬柵極接線及在第一子金屬柵極接線及第二子金屬柵極接線上形成第二金屬柵極接線，應(yīng)用第二線切割以將第二金屬柵極接線分離為第三子金屬柵極接線及第四子金屬柵極接線以使得在第三子金屬柵極接線與第四子金屬柵極接線之間形成縫隙及在縫隙內(nèi)形成隔離區(qū)域。

技術(shù)研發(fā)人員：楊凱傑
受保護(hù)的技術(shù)使用者：臺灣積體電路制造股份有限公司
文檔號碼：201610980640
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.08
技術(shù)公布日：2017.05.24